Абразивная суспензия Советский патент 1975 года по МПК C09G1/02

Описание патента на изобретение SU456822A1

(54) АБРАЗИВНАЯ СУСПЕНЗИЯ

Похожие патенты SU456822A1

название	год	авторы	номер документа
СПОСОБ ПОЛИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ	2004	Енишерлова-Вельяшева Кира Львовна Савушкин Юрий Александрович Буробин Валерий Анатольевич Русак Татьяна Федоровна Тригубович Татьяна Николаевна	RU2295798C2
Способ абразивной обработки металлооптических зеркал	2002	Алиференко М.А. Каплан Б.М. Миронов Б.Н. Павлов К.Н. Смирдин Н.В. Судаков В.Ю. Экман Е.В.	RU2223850C1
СПОСОБ ПОЛИРОВАНИЯ ПЛАСТИН ИЗ КЕРАМИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ	1990	Рогов В.В. Ерусалимчик И.Г. Савушкин Ю.А. Шаляпин А.Б.	SU1743114A3
Алмазная абразивная суспензия	1991	Захаров Александр Александрович Редькин Виктор Ефимович Ставер Анатолий Михайлович	SU1781271A1
Полировальный состав	1979	Жужнева Алина Павловна Маслов Владимир Петрович Новиков Николай Николаевич Горидько Николай Яковлевич Мельник Тамила Самойловна	SU891736A1
Полировальный состав	1978	Сочнева Валентина Георгиевна Зайцева Валентина Ивановна Довгань Михаил Евдокимович Говорова Римма Александровна	SU794052A1
СОСТАВ ДЛЯ ПОЛИРОВАЛЬНИКА	1992	Фролов А.В. Суханов А.Е. Недосекин А.Г. Мамонов С.К. Уткин Н.И. Мизев А.В. Маслов В.П. Чистов А.А. Романовцева Т.Н.	RU2041891C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОШАБЛОННЫХ ЗАГОТОВОК	2004	Никитин С.А.	RU2260873C1
Состав для полирования изделий из меди и медных сплавов	1991	Потапов Анатолий Иванович Скок Галия Сибгадуловна Попова Елена Алексеевна Никитин Евгений Васильевич	SU1821472A1
МАТЕРИАЛ "НЕОПОЛ" ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТВЕРДОГО ПОЛИРОВАЛЬНОГО ИНСТРУМЕНТА	1992	Нечаева Наталья Александровна Пивоварова Алла Петровна Салтыкова Валентина Александровна Мельникова Ольга Владимировна Торопова Ольга Феликсовна Старкова Наталья Владимировна	RU2069619C1

Реферат патента 1975 года Абразивная суспензия

Формула изобретения SU 456 822 A1

Изобретение относится к области обработки нолупроводниковых материалов абразивом.

Известна абразивная суспензия для полировки полупроводниковых материалов, включающая алмазный норошок и охлаждающую жидкость.

Для повышения нроизводительности и качества полировки предлагаемая суспензия составлена на основе этилового спирта, а соотношение ее компонентов выбрано из условия 0,2-0,4 г алмазного порошка на 1 л этилового спирта.

Процесс полировки ведется с постоянной подпиткой по следующей технологии.

На полировальник из искусственной замши, предварительно обильно смоченный спиртом, ианосится алмазный порошок или алмазная паста, которые втираются в полировальник в течение 3-5 мин.

В мешалку станка засыпается алмазный порошок той же зернистости и заливается этиловый спирт. После установки на влажный полировальник шлифовально-иолировальных головок с накленными на них пластинами включается мешалка, привод станка и осуществляется подача алмазной суспензии из мешалки на полировальник.

Предмет изобретения

Абразивная суспензия для полировки полупроводииковых материалов, вк„тючающая алмазный порошок и охлаждающую жидкость, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности и качества полировки, суспензия составлена на основе этилового спирта, а соотношение ее компонентов выбрано из условия: 0,2-0,4 г алмазного порошка на 1 л этилового спирта.

SU 456 822 A1

Авторы

Бутяев Владимир Сергеевич

Колчин Юрий Михайлович

Даты

1975-01-15—Публикация

1970-12-25—Подача