Способ изготовления многослойной печатной платы Советский патент 1978 года по МПК H05K3/00 

ОН

/0 (Г t г I 1

CHo-CH-CHH -В-СНг-СН-СН2 - -L-CH2 CH-tH2- V-B-CHz-CH-CHg , IL-Iw Ljfi)p

где,т- 0,1,2 или 3, h и P независи-гетероциклический остаток; L - светомо друг от друга - 1, 2 или 3 5чувствительная группа, содержащая,

В - алифатический, циклоалифатический,предпочтительно,халконовую группу или

аралифатический, ароматический илисоединение структурной формулы

ОН /о ff1 г CHg-CH-CH -j -L -CHg - -В -CHg-CHIIJrV 1

где m О, 1, 2 или 3;-h и «j, независимо друг от друга -1,2 или 3; В - алифатический, циклоалифатичедкий; аралифатический, ароматический

ок

CHgjf-ttHj-CH-CH j-j-B-CHg-CH-CHgl I-B-CH -CH-CH2 , /t IJm где m - 0,1, 2 или 3; n и ij незави мо друг от друга - 1, 2, или 3; В - алифатический, циклоалифатически ароматический, аралифатический или гетероциклический остаток, L - свето чувствительная группа, содержащая, предпочтительно, халконовую группу, остатки К-аяОмы водорода, которые могут быть частично заменены содержащими светочувствительную группу остатками или соединением структурной формулы O-ft ORОН Хч1 Г Xj. 1 X где т- О или целое число, предпочтительно, 1-10; X - водород или али фатическая группа и В -глицидиловая группа или содержащий светочувствительную группу остаток, причем, по меньшей мере, один остаток В - глицидиловая группа, экспонированные участки фоторезистивного материала подвергают термической обработке с использованием отвердителя горячего отверждения для эпоксидных .. смол. в качестве подложки применяют пр питанные эпоксидной смолой бумажные пленки или стеклоткань. Эти материа лы обладают хорошими электрическими и механическими свойствами. Эти фол гированные материалы являются основой для изготовления печатных плат На фольгированную подложку нанос светочувствительный лак на основе

он

I

ff

CH2-J -в- Ch2-CH-CH2

он

он

или гетероциклический остаток;Ц -све15 точувствительная группа, содержащая, предпочтительно, халконовую группу или соединение структурной формулы

о-к

0,

он

I

/

If..

-L-CH2-CH-CH2- -в-снг-сн-снг

nip 11/ -L-CH2-CH-CH2 Jffllo органического соединения с эпоксидными группами и группами, отверлсдаемыми электромагнитным излучением. Покрытие светочувствительного лака экспонируют через прозрачный негатив с изображением печатных проводников платы. Экспонирование осуществляется солнечным светом, угольными дуговыми лампами или ксеноновыми лампами в течение нескольких секунд на расстоянии 5 - 10 см.. Далее экспонированные платы подвергаются обработке проявляющей жидкостью, в качестве которой применяют органический растворитель или смеси растворителей. После проявления платы подвергаются травлению протравными жидкостями, в качестве которых используют феррихлоридные и аммонийперсульфатные растворы. Травление производят 40%-ным феррихлоридньзм раствором при 40°С в течение 5-7 мин., или 30%-ным аммонийперсульфатным раствором при 40°С в течение Ю 15 мин. При этом неэкспонированные участки фольги растворяются. Плата промывается водой, покрывается изоляционным лаком. Далее группа плат, соответствующая схеме, прессуется в брикет, образуя микросхему. Фоточувствительный лак приготавливают на основе органического соединения с эпоксидными группами и группами, отверждаемыми электромагнитным излучением, например, соответствующим общим структурным формулам: -- fr 1 I CHg-CH-CH -L -снг-сн -cHg - -в -снг-сн In

OR

ГГ 1 1 1

CH -L- СН2-СН-СНг--Б-СН2-СН-СН2 -В - 0%-СН Дн

11iniffl jtf где m- О, 1, 2 или 3;п ,р и cj, независимо друг от друга 1, 2, или 3; В - алифатический, циклоалифатически аралифатическиП, ароматический или гетероциклический остаток; L - свето чувствительная группа, содержащая халконовую группу; остаток R - атомы водорода, которые частично могут быть заменены содержащим светочувств тельную группу остатком. Формула изобретения Способ изготовления многослойной печатной платы, включающий нанесение на металлизированную поверхность каждой платы фоторезистивного материала, последующее экспонирование его через прозрачное негативное изображеоI ff1 ch -GH-CHg-j -в -снг-сн-сн2 iLи

где W - О, 1, 2, или 3; П и р - неза-или гетероциклический остаток;L -свевисимо друг от друга -1,2 или 3; - 5точувствительная группа, содержащая,

В - алифатический, циклоалифатичес-предпочтительно,халконовую группу или

кий, аралифатический. ароматическийсоединение структурной формулы (ГIf -L - CHg-CH -CHg - -в - СН2 -СНCHg-CH-CH |II . j« I

где т-0, 1, 2 или 3; П и cj независимо друг от друга -1,2 или 3; В - алифатический, циклоалифатический, аралифатический, ароматический

OR

|-1.-СН2-СН-СН2--В-СН2-СН-СН2 -В

где m - О, 1, 2 или 3; h и (}, независимо друг от друга - 1, 2 или 3; В-алифатический, циклоалифатический, аро- 55 матический, аралифатический или гетероциклический остаток, L - светочувствительная группа, содержащая, предпочтительно, халконовую группу,а остатки .8 - атомы водорода, которые могут быть частично заменены содержащими светочувствительную группу остатками или соединением структурной формулы gj

О-R

или гетероциклический остаток; L-светочувствительная группа, содержащая, предпочтительно,халконовую группу или соединение структурной формулы

0-R

CHg-CH-CHg 11 /0ч снг- -ъ-снг-сй-tHg JflJ, ние, соответствующее каждому слою конфигурации проводников, проявление органическим растворителем с удалением неэкспонированных участков фоторезистивного материала, обработку травильным раствором незащищенных фоторезистивным материалом участков металлизированной поверхности каждой платы и прессование пакета печатных плат, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа, в качестве фоторезистивного материала на металлизированную поверхность каждой платы наносят фоточувствительный лак на основе органического соединения с эпоксидными группами и группами, отверждаемыми электромагнитным излучением, например, соединение структурной формулы: H2-CH-CH2- -Б-СН2-СН-СН2 1 / СНН L-CH -CH-CHg Wgгде hi - О или целое число, предпочтительно, 1-10, X - водород или алифатическая группа и R - глицидиловая группа или содержащий светочувствительную группу остаток, причем, по

76346998

меньшей мере, один остаток R -глици- Источники информации, принятые

диловая группа, экспонированные участ-во внимание при экспертизе: ки фоторезистивного материала под-1 ,and(jstrie-EEec-trik-EEectrorn1,is Jahrg.,

вергают термической обработке с1970, № 22, 562-566. использованием отвердителя горячего 2. Патент США № 3606677,

отверждения для эпоксидных смол.кл. 29-625, 29.01,71.