Способ приготовления объекта для определения разрешающей способности электронного микроскопа Советский патент 1975 года по МПК G01N1/36 H01J37/26 

затем напыляют углеродную пленку 4 нужной толщины и частицы металла 5.

В полученном таким образом объекте растворяют, например в амилацетате, коллодиевую дырчатую пленку 3, а дырчатая углеродная пленка 4 с напыленными частицами металла 5 оседает на дополнительную металлическую микросетку 2.

Таким образом, нанесение на опорную металлическую сетку 1 дополнительной металлической микросетки 2 позволяет улучшить отвод тепла и электрического заряда от исследуемого объекта (4 и 5) и обеспечивает возможность работы с тонкой углеродной пленкой, а нанесение в качестве основы дырчатой коллодиевой пленки 3 обеспечивает получение дырчатой углеродной пленки 4 нужной толщины, которая служит для проверки астигматизма прибора и является подложкой для напыления частиц металла, по которым определяется разрещающая способность электронного микроскопа. Использование дырчатой углеродной пленки 4 позволяет выполнять операции по проверке астигматизма и определению разрешающей способности электронного микроскопа на одном объекте.

Предмет изобретения

Способ приготовления объекта для определения разрешающей способности электронного микроскопа, состоящий в приготовлении углеродной подложки на опорной металлической сетке и нанесении на эту подложку частиц металла, отличающийся тем, что, с целью улучщения отвода тепла и электрического заряда от объекта при его толщине до 50 А и устранения операции смены объекта в процессе юстировки микроскопа, на опорную металлическую сетку наносят дополнительную металлическую, микросетку, на которую наносят дырчатую коллодиевую пленку и па нее напыляют сначала углеродную пленку, а затем частицы металла, после чего коллодиевую пленку растворяют.