Устройство для микросварки Советский патент 1977 года по МПК B23K31/02 B23K19/00 H01L21/00 

Изобретение относится к производству приборов микроэлектроники, а именно к оборудованию для беспроволочной и проволочной сборки интеграл ных схем и других полупроводниковых приборов. Известно устройство для микросвар ки, в котором пере1..э1дение рабочего инструмента с направлении сварочного давления осуществляется при помощи шарнирно закрепленного рычага, а перемещение в направлении, перпендикулярном сварочному давлению, осуществляется как перемещением предгу етно го столика, так и перемещением оси вращения рычага. В этом случае испол зуются шариковые направляющие l. Недостатком данного устройства является невысокая точность перемещения рабочего инструмента вследствие наличия зазоров в шарнирах и направляющих Кроме того, приварка выводов к внутре ним и внешним контактным площадкам производится на разных позициях и раз личными инструментами, что снижает надежность работы устройства. Известно также устройство, содержащее корпус, держатель сварочного инструмента, взаимодействующий с при водом сварочного давления, и мехиниз перемещения инструмента в направлении сварочного давления и в направлении, перпендикулярном ему, свяэаннЕлй с приводом .2 . Недостатком этого устройства является то, что оно позволяет производить сварку только паучковых выводов и только к выводам корпуса. Цель изобретения - упрощение конструкции, повышение точности перемещения сварочного инструмента и уменьшение габаритов устройства. Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве механизм перемещения сварочного инструмента в направлении сварочного давления и в направлении, перпендикулярном ему, выполнен в виде установленного с воэможностью взаимодействия с приводом стержня с шарнирно 1закрепленными на нем приводным рычагом. Один конец указанного стержня соединен с корпусом при помощи плоской пружины, другой конец посредством второй плоской пружины соединен с держателем сварочного инструмента, а приводной рычаг установлен с возможностью воздейстэия на держатель сварочного инструмента. Дпя Облегчения ввода сварочного инструмента в точку сварки устройство снабжено установленным в корпусе мик романипулятором углового поворота де жателя сварочного инструмента, связанным со стержнем через вторую плос кую пружину. Такое выполнение сварочного меха низма позволяет исключить из констру ции громоздкие шариковые направляющи и обеспечивает высокую точность пере мещения рабочего инструмента вследствие отсутствия зазоровв шарнирах Механизм перемещения сварочного инструмента в виде единой модульной ко струкции обеспечивает простое формирование петли при проволочном монтаже приборов и перенос инструмента с точки сварки на кристалле на точку сварки на корпусе прибора, а также простоту настройки механизмов на кон кретную топологию приборов, что в со вокупности позволяет применять описы ваемое устройство для группового про волочного и непроволочного монтажа приборов. На фиг.1 изображено предлагаемое устройство, продольный разрез; на фиг.2 - то же, в плане. Устройство состоит из корпуса 1, к которому через плоскую пружину 2 и микроманипулятор, включающий планку 3, эксцентрик 4, ось вращения 5, и прижимной винт б, присоединен стержень 7. Один конец стержня 7 через плоскую пружину 8 соединен с держателем 9 сварочного инструмента 10. Держатель 9 через регулировочный вин 11 связан с приводным рычагом 12, за .крепленным в стержне 7 на оси 13. Стержень 7 прижимается к регулируемым упорам 14 пружиной 15, усилие прижатия задается винтом 16. Через пружину 17 стержень 7 соединен с Г-образным рычагом 18, закрепленным в корпусе 1 на оси 19 и связанным с приводом (не показан). Усилие прижатия сварочного инстру мента 10 к свариваемым деталям создается пружиной 20 и регулируется винтом 21, закрепленным в держателе 22, соединенным со стержнем 7. Устройство работает следующим образом. При монтаже полупроводниковых при боров устройство соединяется с приводом (не показан), воздействующим на рычаги 12 и 18 в соответствии с заданным законом перемещения сварочного инструмента. При этом перемещение инструмента 10 в направлении сварочного давления осуществляется при неподвижном Г-образном рычаге 18 и при перемещении приводного рычага 12 в вертикальной плоскости. Перемещение же в направлении, перпендикулярном сварочному давлению, осуществляется при неподвижном рычаге 12 и при перемещении рычага 18. Величина перемещения инструмента 10 в направлении, перпендикулярном сварочному давлению, регулируется упорами 14. Точное выведение сварочного инструмента в позицию сварки (настройка) обеспечивается также упорами 14 и угловым смещением планки 3 посредством эксцентрика 4 при отпущенном винте 6. Винтом 11 устанавливается исходное положение сварочного инструмента по высоте после соединения устройства с приводом. Описанный механизм при соответствующей замене инструмента 10 пригоден как для проволочного монтажа полупроводниковых приборов, так и для Монтажа их. методом паучковых выводов. Формула изобретения 1.Устройство для микросварки,содержащее корпус, держатель сварочного инструмента, взаимодействующий с приводом сварочного давления и механизм перемещения сварочного инструмента в направлении сварочногб давления и в направлении,перпендикулярном ему .Связанный с приводом отличающееся тем, что с целью упрощения конструкции,повышения точности перемещения сварочного инструмента и уменьшения габаритов,указанный механизм выполнен в виде установленного с возможностью взаимодействия с приводом стержня с шарнирно закрепленным на нем приводным рычагомупри этом один конец стержня соединен с корпусом при плоской пружины, другой конец посредством второй плоской пружины соединен с держателем сварочного инструмента, а приводной рычаг установлен с возможностью воздействия на держатель сварочного инструмента. 2.Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно снабжено установленным в корпусе микроманипулятором углового поворота держателя сварочного инструмента, связанным со стержнем через вторую плоскую пружину. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1.Авторское свидетельство 297090, кл. Н 01 L 21/00, 1969. 2.Авторское свидетельство 415753 кл. Н 01 L 21/00, 1972.

21

fS

Риг 2