1
Изобретение относится к области гальванического нанесения покрытий и может быть применено при изготовлении пленочных мелкоструктурных сеток методом гальванического осаждения..
Известно устройство для гальванического осаждения металлов, содержащее ванну, источник питания, анод, матрицу и токоподводящее приспособление, токонесущие элементы которого не изолированы от электролита и имеют с ним непосредственный контакт, что является причиной искажения силового поля в гальванической ванне во время процесса осаждения.
Цель изобретения - повысить качество осаждаемых структур.
Это достигается тем, что токоподводящее приспособление выполнено в виде контактной рамки, в гнездах которой укреплены пружинящие контакты, соединенные щинами, вмонтированными в тело контактной рамки и имеющими выводы наружу выше уровня электролита, с источником тока и изолированные от электролита посредством уплотняющих прокладок, укрепленных по периметру гнезд.
На фиг. 1 показана конструкция устройства; на фиг. 2 - конструкция токоподводящего приспособления.
Предлагаемое устройство состоит из ванны }, источника питания 2, анода 3, матрицы 4 и токоподводящего приспособления 5.
Токоподводящее приспособление выполнено в виде контактной рамки, в гнездах которой укреплены пружинящие контакты 6, 7, S и 9, соединенные щинами 10, П, 12 и 13, вмонтированными в тело контактной рамки и имею1ДИМИ выводы наружу выще уровня электролита, с источником питания 2. Каждый пружинящий контакт изолирован от электролита уплотняющей прокладкой 14 ii с помощью винта 15 вводится в контакт с одной из щин.
Контактная рамка состоит из основания 16, крыщкй 17, фиксаторов 18 и 19, осей 20. Ванна / для установления контактной рамки имеет направляющие пазы (на чертежах не показаны). В основании 16 рамки сделано окно, размеры которого определяются размерами получаемой структуры. Крыщка 17 прижимает матрицу 4 к пружинящим контактам 6, 7, 8 и 9 i прокладкам. С основанием 16 крыщка 17 связана щарнирно посредством осей 20.
В закрытом положении контактная рамка запирается фиксаторами 18 и 19.
Устройство работает следующим образом. Металлизированной стороной матрицу 4 кладут на пружинящие контакты 6, 7, 8 к 9 основания 16 и крыщкой 17 прижимают к уплотняющим прокладкам, обеспечивая герметизацию гнезд с пружинящими контактами. Основание 16 и крышка 17 запирают фиксаторами 18 и 19, после чего контактную рамку в сборе с матрицей 4 по направляющим пазам загружают в ванну 1 так, чтобы выводы токоподводящих щин 10, L1, 12 и 13, через которые подводится ток к матрице 4 от источника питания 2, были выше уровня электролита.
Подсоединив контактную рамку к источнику питания 2, включают устройство на начало осаждения. По окончании процесса гальванического осаждения рамка отсоединяется от источника питания 2, вынимается из ванны / и поступает в сборе с матрицей 4 на следующие операции.
После обработки матрицы 4 в сборе с контактной рамкой матрица 4 вынимается из нее.
Для этого освоболсдают фиксаторы 18 и 19 и откидывают крышку 17.
П р е -д м е т и з о б р е т е .и и я .
Устройство для гальванического осаждения металла, содержащее анну, источник питания, анод, матрицу и токоподводящее приспособление, отличающееся тем, что, с целью
повышения качества осаждаемых структур, токоподводящее приспособление выполнено в виде контактной рамки, в гнездах которой укреплены пружинящие контакты, соединениые шинами, вмонтированными в тело контактной рамки и имеющими выводы наружу выще уровня электролита, с источником питания и изолированные от электролита посредством уплотняющих прокладок, укрепленных по периметру гнезд.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Анод для установок электролитического нанесения покрытий | 1986 |
|
SU1339168A2 |
УСТАНОВКА ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛЕЙ | 1971 |
|
SU301249A1 |
Кассета для гальванической обработки плоских изделий | 1986 |
|
SU1399378A1 |
Устройство для нанесения гальванического металлического покрытия на внутреннюю поверхность металлической бесконечной ленты | 1986 |
|
SU1426459A3 |
Устройство для гальванической обработки металлической полосы | 1972 |
|
SU440445A1 |
Гальваническая ванна-полуавтомат с витковым устройством для перемещения покрываемых изделий и анодов | 1949 |
|
SU88605A1 |
Устройство для нанесения гальванических покрытий на цилиндрические детали | 1987 |
|
SU1507877A1 |
Устройство для дифференцированного гальванопокрытия оснований микросхем | 1977 |
|
SU680351A1 |
Установка для нанесения гальванических покрытий | 1982 |
|
SU1033582A1 |
Устройство для нанесения локального гальванического покрытия | 1989 |
|
SU1703718A1 |
Фиг. 2
Авторы
Даты
1973-01-01—Публикация