Способ изготовления металлических мелкоструктурных сеток Советский патент 1978 года по МПК C25D1/08 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МЕЛКОСТРУКТУРНЫХ СЕТОК

Изобретение относится к гальванопластическому изготовлению металлических мелкоструктурных сеток.

Известен способ изготовления металлических сеток, включающий создание на мета л лической матрице сетчатого рельефа,изоляцию поверхности матрицы между углублениями, нанесение разделительного слоя, электроосаждение слоя металла и удаление матрицы механическим путем или химическим растворением 1.

Наиболее близким к изобретению является способ получения металлических мелкоструктурных сеток путем электролитического осаждения слоя металла на сетчатую матрицу, материал которой не образует химических соединений с осаждаемым металлом, и последующего удаления матрицы выплавлением 2.

Однако известые способы не позволяют получать мелкоструктурные сетки из тугоплавких металлов с размером ячеек 1-3 мкм и плотностью отверстий до 10 на см .

Предложе1шый способ устраняет этот недостаток за счет того, что при электролитическом осаждении металла на сетчатую матрицу, материал которой не образует химических соединений с осаждаемым металлом, последний осаждают послойно при толщине слоя 1-2 мкм и проводят промежуточный отжиг в вакууме или инертной атмосфере при температуре равной 1,1-1,2 температуры плавления матрицы для ее удаления.

При отжиге происходит диффузия и испарение материала матрицы через слой тугоплавкого металла.

При этом уплотняется структура сетки и снижаются внутренние напряжения в электролитически осажденном металле.

В соответствии с предложенным способом в качестве исходной матрицы используют металлическую сетку, напримф медную, с размером ячеек 7-г-15,мкм и шагом 10-20 мкм. На обезжиренную матрицу электролитически осаждают слой тугоплавкого металла. Осаждение металла происходит с двух сторон. После наращивания слоя в 1-2 мкм матрицу с покрытием отжигают в вакууме или инертной среде щти температуре равной 1,1-1,2 температуры плавления материала матрицы, в результате че10 материал матрицы удаляется испарением чеj)ej слой ту1оплавкОго металла. Многократным

повторением операции осаждения и отжига материал матрицы полностью удаляют,- а размф ячеек сетки доводят до 1-3 мкм с получением плотности отверстий до 10 на 1 см.

Пример. Для получения рениевой сетки использовали трубчатую матрицу из медной сетки с размером ячеек 7-15 мкм и шагом 10-20 мкм.

На очищенную матрицу осаждали рений из электролита состава, г/л:

Пфренат аммония 9

Серная кислота25

Сульфат аммония50

цри температуре 50° С и плотности тока 20 а/дм с наложением ультразвуковых колебаний истотой 16 кг при использовании двух анодов в результате чего осаждение рения происходило с двух сторон. После осаждения слоя толщиной 2 мкм проводили отжиг матрицы с покрытием в среце вод(ода при температуре 1200°С в течение 15 мкн. При зтом атомы меди диффундируют на поверхность осажденного металла и испаряются, а осажденный слой металла уплотняется и происходит снятие внутренних напряжений.

Операции осаждения металла и отжига повторяли до получения трубчатой рениевой сетки с размером ячеек 2-3 мкм при плотности 10 на см и площадью сечения 10 мкм, причем примеси меди не превышали 0,3%.

Таким образом предложенный способ в отличие от известных позволяет получать мелкоструктурные сетки из тугоплавких металлов с размером ячеек 1-3 мкм и плотностью отверстий до 10 на см, которые мотут применяться в радиоэлектронщсе и других областях техники.

Формулаизобретения

Способ изготовления металлических мелкоструктурных сеток путем электролитического осаждения металла на сетчатую матрицу, материал которой не образует химических соединений с осаждаемым металлом и последующего удэления матрицы, отличающийся тем, что, с целью получения сеток из тугоплавких металлов с размером ячеек 1-3 мкм и плотностью отверстий до 10 на см, тугоплавкий металл осаждают послойно при толщине слоя 1-2. мкм с промежуточными отжигами в вакууме или инертной атмосфере при температуре равной 1,1-1,2 темпфа.туры плавления матрицы для ее удаления.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

2.Б. Я. Казначей. Гальванопластика в промышленности. Государственное издательство местной промышленности РСФСР, М., 1955, с. 117119, 122-126.