Способ удаления покрытия споверхности подложек Советский патент 1976 года по МПК C03C23/00 C11D1/40 G03G7/00 

Изобретение относится к полупроводниковой технике, где применяются покрытия из холькогенидных стекол, например, в электрографии. Известен способ удаления покрытия с поверхности подложек путем растворения его в реагенте, при Котором поверхности подложек при удалении покрытия из халькогенидных стекол повреждаются. Цель изобретения - сохранение поверхностей неповрежденными при растворении покрытия из халькогенидных стекол. Достигается это использованием в качестве реагента водного раствора этилендиамина с концентрацией не менее ЗО% при 5О-150°С, Осуществлении способа производится, например, следующим образом. Электрографический цилиндр, представляю щий собой цилиндрическую алюминиевую подложку с покрытием из трехселенистого мышьяка, нанесенным на ее наружную поверх ность плошагью около 0,2 м, полностью погружают в Ю-15 л 7О%-ного водного раствора этилендиамнна (МРТУ 6-О9-1238 -64), нагретого до 65 С с тем, чтобы растворить покрытие. При толщине покрытия ЗО мкм оно полностью удаляется за 15 мин,. т. е. со скоростью 2 М1(м/мин. Восстановленную алюминиевую подложку навлекают из раствора и, не давая высохнуть остаткам раствора на поверхности подложки, промывкой проточной холодной водой удаляют его следы. Так как наряду с удалением покрытия происходит обезжиривание поверхности подложки, то достаточно окончательно промыть цилиндр дистиллированной водой и высушить, чтобы считать полностью йодготов- ленным для нового нанесения покрытия на его поверхности. Уменьшение температуры раствора или его концентрации ведет к значительному уменьшению скорости удаления покрытия. Например, при концентрации раствора 7О% и температуре - 4О°С слой толщиной ЗО MEM удаляется за ЗО мин, т. е. со скоростью 1 мкм/мин. При концентрации раствора 35% и температуре - 35°С слой толщиной ЗО мкм удаляется за 2,5 час, т. е. со скоростью 0,2 мкм/мин.

Потребность в обновлении растворн мо.-ет появиться лишь после удаления покрытия, например со 100 цилиндров.

Полированная поверхность подложки пос ле снятия покр1ытия. остается непрпрежденпой и обезжиренной, так как этилендиамин в лк-)бом соотношении смешивается с водой и с поверхности подложки при промывке ее легко удаляются следы его рвствора.

Формула изобретения

Способ удаления покрытия с поверхности подложек путем растворения его в реагенте, отличающийся тем, что, с целью сохранения поверхности подложек неповрежденными при растворении покрытия из халькогенидных: стекол, в качестве реагента используют водный раствор этилендиамина с концентрацией не 30% при 50-150°С.