СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО Советский патент 1973 года по МПК H05B33/10 

1

Предлагаемое изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении низковольтных электролюминесцентных индикаторов.

Известен способ изготовления пленок, электролюминесценция в которых возбуждается постоянным напряжением.

В соответствии с этим способом основной активатор (марганец) вводят в испаряемый сульфид цинка. При испарении происходит фракционирование испаряемой шихты. В результате концентрация активатора, а следовательно, и свойства электролюминесцентной пленки существенно зависят от таких плохо контролируемых факторов, как скорость испарения, полнота испарения навески. Кроме того, в постоянном поле эти пленки электролюминесцируют только желто-оранжевым светом с максимумом излучения около 585 нм. СпОсо бы изготовления пленок с другим цветом электролюминесценции в постоянном поле не известны.

По предлагаемому способу воспроизводимость концентрации основного активатора и получение пленок различного цвета свечения достигается тем, что сульфид цинка испаряется нелегированным, а примесь вводится только в активную область пленки испарением ее из независимого испарителя. В качестве примеси выбирается соединение элемента, образующего в сульфиде цинка центры, «тюмлнесцирующие без ионизации, что обеспечивает высокую яркость свечения в постоянном поле. Способ изготовления состоит из следующих процессов. Подложку .из терлюстойкого стекла, например ЛК-7, ЛК-105, С-48-3, С-48-1, предварительно покрытую прозрачным проводящим слоем SnOg или 2п2Оз, прогревают в вакууме не хуже 10 торр около

20 мин при температуре 500° С. Затем температуру подложки снижают до 250-260° С и испаряют на нее навеску - 30 мг сульфида меди. В этой части способ не имеет существенных отличий от известных способов. Затем на слой сульфида меди конденсируют пленку нелбГИрованного сульфида цинка, .испаряемого при температуре 1200° С. Навеска сульфида цинка - 2,5 г. Время полного испарения этой навески - 30 мин. За 10-

15 мин до полного испарения сульфида цинка включают испаритель с навеской соединения легирующего элемента. В качестве такого соединения используют сульфиды или фториды марганца или редкоземельных элементов в зависимости от требуемого цвета свечения. Например, для ползчения пленки с оранжевым Цветом свечения испаряют навеску 30-40 мг сульфида марганца, а для получения зеленого цвета свечения - 50-60 мг

трехфтористого тербия.

Температура испарителя в обоих случаях 1600-1700° С. Испарение сульфида цинка и легирующей прИмеси прекращают одновременно. После охлаждения подложки ,до на пленку напыляют, на-пример, испарением алюминия, металлические электроды требуемой теометрии.

Изготовлеиные описанным способом образцы электролюминеоцируют возбуждении постоянным напряжением 20 в при такой полярности, когда алюминиевый электрод положителен.

Предмет изобрете} ия Способ иаготовления электролюм.инесцентного устройства путем конденсации на проводящей подложке слоев сульфида меди и сульфида |Цинка, отличающийся тем, что, с целью обеспечения воспроизводимости концентрадии основного активатора и получения заданного цвета свечения при возбуждении постоянным напряжением, сульфид цинка испаряют нелегированным, а активирующую примесь, например, в виде сульфидов или

фторидов марганца (для свечения оранжевого цвета) или сульфидов или фторидов тербия (для свечения зеленого цвета) испаряют из независимого испарителя на последнем этапе испарения сульфида цинка, причем иснарение сульфида цинка и активирующей примеси прекращают одновременно.