Препаратоводитель для электронного микроскопа Советский патент 1979 года по МПК G02B21/26 H01J37/26 

(54) ПРЕПАРАТОВОДИТЕЛЬ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Изобретение oiniiCHTCH к предметным столи}сам для ми С|:-Скопа. а именно к устройствам для пере :;тения образi.ia по координатным осям, отз,; кания изучаемой области на образце и последующего сканирования ее, и может найти применение при исследованиях различных этал1;нов к объектов полупроводниковой :р(1МЫ1иленности на прецизионных микроскопах в .

Известен маннг; лятор для электронного микроскопа, обесточивающий перемещение образца по осям A,Y,Z, а также независимый наклон образца относительно двух взаимно перпендикулярны.--, oct-й в пределах ±40° 1.

Известен также препаратоводитель для сканирующего микроскопа, содержащий предметный столик, .механизмы перемещения по осям X, Y и .щаговые приводы 2.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности яв.;яется устройство, мет:нмй столик, установсодержащее пре;: ленный с возмож :::стью перемещсггия вдоль -:.:гди кул ирных координаттрех взаимно пер ных осей X, Y , Z и ;юворота вокруг вертикальной ос.ч , Kai ч-л: с e afn 3Maiv H перем еще Н и я к п ово j; от,;

Однако это устройство имеет недостаточные точность ориентации и эксплуатационную надежность.

Целью изобретения является повыщение точности ориентации и эксплуатационной надежности.

Это дсСтигается тем, что в предлагаемом црепаратовод.ителе механизм перемещения вдоль OCI-; Z вьиюлнен в виде С-образного корпуса с ..закрепленными на нем шаговым приводом, установленного вдоль вертикальной осп .предметного столика и закрепленного на одной кареток перемещения по осям A,Y, внутри когорого расположен ползун с возл ож -юстью безлюфтового перемещения по регу/1ируемым щариковым опорам вдо,ль

. вертика.п.ной оси пред.метного столика и имеющий упор, взаимодействующий с конечнымн зь1клкг ателями шагового привода при это.. ;u вертикальной оси предметного столика жестко укреплена шестерня, находящаяся в за11сп.;ении с жестко закрепленным на

ползуне щагоБым приводом поворота, а ось n;.ie.:L ifTHoro столика снабжена упором, взаи.м(.;действуюгаим при повороте предметного с:ч:;.1-.ка на 180° с подпружиненным коромыслом, попеременно замыкающим конечные выключатели привода поворота.

На фиг. 1 показан описываемый препаратоводитель для микроскопа; на фиг. 2 - разрез А-А фиг. 3; на фиг. 3 - вид механизма подъема и поворота сверху.

Препаратоводитель представляет собой каркас, состоящий из нижней I и верхней 2 плит, соединенных между собой колонками.

На верхней плите 2 смонтирована на ихариковых опорах каретка 3 перемещения по оси А, а на ней таким же образом смонтирована каретка 4 перемещения вдоль оси Y . Каретки перемещаются по осям X и Y посредством приводов 5 и 6, связанных с ними реечными передачами 7 и 8. На каретке 4 установлены механизмы 9 подъема и поворота, на выходной оси 10 последнего укреплен предметный столик 11 (фиг. 1).

Механизм 9 подъема и поворота состоит из С-образного корпуса 12 (фиг. 2), в котором находится ползун 13, перемещаемый совместно с осью 10 вдоль корпуса 12. На оси 10 жестко укреплена щестерня 14, связанная с редуктором поворота 15. Упор 16, взаимодействующий с конечными выключателями 17, 18 привода подъема 19, служит для ограничения перемещения ползуна 13 с осью 10 вдоль оси Z . В верхней части ползуна 13 смонтировано подпружиненное коромысло 20, укрепленное на оси 21, взаимодействующее при повороте с упором 22 оси 10 и конечными выключателями 23, 24 привода поворота 25 (фиг. 2, 3).

Препаратоводитель устанавливается в ионном микроанализаторе при разряжении порядка 1 10 мм рт. ст. Устройством управляют с дистанционного пульта управления, на котором задают необходимый режим работы, скорость перемещения образца, зону сканирования и величину перемещения в этой зоне.

При включении привода механизма подъема 19 перемещается ползун 13 с осью 10, жестко закрепленной с предметным столиком 11. Для вращения столика включают привод механизма поворота 25, который вращает щестерню 14, насаженную на ось 10.

Вращение оси со столиком производится в обе стороны на 180°. Для устранения мертвой зоны при повороте на 180° служит подпружиненное коромысло 20.

Формула изобретения

Препаратоводитель для электронного микроскопа, содержащий предметный столик, установленный с возможностью перемещения вдоль трех взаимно перпендикулярных координатных осей X,Y,Z и поворота вокруг вертикальной оси Z, каретки с механизмами перемещения и повдрота, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности ориентации и эксплуатационной надежности, механизм перемещения вдоль оси Z выполнен в виде С-образного корпуса с закрепленным на нем щаговым приводом, установленного вдоль вертикальной оси предметного столика и закрепленного на одной из кареток перемещения по осям X, Y , внутри которого расположен ползун с возможностью безлюфтового перемещения по регулируемым щариковым опорам вдоль вертикальной оси предметного столика и имеющий упор, взимодействующий с конечными выключателями щагового привода, при этом на вертикальной оси предметного столика жестко укреплена щестерня, находящаяся в зацеплении с жестко закрепленным на ползуне щаговым прие водом поворота, а ось предметного столика снабжена упором, взаимодействующим при повороте предметного столика на 180° с подпружиненным коромыслом, попеременно замыкающим конечные выключатели привода поворота.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

0 2. Препаратоводитель для сканирующего микроскопа, проспект фирмы «Ор1оп,ФРГ, 1974, каталог № F 41-820Е.

3. Патент ФРГ № 1789019, кл. 21 G 37/10, опублик. 1972 (прототип).