Устройство для литья пленки Советский патент 1978 года по МПК B05C5/02 

1

Изобретение относится к области изготовления пленок метолом литья и жидкой пасты и может быть использовано в химической промышленности, а пленки - в электронной промышленности, например, при изготовлении пленочных покрытий.

Известно устройство для изготовлния пленок методом литья, содержаще воронку для жидкой пасты, установленную над подвижной технологической подложной . в процессе литья паста поступает через щель воронки на движущуюся подложку.

Недостатке указанного устройств является нестабильность толщины отливаемых пленок вследствие снижения уровня и тем самым гидростатического давления паста в воронке по мере ее расхода.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является устройство для литья пленки, содержащее стол для технологической подложки, установленную нал столом герметичную литейную воронку, соединенную с трубопроводом сжатого воздуха

В литейной воронке образуется суммарное (гидростатическое - воздушное) давление вытеснения пасты на подложку, в котором доля гидростатического давления незначительна, вследствие чего изменение гидростатического давления, происходящее по мере вытеснения пасты, мало изменяет давление вытеснения пасты из воронки, что обеспечивает более равномерный расход пасты и, следователь0но, стабильность толщины изготавливаемой пленки.

Однако при изготовлении презиционных пленок, используемых в электронной промышленности, даже незначи5тельное отклонение толщины пленки от номинального размера, вызываемое изменением суммарного давления вытеснения по мере расхода пасты в воронке, нежелательно.

0

Целью изобретения является повышение стабильности толщины изготавливаемой пленки.

Эта цель достигается тем, что известное устройство для литья пленки,

5 содержащее стол для- технологической подложки, установленную над столом герметичную литейную воронку, соединенную с трубопроводом сжатого воздуха, снабжено узлом измерения тол- , щины пленки и регулятбром давления.

причем выход узла измерения толЬданы пленки соединен со входом регулятора давления, а выход регулятора давления соединен с литейной воронкой. При этом узел измерения, толщины пленки выполнен в виде пневматической пары дроссель сопло, подключенной к трубопроводу сжатого воздуха , причем сопло расположено над столом в месте нанесения пленки на технологическую подложку.

Кроме того, литейная воронка соединена с атмосферой через- регулируемый пневматический дроссель.

На чертеже изображено устройство для литья пленки, общий вид.

Устройство содержит стол 1 для технологической подложки 2. Над столом установлена литейная воронка 3, имеющая щель 4. К воронке подведен трубопровод 5 сжатого воздуха, соединяющий ее с выходом регулятора давления 6. Воронка соединена с атмосферой через регулируемый пневматический дроссель 7, позволякняий устанавливать требуемое номинальное давление вытеснения пасты из литейной воромки 3. Регулятор 6 соединен с трубопроводом 8 сжатого воздуха.

Узел 9 измерения тожданн пленки 10 состоит 533 здаоссеяя II и измерительного сопла 12, соединенных между собой трубопроводом 13. Сопло 12 расположено с задангзым зазором над столом 1. Выход узла 9 измерения толщины пленки 10 соединен трубопроводом 14 со входом регулятора давления 6. Для перемещения технологической подложки 2 служит механизм привода 15.

Устройство для литья пленки работает следующим образом.

Литейную воронку 3 заполняют пастой, приводят в движение технологическую подложку 2 и подают сжатый воздух из пневмосистемы. Под суммарным (гидростатическое + пневматичес кое) давлением вытеснения паста из литейной воронки 3 через щель 4 поступает на технологическую подложку 2, движущуюся по столу 1. Образовавшаяся пленка 10 на технологической подложке 2 проходит в зазор между столом 1 и измерительным соплом 12. При отклонении толщины пленки 1Q. от номинального значения изменяется зазор между ее поверхностью и соплом 12. Это приводит к изменению расхода воздуха через сопло 12 и измеиению давления в трубопроводе 13, а значит и на входе регулятора 6. Так, при увеличении толщины пленки (по сравнению с номинальной) зазор у сопла 12 уменьшается, расход воздуха через него падает, что приводит к возрастанию давления в трубопроводах 13, 14 и на входе регулятора 6. Увеличение давления на входе регулятора 6 уменьшает его проходное сечение, что при неизменном сечении дросселя 7 вызывает уменьшение давления в литейной воронке 3. Это приводит к уменьшению .расхода пасты до тех пор, пока толщина отливаемой пленки 10 не достигнет номинального значения ..

При уменьшении толщины отливаемой пленки 10 по сравнению с номинальным значением зазор сопла 12 увеличивается, давление воздуха на выходе регулятора 6 падает, что приводит к увеличению расхода пасты до тех пор, пока толщина отливаемой пленки 10 не достигнет номинального значения. Формула изобретения

1.Устройство для;литья пленки, содержащее стол для технологической подложки, установленную над столом герметичную литейнук) воронку, сое диненную с трубопроводом сжатого воздуха, отличающееся тем, что, с целью повьааения стабильности толщины изготавливаемой пленки, оно снабжено узлом измерения толщины, пленки и регулятором давления, причем выход узла измерения толщины пленки соединен со«входом регулятора давления, а выход регулятора давления соединен с литейной воронкой.

2.Устройство ПОП.1, ОТЛИчающеес я тем, что узел измерения толщины пленки выполнен в виде пневматической пары дроссель сопло, подключенной к трубопроводу сжатого воздуха, причем сопло расположено над столом в месте нанесения пленки на технологическую подложку.

3.Устройство по ПП.1 и 2, о т личающеес я тем, что литейная воронка соединена с атмосферой через регулируемай пневматический ддаоссель.

Источники информадии, принятые во внимание при экспертизе:

1.Авторское свидетельство СССР 450597, кл. В 05 С 1/04, 1971.

2.Патент ОНА № 2974364, кл, 18-15f 1965,