Устройство для резки пластин полупроводниковых материалов Советский патент 1978 года по МПК B28D1/18 B28D5/02 

На чертеже дана кинематическая схема предлагаемого устройства для резки пластин полупроводниковых материалов.

Устройство состоит из корпуса 1 с направляющими 2 и неподвижно закрепленным ходовым винтом 3, снабжеппым гайкой 4 для продольной подачи, жестко связанной с червячным колесом 5 и винтовой шестерней 6. Червячное колесо 5 входит в зацепление с червяком 7, являющимся приводом подачи, а винтовая шестерня 6 входит в зацепление с винтовой шестерней 8, которая жестко закреплена на ходовом винте 9 поперечной подачи, связанном с салазками 10 при помощи опор И вращательного движения. Ходовой винт 9 поперечной подачи взаимодействует с гайкой i2, жестко связанной с узлом 13 крепления детали. Узел 13 крепления имеет указатель 14, а на корпусе салазок 10 закреплена линейка 15. Алмазный круг 16 установлен на шпинделе разрезного станка (на черт, не показан). Ходовые винты 3 и 9 выполнены с резьбой различного направления.

Работает устройство следующим образом.

На узел 13 крепления наклеивают разрезаемую пластину и устанавливают относительно алмазного круга 16. Вращением червяка 7 сообщается вращение червячному колесу 5, жестко связанной с ним гайке 4 и винтовой шестерне 6 и от нее виптовой шестерне 8. Носледняя вращается с винтом 9 поперечной подачи в опорах 11. Так как опоры 11 жестко связаны с гайкой 4, а сама гайка перемещается в противоположную сторону относительно направления перемещения салазок 10, величина перемещения отсчитывается по шкале 15.

Нредлагаемое устройство позволяет использовать отрезные круги при их одиночной установке на отрезном станке с достижением высоких точностей при раскрое изделий или прорезке пазов порядка 5 мкм, при точности отсчета по линейке 0,05 мм и угле разворота, равном 5°46.

Формула изобретения

Устройство для резки пластин полупроводниковых материалов, содержащее корпус с ходовым винтом, снабжеппым гайкой для продольной подачи, салазки, расположенные относительно корпуса под углом и снабженные ходовым винтом и гайкой для поперечной подачи, связанной с узлом

крепления детали, а салазки связаны с гайкой продольной подачи, привод, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и производительности устройства, ходовые винты выполнены с противоположным направлением резьбы, при этом винт корпуса установлен неподвижно, а гайка для продольной подачи, снабженная приводом подачи, кинематически связана с винтом салазок, имеющим возможность

вращательного движения в опорах. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 327074, кл. В 28D 1/18, 1970.

2. Телинкичиев В. К. Металлорежущие станки. М., «Машиностроение, 1973, с. 31.