(54) СТАНОК ДЛЯ ШЛИФОВАНИЯ ТОРЦОВ ДЕТАЛЕЙ
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для шлифовки изделий, выполненныхВ ВидЕ ТЕл ВРАщЕНия | 1976 |
|
SU828266A1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН | 2005 |
|
RU2308556C1 |
СПОСОБ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛИТКОВ НА ПЛАСТИНЫ | 1996 |
|
RU2108225C1 |
СПОСОБ ГЕТТЕРИРУЮЩЕЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН | 2001 |
|
RU2224330C2 |
Устройство для обработки стержней | 1980 |
|
SU919896A1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛАСТИН МОНОКРИСТАЛЛОВ | 2005 |
|
RU2284073C1 |
Способ калибровки слитка полупроводникового материала | 2018 |
|
RU2682564C1 |
СПОСОБ АДДИТИВНО-АДАПТИВНОГО ШЛИФОВАНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1996 |
|
RU2118248C1 |
Устройство для крепления шлифовального инструмента | 2015 |
|
RU2620655C2 |
СТАНОК ДЛЯ ШЛИФОВАНИЯ ПЛОСКИХ ИЗДЕЛИЙ | 1999 |
|
RU2167040C1 |
Изобретение относится к машиностроению и предназначено для механической обработки деталей, в том числе деталей неправильной формы, например слитков полупроводниковых материалов. Известен станок для шлифования деталей алмазным кругом, содержаший механизм закрепления деталей, выполненный в виде установочных и прижимных захватов 1. Однако известное устройство не позволяет с достаточной точностью шлифовать детали типа слитков полупроводниковых материалов. Целью изобретения является повышение точности обработки деталей типа слитков полупроводниковых материалов. Указанная цель достигается тем, что механизм закрепления деталей выполнен секционным, а его установочные и прижимные захваты снабжены эластичными вставками и соединены упруго с элементами корпуса, причем механизм закрепления деталей уста.новлен с возможностью вертикального перемешения. На фиг. 1 схематично изображена схема предлагаемого станка; на фиг. 2 - то же, вид сверху; Станок состоит из шлифовальной бабки с алмазным кругом 1, электропривода 2, механизма закрепления деталей, выполненного в виде установочных 3 и прижимных 4 секционных захватов с прикрепленными на них эластичными вставками 5, упругих элементов 6, механизма зажатия 7, подъемноприжимного механизма 8. Слиток 9 закреплен в эластичных вставках 5 установочных 3 и прижимных 4 захватов. Каждая пара секций установочных и прижимньус захватов находится в направляющих пазах, упирается в индивидуальные упругие элементы и перемешается в параллельных плоскостях. Установочные захваты делаются вогнутой формы, а прижимные захваты выпуклой формы для лучшего зажатия слитка., Устройство работает следующим образом. Алмазный круг 1 приводится во вращение с помощью электропривода 2. Монокристаллический слиток устанавливается так, что своей боковой поверхностью касается эластичных вставок 5 с одной или нескольких секций установочных захватов 3. Включением механизма зажатия 7 -слитка производится перемещение упругих элементов 6, прижимных 4 захватов с прикрепленными к ним эластичными вставкамн 5 к монокристаллическому слитку 9. Первоначальный контакт секций захватов происходит в области большего диаметра слитка 9, затем в контакт с ним входят последующие секции захватов в точках последовательно уменьшающихся диаметров до того момента, пока все секции захватов не войдут в контакт с поверхностью слитка 9, после чего все упругие элементы 6 сжимаются до значения, при котором сила упругой деформации уравновешивает прижимное усилне. Вследствие этого ось слитка 9 становится перпендикулярно плоскости алмазного круга 1. Зафиксированный таким образом монокристаллический слиток 9 подъемно-прижимным механизмом 8 прижимается нижним торцом к вращающемуся алмазному кругу 1, который сощлифовывает область торца, контактирующую с ним в данный момент. Шлифовка ведется до тех пор, по не произведет контакт всей плоскости торца слнтка 9 с алмазным кругом 1. Затем слиток 9 подъемно-прижимным механизмом 8 поднимается над алмазным кругом 1, с помощью механизма зажатия 7 слитка отводятся секции прижимных захватов 4 с эластичныItffi
ми вставками 5 и упругие элементы 6, придерживая при этом слиток 9. В дальнейщем цикл повторяется. Предлагаемое устройство позволяет с достаточной точностью щлифовать детали типа слитков полупроводниковых материалов. Формула изобретения Станок для щлифования торцов деталей алмазным кругом, содержащий механизм закрепления деталей, выполненный в виде установочных и прижимных захватов, отличающийся тем, что, с целью повышения точности обработки деталей типа слитков полупроводниковых материалов, механизм закрепления деталей выполнен секционным, а его установочные и прижимные захваты снабжены эластичными вставками и соединены упруго с элементами корпуса, причем механизм закрепления деталейустановлен с возможностью вертикального перемещения. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Карточка ТЕХСО. Серия 20. Шлифовальные, полировальные и доводочные работы. Многоместное приспособление для шлифования торца толкателей на плоскошлифовальном станке с вращающимся столом. № 465/2, 1947.
Авторы
Даты
1982-07-15—Публикация
1980-12-16—Подача