ПАСТА ДЛЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ КЕРАМИКИ Советский патент 1973 года по МПК C04B41/88 

1

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в электронной промышленности для изготовления вакуулпюплотных спаев с металлом алюмооксидной керамики и монокристаллического сапфира.

Известны пасты, применяемые для металлизации керамики с малым содержанием стеклофазы или монокристаллического санфира, совсем не содержащего стеклофазы. Эти пасты изготовлены на оспове тугоплавкого металла, например, молибдена и марганцевого стекла, содержащего окислы марганца, кремния и алюминия в различных соотношениях.

Однако нестабильность адгезионных свойств вследствие большой вязкости стеклофазы и недостаточная прочность получаемых спаев не позволяют широко использовать известные пасты.

Цель изобретения - получить прочный вакуумплотный спай.

Достигается это тем, что стекло, вводимое в пасту, содержит указанные компоненты, вес. %:

МпО53-58

SiOs33-35

ЛиОз7-12

и, кроме того,

GdoOs0,5-1

2

Наилучшими соотношениями компонентов пасты при этом являются следующие, об. %: Металл (молибден)60-62

Стекло38-40

Введение двуокиси гадолиния, активирующей добавки, приводит к образованию в металлизирующем слое комплексного окисла при взаимодействии двуокиси гадолиния с окислами алюминия и марганца. Комп.пексный окисел обладает большо энергетической прочностью, что способствует унрочпепию спая металла с керамикой.

Предложенный состав пасты для металлизации позволяет использовать обычные технологические процессы при варке стекла, нри металлизации керамики и при изготовлении спая металла с керамикой. При этом вжигание пасты в керамику при металлизации возможно нроводить в атмосфере как влажного формиргаза, так и сухого водорода. Кроме того, темнература вжигания не превышает 1400°С. Заметаллизированпые с помощью стекломолибдеповой пасты керамические и сапфировые детали после пайки их в металлокерамические узлы выдерживают без потери вакуумной плотности 80-100 термоциклов в режиме 20°С 600С 2Q°C при длительности цикла 20 мин. 3 Предмет изобретения Паста для металлизации керамики, включающая тугоплавкий металл, например, Мо и МпО-А120з-SiOs стекло, отличающаяся тем, 5 что, с целью получения прочного вакуумплот4ного спая, стекло содержит указанные компоненты, вес. %: МпО53-58 А12Оз7-12 SiOj33-35 и, кроме того, GdgOa0,5-1