фосфорную и уксусную кислоты, соединение фтора, например аммоний фтористый, и -растворитель, например воду 3.
Однако данный раствор предназначен для обработки металлов и в чем не происходит травления карбида кремния.
Предлагаемый раствор отличается от известного тем, что с целью повышения скорости травления карбида кремния в качестве соединения фтора и растворителя он содержит соответственно фтористоводородную кислоту и этиловый спирт при следующем соотношении компонентов, об. %: Ортофосфорная кислота
(уд. вес. 1,7 г/смз)3,7-4,0
Уксусная кислота (ледяная)46,5-48,5
Фтористоводородная кислота (40%-ная)2,0-2,3 Этиловый спирт
(96%-ный)Остальное
Электропроводность предлагаемого раствора при 20°С составляет 8,7-10 .
Раствор стабилен в течение 7 час непрерывной работы.
Пример. Анодное травление карбида кремния с исходной прочностью 220- 250 кг/мм проводят при скорости движения волокон 20 см/мин, силе тока 80 ма, напряжении 12 в.
Состав раствора и экспериментальные данные представлены в табл. 1. Скорость травления в известном растворе составляет 1,2 мкм/мин.
Таблица I
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Электролит для травления бронзы | 1982 |
|
SU1118894A1 |
| Раствор для получения источника диффузии донорной примеси | 1977 |
|
SU669695A1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГАЗОПРОНИЦАЕМОЙ МЕМБРАНЫ | 2008 |
|
RU2365403C1 |
| Способ селективного формирования источника базы при изготовлении транзисторных структур | 1974 |
|
SU521802A1 |
| Раствор для травления силицидов металлов | 1991 |
|
SU1795985A3 |
| Раствор для электрохимического полирования цинка | 1977 |
|
SU662572A1 |
| Состав для сухой дезактивации | 1983 |
|
SU1122148A1 |
| Раствор для травления алюминия | 1976 |
|
SU566866A1 |
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ ИЗ МАГНИЯ И ЕГО СПЛАВОВ | 1999 |
|
RU2150534C1 |
| Способ получения производных аминобензоциклогептена или их солей | 1976 |
|
SU682121A3 |
Влияние состава раствора на скорость травления и изменение предела прочности
Примечание: Знак «плюс в таблнце означает увеличение нредела нрочности, знак «минус - уменьшение.
Исключение из состава раствора уксусной кислоты или этилового спирта приводит к заметному понижению предела прочности при достаточно высокой скорости травления.
Таким образом, высокие скорости травления карбида кремния с одновременным сглаживанием поверхности (только этим можно объяснить увеличение предела прочности при травлении) определяются совокупностью всех четырех компонентов раствора при определенном количественном соотношении.
волокон карбида кремния представлено в табл. 2.
Таблица 2
Формула изобретения
Раствор для электрохимической обработки материалов, содержащий ортофосфорную и уксусную кислоты, соединение фтора и растворитель, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости травления карбида кремния, в качестве соединения фтора и растворителя он содержит соответственно фтористоводородную кислоту и этиловый спирт
следующем соотношении компонентов, %:
Ортофосфорная кислота
(уд. вес. 1,7 г/смз)3,7-4,0
Уксусная кислота (ледяная)46,5-48,5 Фтористоводородная кислота (40%-ная)2,0-2,3 Этиловый спирт
(96%-ный)Остальное
Источники ииформапии, принятые во внимание при экспертизе:
Киев, 1963, с. 206.
