(54) ХИМИЧЕСКИЙ СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| НИКЕЛЬЗАМЕЩЕННЫЕ И СМЕШАННЫЕ НИКЕЛЬ- И КОБАЛЬТЗАМЕЩЕННЫЕ ХРОМОКСИДНЫЕ КОМПОЗИЦИИ, ИХ ПОЛУЧЕНИЕ И ПРИМЕНЕНИЕ В КАЧЕСТВЕ КАТАЛИЗАТОРОВ И ПРЕДШЕСТВЕННИКОВ КАТАЛИЗАТОРОВ | 2003 |
|
RU2318595C2 |
| СПОСОБ ПОЛИМЕРИЗАЦИИ ИЛИ СОПОЛИМЕРИЗАЦИИ | 1973 |
|
SU407435A1 |
| СПОСОБ АЛКИЛИРОВАНИЯ АЛКАНОВ С-С АЛКИЛГАЛОГЕНИДАМИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТВЕРДОГО КИСЛОТНОГО КАТАЛИЗАТОРА | 1998 |
|
RU2190589C2 |
| Способ регенерации неводных растворов для травления меди | 1981 |
|
SU973671A1 |
| Раствор для травления меди | 1977 |
|
SU910845A1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГАЗОПРОНИЦАЕМОЙ МЕМБРАНЫ | 2008 |
|
RU2365403C1 |
| КАТАЛИТИЧЕСКОЕ ГАЗОФАЗНОЕ ФТОРИРОВАНИЕ | 2011 |
|
RU2541541C1 |
| СПОСОБ ЭЛЕКТРОЛИТНО-ПЛАЗМЕННОГО УДАЛЕНИЯ С ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛИ ЗАЩИТНОГО ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ АЛЮМИНИЯ И НИКЕЛЯ | 2023 |
|
RU2805723C1 |
| ТЕПЛОАККУМУЛИРУЮЩАЯ СОЛЕВАЯ КОМПОЗИЦИЯ | 2015 |
|
RU2654044C2 |
| ФОТОРЕЗИСТНАЯ КОМПОЗИЦИЯ | 1998 |
|
RU2199773C2 |
I
Изобретение относится к области хи- МИЧ8СКОЙ обработки, в частности к размерному травлению.
Известен химический способ травления с применением в качестве травящей среды газа-окислителя, например хлора l Однако указанный способ позволяет проводить только равномерное травление всей металлической поверхности и не дае возможности осуществить размерное травление металлов, неметаллов и их соедг нений.
Целью изобретения является повыше- ние точности размерного травления тугоплавких металлов, их карбидов, их окислов и графита.
Эта цель достигается тем, что на мео та, подлежащие, травлению, помещают каталйзатор, выбранный из группы, содержащей фторид двухвалентного никеля, фторид двухвалентного кобальта, фторид серебра, хлорид двухвалентной меди, хло
рид:двухвалентного никеля и окисел сви№ца (сурик).
В качестве травяидей среды хлора могут быть использованы также кислород и фтор. Указанные газы образуют с обрабатываемыми материалами в определенных условиях летучие соединения - фториды, хлориды, окислы.
Эти условия достигаются тем, что на поверхности материала .помещают катализатор реакции окисления в виде матрицы, а такн« регулированием температуры процесса и концентрации газа-окислителя.
Скорость газового травления может изменяться в очень широких пределах, так как она зависит от 1емпературы, а последнюю (в отличие от травления в водных растворах) изменять от температуры кипения газа-окислителя до температуры плавления обрабатываемого материала или катализатора.
Более важна отзгосительная травления, т.е. отношение скоростей каталитической и не каталитической акции.
