УСТАНОВКА ДЛЯ НЕПРЕРЫВНОЙ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ Советский патент 1973 года по МПК C23C14/56 

1

Изобретение относится к области непрерывной обработки изделий в вакууме и может быть использовано для изготовления деталей в электронике.

Известна установка для непрерывной обработки изделий в вакууме, содержащая камеру, внутри которой раополол сны транспортный диск и устройство для технологической обработки, входной и выходной шлюзы и механизм подачи изделий во входной шлюз,

Однако известная установка не позволяет обрабатывать одновременно достаточное количество изделий.

Цель изобретения - но-вышение произ водительности установки.

Это достигается тем, что на участке диска между TOpuaiMH шлюзов выполнены радиальные пазы, рабочие плоскости которых совпадают с рабочи.ми п«тоскостями шлюзав, расположенных на одной оси под углом к горизоктальной плоскости диска.

На чертеже представлена конструкция предложенной установки. Установка состоит из вакуумной камеры 1, с которой сообщаются два щелевых щлюза с дифференциальной откачкой: входной шлюз 2 для загрузки предназначенных для обработки изделий в -камеру и выходной шлюз 3 для выгрузки. В камере 1 установлен транспортный диск 4. Шлюзы .2 и 5 расположены на одной оси и в одной плоскости нод некоторым углом к горизонтальной плоскости диска 4.

В утолщенной части диска 4, .расположенной между торцами входного 2 и выходного 3 щлюзов, выполнены радиальные Т-образные пазы 5, имеющие по отношению к горизонтальной плоскости диска 4 тот же угол наклона, что и шлюзы 2 и 3, причем в каждый момент Быстоя диска рабочие плоскости очередного паза совпадают с рабочими плоскостями шлюзов, в результате чего образуется одна общая наклонная плоскость для перемещения изделий 6 под действием механизма 7 подачн изделий во входной щлюз 2, установленного с то-рца входного шлюза 2, вне камеры 1. В камере установлено устройство 8 для технологической обработки. Диск 4 приводится в прерывисто-вращательное движение механизмом 9 поворота.

Установка работает следующим образом.

Механизм 9 поворота приводит диск 4 в прерывистое вращение так, что с калсдым новоротом диска lia определенный угол, очередной его паз совпадает со гделями шлюзов 2 и 3. Во время выстоя диска механизм 7 заталкивает очередное изделие 6 в щель входного щлюз.а 2 на игат, разнЫЙ его длине. После наполнения входного шлюза 2 изделиями 6 механизм 7, подавая очередное изделие 6 .в щель щлюза, одновременно заталки