УСТРОЙСТВО для ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ Советский патент 1973 года по МПК C23C14/56 

Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства радиодеталей.

Известны устройства для обработки изделий в вакууме, содержащие вакуумную камеру, входной и выходной шлюзы с направляющими для кассет, механизм транспортировки в виде многогранника с валом, толкатель и съемник изделий.

Цель изобретения - повышение производи1ельности устройства.

Предлагаемое устройство отличается тем, что, входной и выходной шлюзы расположены перпендикулярно оси многогранника, причем в зонах загрузки и выгрузки изделий плоскость направляющих в шлюзах совпадает с плоскостью грани многогранника, а толкатель выполнен в виде подпружиненной планки, взаимодействующей с торцовым кулачком па валу многогранника.

Описываемое устройство изображено на чертенке.

С вакуумной камерой / сообщаются два шлюза дифференциальной вакуумной откачки: шлюз 2 для загрузки кассет 3 с изделиями в зону обработки в вакуумной камере и шлюз 4 для выгрузки обработанных изделий из вакуумной камеры.

В камере / на валу 5 установлен механизм транспортировки в виде многогранника 6,

каждая грань которого нмеет выполненное по ее периметру окно. Между щлюзами в каждой грани имеются продольные пазы 7 для кассет с пзделиями. Шлюзы распололсены перпендикулярно оси многогранника так, что но мере вращения плоскости его граней поочередно совпадают в определенные моменты с нижними направляющими плоскостями 8 шлюзов.

Устройство 9 для выполнения технологической онерации установлено внутри камеры.

Для перемещения кассет на каждой грани многогранника со стороны входного шлюза установлены толкатели 10 в виде подпружиненной планки, получающей движение при вращении многогранника от торцового кулачка /7 на его валу.

Для выгрузки кассет с обработанными изделиями служит съемник 12, установленный в кольцевой проточке 13 многогранника на участке выходного шлюза.

Кассеты 5 с изделиями ненрерывно подаются во входной шлюз и по мере его занолнення поступают на одну из граней многогранника 6, илослость которой совпадает с нижней направляющей плоскостью этого шлюза. При повороте мпогогранника на 180° толкатель под воздействием кулачка // проталкивает кассету вдоль оси барабана на расстояние, равное длине кассеты, и при повороте на следующие 180° возвращается в исходное положение.

Кассета, продвигаемая толкателем 10 входит в пазы 7 граней и при вращении многогранника проталкивается следующими непрерывно подаваемылн кассетами вдоль его оси к участку выходного иклюза. Поскольку на этом участке грани многогранника не имеют направляющих пазов, кассета, поступившая на участок выходного шлюза, при вращении многогранника находит на съемник 12 и проталкивается гранью многогранника в выходной шлюз. Таким образом происходит непрерывное перемещение кассет по всем граням многогранника, начиная от загрузки кассет во входной шлз и кончая их выгрузкой из выходного шлюза. Во время перемещения кассет изделия непрерывпо обрабатываются в вакууме, поддерживаемом в камере и в шлюзах с помощью вакуумной системы дифференциальной откачки.

f л НГОГ:

Предмет изобретения

Устройство для обработки изделий в вакууме, содержаи),ее вакуумную камеру, входной и выходной шлюзы с паправляюшими для кассет, механизм транспортировки в виде многогранпика с валом, толкатель и съемник изделий, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности, входной и выходной шлюзы расположены перпендикулярно оси многогранника, нричем в зонах загрузки и выгрузки изделий плоскость направляющих в шлюзах совпадает с плоскостью грани многогранника, а толкатель выполнен в виде подпружиненной планки, взаимодействующей с торцовым кулачком на валу многогранника. i Qb cClU3KQ.