Установка для литья пленки Советский патент 1980 года по МПК B05C5/02 

Изобретение относится к устройствам дпя изготовления эмиссионных, металлизаиионнык, изоляционных и т. п. пленочнык покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности. Известна установка дпя литья пленки, содержащая питьевую воронку для жидкой пастЫг установленную над подвиж ной технологической подложкой . Однако эта установка не обеспечивает получения пленки стабильной толщины. Более близкой к предлагаемому изобретению является установка для литья пленки, содержащая литьевую воронку для шликера, сос-гошцую из корпуса и днища с выполненной в нем литьевой щелью, и систему автоматического регулирования расхода шликера, включающую пневмодатчик контроля толщины пленки и исполнительный механизм 2 Однако в таком устройстве изменение гидростатического давления литейной жид кости в воронке по мере ее расходования приводит к изменению рэсхода шпикера и, соответственно, нестабильно с TIT параметров пленки. Цель изобретения - повышение стабильности толщины пленки эа счет автоматического регулирования расхода шликера. Цель достигается тем, что в установке для литья пленки, содержащей литьевую воронку для шликера, состоящую из корпуса и днища с выполненной в нем литьевой щелью, и систему автоматического регулирования расхода шликера, включающую пневмодатчик контроля толщины nneEi™ ки и исполнительный механизм, исполнительный механизм выполнен в виде смонтированных между корпусом и днищем воронки пары коаксиальных сильфонов, полость между которыми связана с пневмодатчиком, причем подвижные ториы сильфонов прикреплены к днищу. На чертеже изображена схема установки для литья пленки. Установка для литья пленки содержит стол 1, подвижную технологическую

3 .7

подложку 2. Над поверхностью стола (технологической подложки) установлена литьевая воронка, имеющая корпус 3 и подвижное 4, в котором выполне- на литейная гаель 5. Кроме .того, установка содержит систему автоматического регулирования расхода iiinHKepa, включающую пневмодатчик и сильфонный исполнительный механизм.

Пневмодатчик выполнен в виде недиф- ференциального пневмоизм ери тельного устройства монометрического тина, содержащего входной дроссель 6, измерительную камеру 7 (условно показанной на чертеже одной линией) и измеритель- кое сопло 8, установленное над поверхностью стола (подложки) за воронкой по ходу движения подложки. К датчику подведена пневмосистема (на чертеже не показана).

Исполнительный механизм выполнен в виде пары коаксиально расположенных сильфонов 9 и 1О. Сильфоны встроены в воронку таким образом, что верхние их торцы герметично прикреплены к корпусу 3, а к нижним прикреплено подвижное днище 4, При этом днище 4 также закреплено на пружинном параллелограмме 11. Полость между сильфонами 9 и 1О пневматически связана с помотяью

трубопровода 12с измерительной камерой 7.

Устройство работает следующим образом.

Воронку заполняют металлоорганической литейной пастой (щликером). При этом заполняется полость сильфона 9 и он под действием гидростатического давления, преодолевая сопротивление силь- фона 1О, растягивается, приближая дни- ще 4 к поверхности технологической подложки 2. Через литейную щель шликер поступает на движущуюся подложку, причем, по мере расхода шликера, гидростатическое давление в воронке падает и СИЛЬФОНЫ 9 и 10 сжимаются, поднимая днище 4 и увеличивая литейный зазор между днищем и подложкой,вследствие .чего расход остается неизменным.

Металлоорганический слой, полимери- зуясь на подложке, превращается в пленку, которая вместе с подложкой проходи под измерительным соплом 8, установле54

ным над столом с заданным зазором. При несоответствии толнтины плонки заданному размеру изменяется зазор между пленкой и соплом, что приводит к изменению расхода воздуха, поступающего из пневмосистемы, к изменению давления в измерительной камере 7. Соответственно изменяется давление в полости между сильфонами 9 и 10. Воздействие пневмодавления .накладывается на действие гидростаттического давления, в результате чего днище удерживается сильфонами в .состоянии динамического равновесия на оптимальной для данных условий высоте над подложкой, задавая тем самым необходимый расход шликера. Пружинный параллелограмм 11 играет роль демпфера, служащего для гашения колебаний днища при изменении его положения. Таким образом получают пленку стабильной толщины

Использование предлагаемой установки позволяет получить высококачественну металлоорганическую пленку, применяемую в гибридных интегральных схемах, электронных вакуумных приборах и т. п.

Формула изобретения

Установка для литья пленки, содержащая литьевую воронку для шликера, состоящую из корпуса и днища с выполненной в нем литьевой щелью, и систему автоматического регулирования расхода шликера, включающую пневмодатчик контроля толщины пленки и исполни тельный механизм, отличающаяся тем, что, с целью повышения стабильности толщины пленки за счет автоматического регулирования расхода шликера, исполнительный механизм выполнен в виде смонтированны между корпусом и днищем воронки пары коаксиальных сильфонов, полость между которыми связана с пневмодатчик ом, причем подвижные торцы сильфонов прикреплены к днищу.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе . 1. Авторское свидетельство СССР № 432933, кл. В О5 С 5/О2, 197J.

2. Авторское свидетельство по заявке № 25О6О59, кл. В О5 С 5/О2, 1977 (прототип).