Промывочный состав Советский патент 1977 года по МПК G03C5/30 

(54) ПРОМЫВОЧНЫЙ СОСТАВ

ровой кислоты, изофталевой кислоты и диэтиленгликоля в молярном отношеиии 2:1:3 и обладающий кислотным числом 30 (65 ч.), триэтиленгликольдиметакрилат (35 ч.), бензоинметиловый эфир (1 ч.), и гидрохинон (0,1ч.), образуя слой толщиной 0,6 мм. В результате образуется фоточувствительная полимерная пластина.

На полученный слой фоточувствительной полимерной пластины накладывают негатив, который сверху прижимают стеклянной пластиной. При экспозиции пластину освещают десятью ультрофиолетовыми флюорисцентными лампами в течение 3 мин. Экспонированную поверхность подвергают дущевой промывке (примерно 2 мин) однопроцентным водным раствором алюмината натрия. Раствор подают через 40 сопел под давлением 3,5 кг/см. Промывочный состав объемом 50 л используют для двадцатикратной обработки, причем осадок эффективно отделяется фильтрованием.

Пример 2. На поверхность железной пластины 300X400 мм наносят в виде слоя толщиной 0,8 мм фоточувствительную полимерную композицию, состоящую из сополимера метилметакрилата и метакриловой кислоты 7:3 в молярном отнощении (70 ч.), триэтиленгликольдиметакрилата (30 ч.), бензоинметилОБого эфира (0,3 ч.), гидрохинона (0,03 ч.) и ацетона (100 ч.). Пластину выдерживают в течение ночи для выпаривания ацетона, в результа(те абра.зуется ,фоточувствительная полимерная пластина.

На поверХЕость фоточувствителцной /полимерной пластины помещают негатив, а сверху - стеклянную пластину. При экспозиции пластину освещают десятью ультрафиолетовыми флюорисцентными лампами в течение 3 мин. Экспонированную поверхность подвергают (примерно в течение 2 мин) дущевой промывке однопроцентным водным раствором алюмината натрия, причем этот промывочный состав подают через 40 сопел под давлением

3,5 атм. Промывочный состав используют для промывки 20 пластин, при этом он имеет хорощую эффективность.

Сравнительный пример. Фоточувствительную полимерную пластину приготовляют и

экспонируют способом, описанным в примере 1. Экспонированную поверхность фоточувствительной полимерной пластины подвергают дущевой промывке однопроцентным водным раствором карбоната натрия, причем разбрызгивание раствора осуществляется через 40 сопел под давлением 3,5 атм. Более трех минут требуется для заверщения промывки, отмечается прилипание смолистых веществ на экспонированных участках поверхности.

Таким образом, промывочные свойства промывочного состава недостаточно удовлетворительны. Остаток отделяется с трудом и промывочный состав остается мутным.

Формула изобретения

Промывочный состав на основе водных щелочных растворов, отличающийся тем, что, с целью уменьшения токсичности с одновременным увеличением эффективности процесса, он содержит алюминат щелочного металла концентрации 0,01-5 вес. %.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. «Обзоры по электронной технике вып. 2 (86) Б. В. Малин, Т. И. Эрез «Основы фотолитографии в производстве интегральных схем, М., 19734 с. 24-25.