О П^ГСГА РПИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Советский патент 1973 года по МПК H01L21/66 G01R31/26 

1

Изобретение предназначеио для использования в производстве полупроводниковых приборов, в частности, для разбраковки транзисторов с шариковыми выводами.

Известно устройство для разбраковки транзисторов с шариковыми выводами, состоящее из транспортирующего устройства с вакуумны.ми присосками, разгрузочной карусели с ячейками по группам классификации, манипулятора, микроскопа для ориентации пластины и зондовой головки для измерения параметров транзисторов, соединенной с измерительным устройством.

При работе устройства транзистор вручную ориентируется с помощью микроскопа вниз выводами относительно вакуумной присоски, паходящейся на четырехпозиционной карусели транспортирующего устройства, и посредством манипулятора - отпосительно щупов зондовой головки. Затем присоской, подводимой со стороны подложки, он переносится на позицию измерения, где онределяется правильность подключения выводов транзистора к измерительным цепям. Далее измеряются параметры, и приборы классифицируются по группам. Измеренный транзистор сбрасывается присоской в соответствующую классификационную ячейку. Такое устройство малопроизводительно из-за выполпепия вручную ориентации транзистора с шариковыми выводами.

Предложенное устройство более надежно. Его нронзводительность повыщеиа благодаря тому, что оно снабжено дополнительной зондовой головкой с четырьмя щупами (количество пдупов соответствует количеству выводов) . Головка встроена в поворотный рычаг манипулятора и соединена с блоком ориентации полуироводпиковых приборов по положению и блоком измерения электрических параметров.

На фиг. 1 показано предложенное устройство, вид сбоку и сверху; па фиг. 2 - манипз-лятор с верхней и нижней зондовыми головкамп; на фиг. 3 - эондовые головки со щупами, разрез по вертикали и вид по стрелке Л; на фиг. 4 - поворотный рычаг манипулятора в момент загрузки гнезда транзистором; на фиг. 5 - поворотный рычаг манипулятора в момент фиксации транзистора на позиции измерения; на фиг. 6 - верхняя и нижняя зондовые головки со щупами в момент контактирования с транзистором.

Устройство для разбраковки транзисторов с шариковыми выводами (см. фиг. 1) состоит из вибробункера J, накло{И1ого лотка 2, манипулятора 3, в который вмоптированы две зондовые головки 4 и 5 (см. фиг. 2 и фиг. 3) со щ -памп 6, соединенные с измерительным

1 устройство.1. Нижняя зондовая головка 5 вмонтирована в поворотный рычаг кронштейна 7 манипулятора 3. Предложенное устройство работает следующим образом. Из вибробуикера 1 транзисторы 8 подаются в гнездо 9 нижней зондовой головки 5 и фиксируются по упорам (см. фиг. 4).Затем вибробункер отключается, п кронштейн 7 переносит транзистор к верхней зондовой головке 4 {см. фиг. 2). Кронштейн перемещается с помощью двух кулачков, укрепленных на распределительном валу (на фиг. 2 не показаны), и соединенных с рычагами W и }}, один из которых поворачивает кронштейн, а другой поднимает его к неподвижной верхней зондовой головке, совмещая по оси с последней. Для точного совмещения двух зондовых головок нижняя перемещается по копиру 12. После подведения нижней зондовой головки 5 к верхней 4 на расстояние 1-1,5 мм и соосного совмещения их фиксатор 13 (см. фиг. 5), установленный в неподвижном кронштейне манипулятора, прижимает транзистор к двум штифтам 14, укрепленным в посадочном гнезде нижней зондовой головки. При соосном совмещении (щупами, обращенными навстречу друг другу) двух зондовых головок транзистор касается четырех подпружиненных щупов, выступающих на 0,1-0,3 мм из верхней зондовой головки. Так как поджатие нижней зондовой головки к верхней во время совмещения продолжается, то верхние щупы, контактируя с транзистором, утапливаются до уровня площадки верхней зондовой головки. Подпружиненная втулка 15, подвижная относительно щупов нижней зондовой головки 5, опускается, в результате этого к транзистору прижимаются четыре нижних подпружиненных щупа. Щупы зондовых головок выполнены так, что диаметры их контактирующих площадок составляют не менее полутора диаметров шариковых выводов. Такая конструкция щупов обеспечивает надежное контактирование с шариковыми выводами. Те щупы, которые контактируют с пластинои со стороны подложки, автоматически отключаются, и параметры измеряются посредством щупов зонда, контактирующего с шариковыми выводами, независимо от положения пластины (вверх или впиз выводами). В соответствии с параметрами приборы классифицируются по группам. После окончания замера параметров нижний кронштейн манипулятора опускается с копира и под действием пружины 16 поворачивается на определенный угол к позиции разгрузки. Предмет изобретения Устройство для разбраковки транзисторов с шариковыми выводами, содержащее загрузочное устройство, манипулятор, зондовую головку со щупами, измерительное устройство, блок определения положения контактных площадок испытуемого прибора, отличающееся тем, что, с целью повыщения производительности и надежности, оно снабжено дополнительной зондовой головкой, причем щупы обеих зондовых головок подключены к измерительному устройству через блок определения положения контактных площадок испытуемого прибора.

Фиг.)

r

.

8

Фиг. 6