Испаритель Советский патент 1981 года по МПК C23C13/12 

(54) ИСПАРИТЕЛЬ

Изобретение относится к технолог нанесения .пленок и может быть испол зовано при изготовлении элементов интегральных схем.. Известен испаритель, содержащий тигель, выполнеиный в виде полосы, и риб1зопитатель l . Недостатком этого испарителя является небольшая площадь тигля, что не позволяет создать перенасыщенный молекулярный пучок пара при испарении многокомпонентных материаловi а также снижает скорость измерения Наиболее близким к изобретению по технической сущности является испаритель, содержащий коаксиально расположенные тигель и нагреватель Недостатками данного испарителя являются низкое качество покрытий и низкая производительность, так как испарение происходит с малой площади тигля.. Цель изобретения - повышение качества покрытий и повьшгение произво дительности. Поставленная цель достигается тем, что в испарителе, содержащем коаксиально установленные тигель и нагреватель, дно тигля выполнено в виде конусного диска и установлено с возможностью вращения. На чертеже изображен испаритель, общий вид, разрез. Испаритель состоит из тигля I, выполненного в виде полого цилиндра, дна 2, выполненного в виде конического диска, установленного- на валу 3 привода вращения 4, нагревателя 5, сборника неиспарившихся частиц 6, вибропитателя 7 и экрана 8. Испаритель работает следующим об- разом. Тигель 1 разогревается до заданной температуры нагревателем 5 или ропусканием тока через тигель, при ыполнении его из проводящего мате