Способ получения дихлорсилана Советский патент 1978 года по МПК C07F7/12 C07F7/14 C01B33/04 

Изобретение относится к способу получения дихлорсилана, находящехО применение при производстве кремнийор.ганических мономеров, а также при получении кремния высокой степени чистоты . Известно получение дихлорсилана путем диспропорционирования трихлорсилана в присутйтвии различных катализаторов, например, нитрилов l . Недостатком процесса является необходимость проводить реакцию диспропорционирования при температуре 150 С. и выше. В. качестве катализаторов диспропорционирования можно также использовать алифатические цианамиды 2J . Но для активирования этих катализаторов необходимо подвергать их дополнительной обработке кислотой Льюиса. Это приводит к тому, что полученный дихлорсилан содержит такие примеси, как бор, алюминий, титан, а в результате он не является пригодным для эпитаксии Использование в качестве катализатора гексаметилфосфоротриамида позволяет получить хорошие выходы дихлорсилана, но последний также не может быть использован для эпитаксии кремния из-за наличия в нем фосфорных примесей 3 . Предложено также использовать в качестве катализатора диметилформамид или диметилацетамид, но выходы дихлорси- i лана являются низкими из-за разложения катализатора 4 . Наиболее близким по технической сущности к описываемому способу является способ получения дихлорсилана диспропорционированием трихлорсилана в присутствии в качестве катализатора гетероциклического амина, а именно пиридина при кипении реакционной смеси 5 . К недостаткам способа следует отнести невысокий выход целевого продукта до 6-10%. Цель изобретения - увеличение выхода целевого продукта. это достигается за счет того, что диспропорционирование трихлорсилана проводят в присутствии в качестве катализатора гетероциклического амииа, а именно, N -метил- или N-винилпирролидона при кипении реакционной смеси. Отличительным признаком способа является использование в качестве гетероциклического амина N-метил- или N -винилпирролидона.