Устройство для присоединения контактных рамок к полупроводниковым кристаллам Советский патент 1977 года по МПК H01L21/60 

VI большой площадью групповое одпойремеппое присоединение выводов невозможна нз-за у к а 3 а н н ы х п р н ч н н.

Для повышения качества присоединения и расширения технологических возмо кностей в предлагаемой установке рабочий столик с устройством зажима и ориентации кристалла устаиовлен иа верхней плите микроманипулятора, несущей также механизм иитаиия кристаллами и посредством фиксирующего устройства связаниой со средней илитой с уетаповлен)-:ым иа ней механ(змом подачн кассет с контактными рамками и с помощью второго фиксирующего устройства связанной с нижней плитой микромаиинулятора. несущей жестко закрепленную сварочную головку.

Такая конструкция позволяет проводить совмещение кристалла с контактной рамкой и их дальнейшее совместно фиксированное совмещение со сварочным инструментом, т. е. проводить последовательное перемещение свариваемых объектов иод сварочным HHCTj)yMeHтом.

На фиг. 1 изображена конструктивная схема и 5едлагаемой установки; на фиг. 2 - схема зажима кристалла.

Установка для присоединения контактных рамок к полупроводниковым крнеталлам содержит сварочную головку / (фиг. 1), рабочий столик 2, микромаиинулятор 3, механнзм перемещения кассет е контактными рамками 4, мехагИ зм 5 питан 1я криетал.чами, устройство G зажима и ориентации кристалла.

Устройство 6 зажима и ориентащп; содержит зажимиые губки 7, неременлающиеся параллельно плоскости кристалла и кинематически связанные для разжима и зажима кристалла с механизмом питания .;:ами. Устройство 5 закреплеио на рабочем столике 2, который, в свою очередь, установлен иа верхней илнте 8 микроманипулятора 3, иа которой устаиовлен также механизм 5. Верхняя плита 8 посредством фиксирующего устройства 9 связаиа со средней илитой 10, иа которой закреплен механизм подачи кассет с контактными рамками 4 и которая, в свою очередь, посредством фиксирующего устройства // связана с нижней плитой 12, на которой жестко закреилеиа сварочная головка 1.

Прн помощи нроектора 13 осун1ествл51етс5; П1;зуальный контроль еовмещення контактных нлон;адок 14 (фиг. 2) кристалла 15 с вь водамн коитактиых рамок 16 по отногпетипо к сварочному инструменту 17.

Установка работает еледующим образом.

Крнсталлы 15 механизмом 5 (фиг. 1) перекосятся иа поверхность рабочего столика 2 и при иомощи устройства 6 кристалл 15 предварительно ориентируетея н зажимается губками 7 на поверхности рабочего столнка 2. Точность установки и ориеитании достигается за счет размещения устройства 6 и механизма 5

на верхней нлите микромапипулятора. Верхняя плита 8 выполиена перемещаемой, а средняя плита 10, на которой установлен механизм подачи кассет с контактными рамками 4, может быть жестко связана фиксирующими устройствами 9 и // либо с нижней плитой 12 - в этом случае можно пронзводить совмещение зажатого кристалла 15 с неподвижной относительно сварочной головки / контактной рамкой, либо с верхней плитой 8- в этом случае

можно нроизводить переменденне ко1 тактной рамкн 4 п кристалла 15 отиоснтельно сварочного инструмента.

Оба иеремещения осуществляются от одной рукоятки микромаиииулятора 3 с нереключением фиксирующих устройств .9 и 11.

Возможность быстрого и удобного совмеи;е -;ня евариваемых объектов между собой, а также их дальнейшего совмещения со сварочным ннструментом от одной рукоятки манипулято)а значительно сокращает рабочее время и повышает производительность труда опе)атсра.

Ф о 5 м у да и 3 о б р е т е ir и я

Устаиовка для присоединения контактных рамок к полупроводниковым кристаллам, содержащая сварочную головку. рабоч1 Й столик, стройство зажима и ориентации кристалла,

манипулятор, механизм не емещеиия кассете контактными рамками и механизм питания ф -;сталлами, о т л н ч а ю щ н и с я тем, что, с целью повышения качества присоед неиия и )асщиреиия технологичееких возможноетей,

рабочнй етолнк е устройством зажима и орнентациг кристаллов установлен на верхней идите микромаиипулятора, несущей также механнзм нитащ-ш кристаллами и посредством фиксирующего устройства связанной со средкей плитой с установленным на ней механизмом подачи каесет с коитактнымн рамками н с помощью второго фиксирующего устройства связа1-нгой с нижней илитой мн романипулягора, несущей жестко закреилеиную сварочн чо головку.

Источиики информации, принятые во вннманне при экспертизе:

1.Хейнике Г. «Проблемы беспроволочного гонтактнрования в микроэлектронике, перевод ЦНИИ «Электроника, 1970.

2.Авторское свидетельство До 410494. кл. Н 0; / 7/68, 1971 (прототип).