Устройство для определения ориентации полупроводниковых элементов Советский патент 1976 года по МПК H05K13/08 

1

Изобретение относится к области технологии производства полупроводниковых изделий, а именно к системам автоматической ориентации кристаллов микросхем.

Известно устройство для определения ориентации полупроводниковых элементов по основному авт. св. № 388377.

Однако известное устройство определяет положение полупроводниковых элементов на плоскости и выдает лишь команды в устройство контроля. Но оно не производит требуемой ориентации с сохранением сориентированного положения полупроводникового элемента для проведения в дальнейшем последующих технологических операций, требуюш,их определенной ориентации полупроводниковых элементов (например, измерение параметров полупроводниковых элементов, установка кристалла на подложке, припайка или приварка выводов и т.д.). Для проведения этих технологических операций требуется ориентированная укладка элементов в кассеты, на что уходит достаточно много времени.

Целью изобретения является сокращение времени укладки ориентированных полупроводниковых элементов.

Это достигается тем, что в предлагаемое устройство введены устройство управления исполнительным механизмом и четыре триггера, выходы которых соединены через дополнительно введенную сборку с устройством управления исполнительным механизмом, выходы датчиков которого подключены к первым входам упомянутых триггеров, при этом вторые входы триггеров соединены с выходами элементов сравнения.

На чертел е представлена структурная электрическая схема предлагаемого устройства. Устройство содержит формирователь команд

1, состоящий из последовательно соединенных генератора импульсов 2, счетчика 3 и дешифратора 4, контактный узел 5, элементы сравнения импульсов 6-9, триггеры 10-13, сборку - элементы «ИЛИ 14, устройство управления 15 исполнительным механизмом 6, датчики положения 17-20. Устройство работает следующим образом. При подаче сигнала «Ориентация на счетчик 3 последний запускается, и импульсы с

дешифратора 4 проходят через контактный узел и выбранный резистор ориентируемого прибора 21 па схемы сравнения. При совпадении сигналов на соответствующем элементе сравнения импульсов 6-9 с выхода его выдается импульс, сигнализирующий о положении ориентируемого прибора.

Указанный импульс запускает один из триггеров 10-13, каледый из которых имеет два раздельных входа. При перебрасывании

любого из триггеров 10-3 срабатывает элемент «ИЛИ 14, производя включение устройства управления 15, которое включает исполнительный механизм 16. На валу исполнительного механизма 16 установлен сигнальный элемент 22 - элемент датчика положения, который может быть как контактным, так и бесконтактным. В данном устройстве используется бесконтактный индуктивный датчик положения, срабатывающий при заходе магнитного элемента 22 в индуктивную катушку. При этом с датчиков положения 17-20 выдается сигнал на соответствующий триггер 10-13 для сброса его в исходное положение, при котором при помощи элемента «ИЛИ 14 и устройства управления исполнительным механизмом выключается исполнительный механизм 16 и происходит его остановка в необходимом положении, при котором ориентированный кристалл укладывается в кассету. Таким образом, в предложенном устройстве

полученная информация о положении проверяемого полупроводникового прибора преобразуется в информацию ориентированной укладки.

Формула изобретения

Устройство для определения ориентации полупроводниковых элементов по авт. св. № 388377, отличающееся тем, что, с целью сокращения времени укладки ориентированных полупроводниковых элементов, в него введены устройство управления исполнительным механизмом и четыре триггера, выходы которых соединены через дополнительно введенную сборку с устройством управления исполнительным механизмом, выходы датчиков которого подключены к первым входам упомянутых триггеров, при этом вторые входы триггеров соединены с выходами элементов сравнения.