Установка группового присоединения кристаллов к основаниям полупроводниковых приборов Советский патент 1981 года по МПК B23K3/00 

годные и негодные кристаллы расположены нерегулярно.

Цель изобретения - повышение производительности за счет одновременной установки группы кристаллов.

Поставленная цель достигается тем, что установка снабжена накопи,телем кристаллов, выполненным в виде корпуса, закрепленного на станине между предметным столом и механизмом Подачи оснований,механизмом загрузки кристаллов в накопитель с приводами, закрепленным на механизме присоединения кристаллов над накопителем и выполненным с возможностью перемещения

На фиг. 1 изображена установка, вид сбоку; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - накопитель кристаллов и ориентатор, вид сверху; на фиг. 4 - разрез А-А на фиг. 3.

Установка состоит из станины 1, на которой расположены механизм 2 подачи оснований, предметный стол 3 с закрепленным на нем адгезионным носителем кристаллов, проектор 4, ориентатор 5, накопитель 6 кристаллов, ме ханизм 7 присоединения кристаллов к к основаниям полупроводниковых приборов, к которому прикреплен механиз 8 -загрузки кристаллов в накопитель 6 блок 9 управления, связанный с механизмом 2 подачи оснований, ориентатором 5, механизмом 7 присоединения кристаллов, датчиками накопителя 6 механизмом 8 загрузки кристаллов, и вакуумную систему. Накопитель 6 выпо нен в виде корпуса, закрепленного на станине 1 через кронштейн 10 . 4 между механизмом 2 подачи оснований и предметным столом 3 и содержащего или более площадки 11 для укладки кристаллов 12 и фотодатчинами 13 определения наличия кристаллов на них, установленными в вакуумных каналах 14 площадок 11 накопителя и соединенных с вакуумной системой установки. Площадки 11 располо жены соответственно основаниям 15 полупроводниковых приборов (фиг.- 3) на позиции присоединения кристаллов под губками 16 многопозиционного ориентатора 17. Механизм 8 загрузки кристаллов в накопитель 6 выполнен в виде кронштейна 18 с присоской 19 на его конце, который имеет возможность поворота и спускания на каждую площадку 11 накопителя 6. В качестве привода поворота применен четырехзвенный кривошипно-коромлсловый механизм. Механизм 7 присоединения кристаллов содержит несколько независимых друг от друга инструментов 20, число и взаимное располож ние которых соответствует числу и взаимному расположению площадок 11 накопителя 6. Инструменты 20 закреплены в держателях 21, которые прикреплены к кареткам 22, установленным с возможностью вертикального перемещения на каретке 23.

Установка работает следующим образом.

Механизм 2 подачи перемещает основания 15 полупроводниковых приборов до выхода их на позицию присоединения кристаллов. В это время механизм 8 загрузки (фиг. 1 и 2) своей присоской 19 с помощью вакуума, подаваемого к ней от вакуумной системы установки, берет с адгезионного носителя предварительно сориентированный оператором по экрану проектора 4 кристалл и укладывает его на одну из площадок 11 накопителя 6 где он удерживается вакуумом, подаваемым через вакуумный канал вакуумной системой установки. Очередность укладки кристсшлов 12 на площадки 11 определяется датчиками 13, которые через блок 9 управления (фиг. 1) управляют работой механизма 8 загрузки следующим образом. После укладки кристалла 12 на одну из площадок 11 (площадка определяется алгоритмом работы установки) от датчика 13 этой площсщки поступает сигнал в блок 9 управления, который дает команду механиз у 8 загрузки укладывать следующий кристалл 12 на следующую площадку 11 и т.д. После загрузки площадок 11 кристаллами 12 ориентатор своими губками 16 корректирует положение кристаллов 12 на площадках 11 накопителя 6, устраняя разворот и смещение кристаллов, которые возникают при укладке их механизмом 8 загрузки на площадки 11. Далее механизм 7 присоединения кр исталлов своими инструментами 20 захватывает одновременно все кристаллы 12 с площадок 11 при помощи вакуума, подаваемого в инструменты 20 от вакуумной система установки, переносит кристаллы 12 на позицию присоединения и присоединяет их к основаниям 15 полупроводниковых приборов, в момент переноса и присоединения кристаллов 12 к основаниям 15 вexaнизм 8 загрузки кристаллов уц адывает следующие кристаллы поочередно на каждую площадку 11 накопителя б. В качестве датчиков 13 в установке применены фотодатчики, однако могут быть и любые другие, например вакуумные .

Применение четырехзвенного кривошипно-коромыслового механизма в качестве привода поворота механизма 8 загрузки кристаллов дает возможность осуществлять плавное переме- щение механизма с места и плавную его остановку на позициях захвата и укладки кристаллов. Четырехзвенный кривошипно-кдромдсловый механизм имеет две мертвые точки, одна из которых соответствует положению присоски 19 над кристаллом в момент его захвата с адгезионного носителя, а вторая - положению присоски 19 посередине между площадками 11 накопителя 6. Использование установки предлагаемой конструкции позволяет осуществлят групповое присоединение кристаллов при одиночном их захвате с предметного стола. Это дает возможность совмещать технологическое время на присоединениа группы кристаллов со временем захвата их с предметного стола переноса на позицию ориентации и ориентации, что значительно повышает производительность установки в 1,22 раза. Повышение производительности особенно существенно в случае контакт но-реактивно-эвтектической пайки крис таллов, при которой технологическое врймя присоединения может достигать нескольких секунд. Формула изобретения Установка группового присоединения кристаллов к основаниям полупроводниковых приборов, содержащая станину механизм подачи оснований на позицию присоединения кристаллов, ориентатор с губками, предметный стол для кристаллов, механизм присоединения кристаллов к основаниям с инструментом, блок управления установкой, связанный с механизмом подачи оснований, ориентатором и механизмом присоединения кристаллов, и вакуумную систему, отличающаяся тем, что, .с целью повышения производительности за счет одновременной установки iTpynпы кристаллов, она снабжена накопителем кристаллов, выполненным в виде корпуса, закрепленного на станине между предметными столом и механизмом подачи оснований, механизмом загрузки кристаллов в накопитель с приводами, закрепленным на механизме присоединения кристаллов над накопителем и выполненным с возможностью перемещения. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Kasper Instruments model OB-ldOO secies -CFruIt Manufacturing 1974, 14, 4, p. 103/. 2. Авторское свидетельство СССР № 639200, кл. В 23 К 31/02, 1976. 1 2 f9 (Put. 2 S 11 i1