Электродуговой испаритель металлов Советский патент 1975 года по МПК C23C13/12 

1

Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства изделий электропной техники, радиотехники, приборостроения, в частности, к устройствам для нанесения покрытий в вакууме.

В известном электродуговом испарителе металлов по авт. св. № 297707 при испарении некоторых тугоплавких металлов наблюдаются включения в пленку металлического покрытия отдельных мелких частичек металла. Появление этих частичек обусловлено разбрызгиванием испаряемого расплавленного металла вблизи границы раздела жидкий металл - стержень.

Предлагаемый испаритель, с целью исключения разбрызгивания при испарении металлов с повышенной теплопроводностью и улучшения качества покрытий, снабжен дополнительным кольцевым электродом, расположенным концентрично оси дуговых электродов.

На чертеже приведена схема предлагаемого испарителя.

Испаритель содержи вертикальный дуговой электрод 1, расплавленную каплю 2 металла, дополнительный изолированный электрод 3 с отверстием, дуговой электрод 4 с полостью и поджигающий электрод 5.

Испаритель работает следующим образом.

При прохождении тока через дуговой промежуток конец электрода 1 нагревается и расплавляется с образованием капли 2. Так как ток через дуговой промежуток в вакууме обеспечивается, в основном, электронной компонентой, дополнительный изолированный электрод 3 заряжается отрицательно, создавая дополнительно электрическое поле, направленное от кольца к стержню с каплей, имеющего в этот момент положительный потенциал. Электроды, летящие от дугового электрода 4, захватываются дополнительным электрическим полем и со всех сторон равномерно нагревают каплю-стержень, что исключает образование брызг при испарении и обеспечивает улучшение качества получаемых покрытий.

Предмет изобретения

Электродуговой испаритель металлов по авт. св. № 297707, отличающийся тем, что, с целью исключения разбрызгивания при испарении металлов с повышенной теплопроводностью и улучшения качества покрытий, он снабжен дополнительным кольцевым электродом, расположенным концентрично оси дуговых электронов.