/.,S, ,,
L- -i 4 CTUtiJis срогибй аоида; Д г -.
реакыйя кбнтактной площадка; Ь Л длина риски.
Установка сосачзит иэ онтнческогз ycsv ройстБй i, Еораусе 2, пр©д летйого столй 3 с M8xaH23R.iOKi аеремещенвяг двух измерительных зоцдов 4 с MesaHHS&saRJH нер© ыешенйя.
Работа устаноэки осущестэнЕетсн еле цугоишы образом.
nposspsei- ss пдас-тмна 5 оакраплаетсн lia яредметЕгом столе 3 вакуз мдалм ирижи jMOM м оривйкгруется мезшшюмсм дер0мв щеяия стола, Одноэременно ведетсЕ вазу- альный контроль качества транзисторных .структур с помощью оптической системы 1, связанной с корпусом 2. Измерительные а-энды 4 механизмами леремеше-ная. наводятся и кулачкам 6 ощгскаютса .на контаиткьга площадзск проверяемой струк« турк, при STOM усилие контактировадаы регулируется протиасЕвсаыи 7. В хачестае каыерктела электр1«есхах парамэтроэ тгйн зиаторкьж стругггур может быть ггриыенек любой кэ сушестз: ггсшдч-х ТКПС.З прибор. П&;1ч. пе измерений аон.аы поднимахээгсЯ; и ь езш:ш8Эм шагового перемещ а 1д подводит в поли контроля слвду1ощую структуру.
Предмет
тения
Зондовая установка д:-л коатрола полупроБодяикоаых структур (например транэко торных): имеющих контактные площадки на йластине, содержащая корпус для закреплвния узлов я ме ханнэмон, оптзгчэскую систему, жестко аакрепленну J на корпусе и име- юшуго вертикальную мякроподстройрку, систему контактирования с качающимлся на гори эоктаяьных осях уравнслешивающимнся нэмернтельнымн зондами, .еюцшкш механизмы горизонтального перем-;двния & двух взавм но перпендн-улярйьЕя; нхправлеЕиях, предмет. кый стоп .для закрепи зйя полуп2Х)водниковой пластины, имеюишй м„-ханизм горизонтальперемещения в двух ззанмно перпендикулярных направяенк5ос, отличающаяся тем, что, с цельй. аовыщения точности ЕОНтек- ярования зокаов с ковтактнымй нло щйдкамн пояупроЕСдняковых структур на
пластике И умехашэния разброса усилий ко тактированиЯ; горизонтальные оси качания нзыернтельньис зондов расположены в плос кости коктактирования.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Устройство для контроля электрических параметров полупроводниковых и магнитных структур на пластине | 1982 |
|
SU1064497A1 |
| Устройство для измерения электрических параметров интегральных схем | 1980 |
|
SU906045A1 |
| Устройство для контроля печатных плат | 1985 |
|
SU1361734A1 |
| Устройство для контроля | 1978 |
|
SU746967A1 |
| Механическая рука к прессу | 1988 |
|
SU1611755A1 |
| Устройство для измерения тепловых характеристик структур полупроводниковых приборов | 1978 |
|
SU701414A1 |
| Стенд для выпрессовки шкворня | 1976 |
|
SU653076A1 |
| Способ обработки поверхности вращения | 1981 |
|
SU1272585A1 |
| Устройство для укладки изделий в пакет | 1990 |
|
SU1823855A3 |
| Устройство для контроля контактирования в зондовых установках | 1981 |
|
SU1001235A1 |
а
к
АР
т
АР- comt
иг.з
