Устройство для односторонней доводки пластин Советский патент 1975 года по МПК B24B37/04 

1

Изобретение относится к станкострое- 1 пню и предназначено для абразивно-алмазной доводки точно ориентированных пластин из различ11ых пьезо- и полупроводниковых материалов.

Известны устройства для двусторонней и односторонней обработки плоскопараллельных пластиЕг. Двусторонняя обработка (как наиболее производительная и эффективная при обработке a6pa3nBHo-aj Ma3HbiMH сус|Пензиями) осу ществляется на двухдисковых станках планетарного типа с кассетами и позволяет получать плосконараллельные пластины. Однако из-за разнотолщинности и наличия неболылой косины точно ориентированнр,1х относите;шно кристаллографических осей пластин при их обработке на данных CTBFncax происходит увод у1ла среза, и чтобы его исключить, необходимо применять только одностороннюю обработку

Известны различные устройства для односторонней абразивной доводки irjiocKoпараллельных пластин, имеющих точно ориентированную базовую поверхность относительно криста1глографических осей. Наиоольшее применение имеют доводочные головки с правильЕ1ыми кольцами и плоскопараллельные планшайбы. Эти устройства не обеспечивают высокой производительности пропесса обработки: правильные кольца при обработке пластин сбрасывают и измельчают абразив в суспензии или пасте снижая производительность и увеличивая расход суспензии, а при использовании плоскопараллельных планшайб возникает необходимость в устранении клиновидности обрабатываемых пластин.

Целью изобретения является устранение клиновидности пластин и повышение производительности процесса.

Это достигается тем, что по меньмтей мере одна кассета дополнительно снабжена плоскопараллельной шестерней, которая расположена соосно с кассетой, кинематически связана при помощи вращаюгцегося па льна с верхним притиром и лежит на обрабатываемой пластине со стороны необрабатываемой базовой поверхности.

На чертеже изображено описываемое устройство во фронтальном разрезе. Устройство имеет планетартш привод (центральное 1 и наружное 2 вращающиеся зубчатые колеса), нижний неподвижный притир 3, кассету 4, в которой установле ны пластитз 5, и плоскопараллельную шестерню 6, расположенную соосно с кассетой, связанную с верхним притиром 7 кине матически посредством вращающегося паль ца 8 и лежащую на обрабатываемых пластинах 5 со стороны необрабатываемой (базовой) поверхности. На верхнем торце плоскопараллельной шестерни 6 натянута с помощью двух колец 9 пропитанная соли долом капроновая ткань болонья 10. Благодаря такой конструкции обрабатываемые пластины самоустанавливаются меж плоскими поверхностями верхнего 7 и нижнего 3 притиров через плоскопараллельную шестерню 6. Для уменьшения скорости движения щестерни 6 относительно верхнего притира 7 она связана с ним при помоши пальца 8, что улучшает условия подвода абразивной суспензии (включая и алмазную) и сни ;;-ает ее расход. Количество устанавливаемых кассет 4 и плоскопараллельных шестерен 6 от трех до пяти и более. Описываемое устройство работает следующим образом. При вращении центрального 1 и наружного 2 зубчатых колес планетарного типа каждая из составных пар кассета 4 - плоск параллельная шестерня 6 получает сложно движение, перемещая пластины 5 по рабочей поверхности нижнего неподвижного притира 3. При этом шестерня 6 сообщает вращательное движение посредством вращающегося пальца 8 верхнему притиру 7, нагружающему обрабатываемые пластины. При подаче абразивной или алмазной суспензии через верхний притир она попадает на рабочую поверхность-, нижнего притира, и производится доводка нижней неба зовой поверхности обрабатываемой пластины. Базовая сторона пластины обращена к плоскопараллельной шестерне 6 и из-за отсутствия относительного движения (за исключением медленного проворота пластины в гнезде кассеты) практически не изнашивается. Благодаря этому происходит исправление начальной клиновидности, обусловленной операцией исправления угла среза, путем неравномерного срабатывания небазовой поверхности из-за увеличения давления в той части пластины, где она толще. По мере снятия припуска разнотолщинность пластины уменьшается. Пластина становится плоскопараллелышй, сохраняя ориентацию относительно базовой стороны. Предмет изобретения Устройство для односторонней доводки пластин, ориентированных относительно их кристаллографических осей, выполненное в . виде кольцевых притире в, между которыми расположеЕ1ы кассеты с установленными в них пластинами, причем относительное перемещение притиров и пластин осу- j ществляется от планетарного привода, о т- ли чающееся тем, что, с целью устране шя клиновидности пластин и повышения производительности процесса, по меныией мере одна кассета дополнительно снабжена плоскопараллельной щестерней, расположенной соосно с кассетой, связанной кинематически посредством вращающегося пальца с верхним притиром и дежащей на обрабатываемой пластине со стороны необрабатываемой (базовой)- поверхности. 98 Ar 10 7 / 5 6