СПОСОБ КОНТРОЛЯ ДЕФЕКТНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ Советский патент 1973 года по МПК G01N27/42 

1

Предлагаемое изобретение относится к способу контроля дефектности диэлектрических пленок на металлических и полупроводниковых подложках и может быть использоваио для Контроля электропроводящих дефектов и пористости изолирующих пленок при производстве конденсаторов, полупроводниковых приборов, интегральных схем, для оценки качества слоев фоторезиста, диэлектрической пленочной изоляции.

Известен электрографический способ контроля пор и других электропроводящих дефектов диэлектрических пленок на полупроводниковых и металлических -подложках, заключающийся в том, что при пропускании тока в системе катод - подложка - диэлектрическая пленка - фотоэмульсионный слой фотобумаги, смоченной в деионизованной воде,- анод в эмульсионном слое образуется скрытое изображение дефектов.

При проявлении и закреплении эмульсионного слоя фотобумаги получается видимый отпечаток дефекта, характер изображения которого зависит от времени выдержки, напряжения и других .факторов.

Недостатками известного спосо-ба являются неосютеетствие конфигурации дефекта диэлектрической пленки отпечатку на фотобумаге, трудность в определении местоположения дефекта непосредственно на диэлектрической

пленке и подложка, малая разрешающая способность.

Целью изобретения является точное определение конфигурации дефектов, повышение

разрешающей способности.

Достигается она тем, что диэлектрическую пленку на проводящей подложке приводят в контакт с электролитом, электролитически осаждают металл на дефектах диэлектрической пленки, селективно травят ее и регистрируют по виду осажденного металла конфигурацию и распределение дефектов на проводящей подложке.

Диэлектрическую пленку приводят в контакт с электролитом, на который подают положительный потенциал. В качестве электролита (анода) применяют металл соответствующей соли, находящейся в электролите, или платину, н-а подложку (катод) подают отридательный потенциал. Пропускают электрический ток через систему катод-подложка-диэлектрическая пленка-электролит-анод. В результате этого в местах электропроводящих дефектов осаждается металл, который повторяет конфигурацию и распределение этих дефектов.

По конфигурации и распределению осажденного металла судят о дефектности диэлектрической пленки. Затем селективно травят диэлектрическую пленку и регистрируют конФи,3

гурацию и распределение металла на проводящей подложке. Так как электрический ток, проходящий через дефекты, пропорционален их сечению, то и количество осажденного металла пропорционально сечению дефектов. Диаметр ионов металла находящихся в электролите, то.раздо меньще сечения дефектов, поэтому металл осаждается в местах самых мелких дефектов. Разрещающая -способность увеличивается и может достигать до 10 дефектов на одном квадратном сантиметре, а .конфигурация и местоположение дефектов на диэлектрической пленке (подложке) может сохраняться неограниченное время.

В качестве электролита применяют стандартные электроЛИты для Меднения, лужения, никелирования и т. д.

4 Предмет изобретения

Способ контроля дефектности диэлектрических пленок на проводящих подложках спропуеканием электрического тока через исследуемую систему и регистрацией дефектов по виду осажденного металла, отличающийся тем, что, с целью точного определения конфигурации дефектов и повыщения разрещающей -способности способа, диэлектрическую пленку на проводящей подложке приводят в контакт с раствором электролита, производят электролитическое осаждение металла на дефектах диэлектрической пленки, селективно травят ее и

регистрируют по виду осажденного металла конфигурацию и распределение дефектов на проводящей подложке.