Устройство для литья пленки Советский патент 1979 года по МПК B05C5/00 

.... ,

Изобретение относится к устройствам для изготовлений пленочнь1х покрытий И может быть использовано в радиоэлектронной промышленности,

: Известна устройствО| содержащее датчик толщины пленки датЧйк тодщины подложки, соединенный со станиной и с первым торцом первого сильфона, второй торец первого с льфона соединен с первым торцом второго сильфона lj.,

При йсиользовании известного устройЦ ства для литья пленки не обеспечивается постоянство величины зазора между датчиком толтинь пленки и отливаемой пленкой/ что прнвсадит к понижению стабильности толщинь отливаемой планки смешения рабочей точки датчика толщины пленки..

Целью изобретения является 11овьтше вне стабильности толщины отпиваемой

пяенки.

Это достигается тем, что в известном устройстве для литья пленки, содержащем датчик толщины пленки, датчик толшины

. .. - . , 2- ,; .

подложки, соединенный сО станиной и с первУм тордом первого сильфона, второй тОред первого сильфона соединён с нервым торцом второго сильфона, литейная головка соединена с вторым тОрцом. второго сильфона а датчик толщины пленки соединен с вторым торцом первого сильфона и первым торцом второго сильфона

В предложенном устройстве датчики толщины пленки и подложки предпочтительно выполнены в виде пар дроссель-сопло, при этом входы дросселей соединены с источником питания, выход дросселя датчика толщины подложки соединен с входом первого сильфоаа, а выход дрос5селя датчика толщины пленки соединен с входом второго Сильфона.

На чертеже приведена 4ункш1ональиая схема устройства.

Устройство для литья пленки содержит

0 станину 1 для подложки 2, литейную rt ловку 3,второй сильфок 4, первый торец которого Соединен с вторым торцом первого скльфона 5, датчик 6 толщины подложки 2, даггчнк 7 толщины пленки. Датчик 6 толщины подложки 2 соеаиквн мвханияескн со станиной 1 и с первым тор дом первого сильфона 5, литейная головка 3 соединена с вторым торахом вторемро сильфона 4, а датчик 7 толщины плешш

еЪеЛзЫнен с пербым торном вторм о снль фоиа 4 и с вторым то{жом первого сил.ьфона 5. Датчик 6 толщины поопожкв 2 содержит первый дроссель 8t а авгчик 7 толишны пленки содержит второй дроосель 9

Междроссельйая камера 1О датчика 6 толщины подложки соединена с первым сильфоном 5, а междроссельная г &мера 11 датчика 7 толвданы пленка сбёданена с вторым сильфоном 4, Сопло 12 датчика 6 ТОЛП1ИНЫ ПОДЛОЖКИ располаясенр над поцложкой 2, а сопло 13 датчика 7 толщита пленки расположено над отш1ваемой . Писание на первый 8 и второй 9 дроссели поступает от истоЧ1шка питания 14,

Устройство для литЬя пленки работает следующим образом,

При иэмеиега1и величины эвзора между соплом 12 и поверхностью движущейся подложки 2, рьшвашюм изменением Ttwi 1Шнн подложки, изменяется давление в мегкдроссельной камере Ю и соответствеино в первом сильфоне S,. Иа-ва памененйя давления первый ся1льфон 5 либо сжимается, либо растягивается, поднимает при уменьшении зазора или опускает при увеличе11ни эаёора второй сильфон 4 вместе с подвеше1шой к нему ntij;efiHOU головкой 3 на величину изменения зазора. Одновременно на ту ж© величину смещается датчик 7 толщины пленки. Таким образом, зазор между поЕ(Ложкой 2 и латейной головкой 3 остается постоянным.

При изменении в ичины зазора между соплом 13 датчика 7 толщины пленки, вызванном изменением толщины пленки, причиной которого может быть, например, измене ше текучести литейнойжидкости, изменяется давление в междроссельной камере 11 и соответственно во втором сильфоне 4, Второй сильфон 4 срабатывает и перемещает литейную головку 3 до тех пор, пока зазор между соплом 13 и поверхностью пленки не достигнет заданной величины.

мула изобретения

Фор

il. Устройство для литья пленки, содержащее датчик толщины плешш, атчик тогоцины подложки, соединенный со С аниной и с первым торцом первого сильфона, второй торец первого сильфона соединен с первым торком второго сильфона о т л и ч а ю щ е е с я тем, чтс с целью повышения ств1$илыгости толщи- гы отливаемой пленки, литейная головка соединена с вторым тораом BTbptHo счльфона, а датч{ К тошдвны плешш соединен 6 вторым тоЕщом первого сильфона и пер йым тораом BTopw o сильфона,

2, Устройство по а, 1, о т л и ч аю ni е е с я тем, что датчики толщины Пае1ши и подложки выполнены в виде пар фоссель-сопло, при STOM входы дросселей соеоЁНнены с источником питания, выход дросселя датчика толвшнМ поопсяккн сое{шнен с входом первого сильфона, а выкоп дросселя датчика толщины плешш соединен с входом второго сжльфона.

Источники информации, во вникание при экспертизе;

1, Волоков С, С,.Основы автоматизации намерений, М,, Стандарты, 1974, eft.99-3O2,