Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы Советский патент 1980 года по МПК C23C11/08 

Изобретение может быть использовано для нанесения покрытий на металлы, в частности дпя нанесения покрытий методом газофазного осаждения на непрерывно движущуюся провол ку или ленту, а имеино для нанесения покрытий из тугоплавких металлов на мнкропроволоку. Известно устройство для нанесения покрыти из газовой фазы, содержащее реактор с затворами, механизм протяжки и систему подачи и откачки рабочих компонентов 1 . В этом устройстве герметизаций ввода и вы вода обрабатываемой проволоки в реактор обеспечивается с помощью жидкостных (ртутных) затворов. Перемещение проволоки в реакторе осуществляется за счет усилия, приложенного к ней со стороны протяжного устройства.. ,, Известно устройство для нанесения покрьгги из газовой фазы, содержащее реактор с затворами, механизм протяжки и систему подачи и нейтрализации рабочих компонентов 2. Такое устройство является наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату. Недостатками известных устройств являются необходимость приложения к обрабатываемой проволоке растягивающих усилий, преодолевающих силы трения механизма протяжки и возможность взаимодействия (например амальгамирование, растворение) материала проволоки с затворной жидкостью. Это не позволяет использовать проволоку из материалов, имеющих малую прочность. при температурах осаждения или взаимодействующих с затворной жидкостью. Целью изобретения является расщирение номенклатуры обрабатываемых изделий. Это достигается тем, что устройство снабжено гибкой дублирующей связью, выполненной в виде роликов и щкивов, расположенных вне реактора и кинематически связанных между собой и механизмом протяжки. На фиг. 1 изображен реактор с газовыми затворами, общий вид; на фиг. 2 дана кинематическая схема механизма протяжки; на фиг. 3 - газовый, затвор.

Устройство содержит реактор Г, к верхнему м нижнему концам кот орого ггрисоединены узль1 2 ввода и узел 3 вывода обрабатываемой микропроволоки. Реактор 1 имеет штуцер 4 для входа и штуцер 5 для выхода реакционной смеси и термостатирзтоШую рубашку 6 со штуцерами 7 и 8 подачи и отвода теплоносителя.

Механизм 1Гротяж1сй состоит иэ подающей катушки 9, обрабатываемой микрбйровблоки ,10,верхнего контактного ролика 11 с Тсоническим шкивом 12, нижнего контактнЬгбрблика 13, шкива 14, приводного шкива 15, промежуточного ролика 16, натяжного шкива 17, механизма 18 з ладки, приемной катушки 19, дифференциальных регуляторов 20 и 21 соответственно скорости приводов и скорости вращения приемной катушки, регулируемой фрикционной муфты 22 и бесконечного гибкого шнура 23.

Для ввода и вывода обрабатываемой микропроволоки применены одинаковые газовые затворы, состоящие из наружной несущей трубки 24, керамического капилляра 25, ушю.тняющих колец 26 и 27, Несущая трубка 24 и керамический капилляр 25 имеют отверстия а и б для подачи инертного газа.

Устройство работает следующим образом. Электродвигатель через дифференциальный регулятор скорости привода 20 вращает приводной шкив 15, с которого с помощью гибкого шнура 23 вращение передается через шкивы 12 и 14, при этом гибкий щнур 23 проходит вне газовых затворов и реактора 1.

Исходн)то проволоку 10 пропускают от подающей катушки 9 через верхний контактный ролик И, узел 2 ввода, реактЬр 1, узел 3 вывода, нижний контактный ролик 13, промежуточный ролик 16, механизм укладки 1В на приемную катушку 19. |1атяжение проволоки между подающей катушкой 9 и верхним контактным роликом 11 обеспечивается тормозным моментом подающей катушки 9,Ш избежание проСкальЭВ№айИ я прб1в6локи ш контактных роликах И и 13 делают полный витбк проволоки на каждом ролике.

Уменьшение усилий, растягивающих проволоку между контактными роликами II и 13, достигается согласованием скоростей контактных роликов 11 и 13 за счет двИ)кущегося параллельно проволоке по шкивам 12 и 14 гибкого шнура 23, вЬспринймающего нагрузки по преодолению трення механизма протяжки. Точное Согласование скоростей роликов 11 и 13 осуществляется перемещением ведущего гибкого шнура 23 вдоль конического шкива 12 на валу ролика 11.

Нагйжение проволоки на участке между роликом 13 и приемной катушкой 19, необходимое для качественной укладки проволоки, получают за счет треНия в регулируемой фрикционной муфте 22, при этом требуемое для проскальзывания фрикционной передачи опережение скорости вращения вала приемной катушки 19 относительно самой катушки устанавлибают с помощью дифференциального

регулятора скорости 21, зависимого от регулятора скорости 20.

В реактор 1 через штуцер 4 подают реакционную смесь, а в термостатирующую рубашку 6 через штуцер 8 - теплоноситель. В газовые

затворы через отверстия а и б подают инертный газ, давление которого на концах капилляров со стороНы реактора. 1 выбирают равным или незначительно большим, чем давление смеси реакционного газа в реакторе I.

Это препятствует выходу реакционной смеси из реактора 1, так же как и проникновению атмосферного воздуха в реактор, но одновременно позволяет протягивать через затворы и реактор проволоку без механического или

химического воздействия на нее в узлах ввода и вывода.

.. .-

Йредлагаемое устройство позволяет устранить механические нагрузки с участка микропровоrioKH в зоне нанесения покрытия, где проволока разогрета до состояния, близкого к пределу прочности Материала, снимаются механические нагрузки на преодоление трения механизма протяжки и устраняетсямеханическоеи

химическое взаимодействие микропроволоки с элементами узлов ввода и вывода проволоки в реакционную зону.

Формула изобретения

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы, содержащее реактор с затворами, механизм протяжки и систему подачи и нейтрализации рабочих компонентов, отличающееся тем, что, с целью расширения номенклатуры обрабатываемых изделий, оно снабжено гибкой дублирующей связью, выполненной в виде роликов и шкивов, расположениь1х вне реактбра и кн11ематически связанных между собой и механизмом протяжки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент США N 3365330, кл. 117-201, 1964.

2.Патент Франции № 2121969,кл.Р 16 j 15/00, 1972.

S

г.-/

СУ

м