Способ определения толщиныпОКРыТия Советский патент 1981 года по МПК G01B11/06 

(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к технике измерения и контроля толщин покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной и машиностроительной промышленности. Известен способ определения толщины покрытия, заключагадийся в том что лазерное излучение с определенной длительностью импульса и с заданной мощностью фокусируют на поверхность исследуемого покрытия, определяют пороговую плотность потока энергии, приводящую к разрушен покрытия и определяют то.гацину покрытия l. Недостаток способа - низкая точ ность определения толщины покрытия обусловленная погрешностями фокусировки лазерного излучения на поверхность исследуемого покрытия. Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому является способ определения толщины покрытия, заключающ ся в том, что на исследуемое покрытие наносят вещество с известными спектральными характеристиками, про изводят одновременное локальное испарение вещества с известными спект ральными характеристиками исследуемого покрытия и части подложки, определяют относительную интенсивность свечения пары спектральных линий, одна из которых принадлежит веществу с известными спектральными характеристиками,а вторая - веществу подложки, и определяют толщину покрытия 2. Недостаток способа - низкая точность контроля, обусловленная плохой воспроизводимостью характеристик электрического разряда, с помощью которого осуществляется локальное испарение, а также необходимость построения градуировочных графиков для каждого типа измеряемых покрытий, что значительно удлиняет процесс контроля. Цель изобретения - повышение точности и сокращение времени определения толщины. Указанная цель достигается тем, что в качестве вещества с известными спектральными характеристиками используют фольгу с известной толщиной, а в качестве второй спектральной линии в паре спектральных линий выбирают линию, принадлежащую веществу исследуемого покрытия. . Определение то.пщины покрытия согласно способу осуществляется следую щим образом. Фольгу известной толщины, изготов ленную из материала с известными спектральными характеристиками, накл дывают на исследуемое покрытие. Осуществляют одновременное локально испарение вещества фольги, покрытия и части подложки, например с помощью сфокусированного на поверхность фоль ги излучения импульсного лазера. Регистрируют спектр излучения образовавшейся плазмы, например, с помощью спектрографа. Определяют относительную интенсивность свечения пары спектральных линий, одна из которых принадлежит веществу фольги, а вторая - веществу покрытия, при этом относительная интенсивность свечения выбранной пары спектральных линий, при данных материала и толщин фольги, зависит только от толщины исследуемого покрытия. Определяют то щину покрытия по известному значению относительной инт.еисивности свечения спектральных линий. Применение изобретения повышает точность определения толщины покрыти благодаря исключению влияния источни ков возможные: погрешностей, а также сокращает время определения толщины покрытия за счет того, что отпадает необходимость построения градуировочных графиков,охватывающих весь диапазон применяемых толщин покрытия данного типа. Формула изобретения Способ определения толщины покрытия, заключающийся в том, что на исследуемое покрытие наносят вещество с известными спектральными характеристиками, производят одновременное локальное испарение вещества с известными спектральными характеристиками исследуемого покрытия и части подложки, определяют относительную интенсивность свечения пары спектральных линий, одна из которых принадлежит веществу с известными спектральными характеристиками, и определяют толщину покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и сокращения времени определения толщины, в качестве вещества с известными спектральными характеристиками используют фольгу с известной толщиной,а в качестве второй спектральной линии в паре спектральных линий выбирают линию, принадлежащую веществу исследуемого покрытия. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Левинсон Г. Р. и др,- Физика и химия обработки материалов 1971, № 4, с. 124. , 2. Авторское свидетельство СССР 99388, кл. G 01 В 11/06, 1952 (прототип).