ВЫСОКОТЕПЛОПРОВОДНЫЙ ПОГЛОЩАЮЩИЙ СВЧ-ЭНЕРГИЮ МАТЕРИАЛ Российский патент 2006 года по МПК C22C29/16 

Изобретение относится к высокоэффективным высокотеплопроводным материалам, поглощающим СВЧ-энергию, и может найти применение в электронной технике, в частности в СВЧ электронике, а также в других областях промышленности, где необходима высокая степень поглощения СВЧ-энергии.

Известен высокотеплопроводный керамикометаллический материал [1] следующего состава (мас.%): AlN 28-58,5; CaO 1-2; Мо или W 40-60. Этот поглощающий СВЧ-энергию материал обладает высокой теплопроводностью, порядка 120 Вт/(м·К.), имеет диэлектрическую проницаемость на частоте 10¹⁰ Гц при 20°С, равную 49, тангенс угла диэлектрических потерь на частоте 10¹⁰ Гц при 20°С, равный 0,9. Однако его поглощающая способность недостаточно высока для изделий электронной техники, работающих в определенных диапазонах частот.

Наиболее близким к предлагаемому техническому решению (прототипом) является высокотемпературный поглощающий СВЧ-энергию материал [2]. Этот материал включает в себя следующие компоненты: карбид хрома 15-25 мас.%, молибден 15-25 мас.%, оксид кальция 1.8-2.2 мас.%, нитрид алюминия - остальное.

Недостатками прототипа является его недостаточная поглощающая способность в диапазонах работы СВЧ-приборов порядка 9-11 ГГц. Кроме того, в этих материалах требуется высокая равномерность распределения поглощающих свойств по всему объему материала, что не обеспечивает композиция, изготовленная в соответствии с составом прототипа. Этот материал не обладает достаточной механической прочностью и поэтому изделия из него не выдерживают динамических нагрузок в СВЧ-приборе.

Техническим результатом изобретения является увеличение поглощающей способности материала, повышение равномерности распределения поглощающих свойств по всему объему материала, а также увеличение его механической прочности.

Предложен высокотеплопроводный поглощающий СВЧ-энергию материал, содержащий нитрид алюминия, молибден и добавку для спекания, в который дополнительно введен карбид молибдена.

Этот высокотеплопроводный поглощающий СВЧ-энергию материал в качестве добавки для спекания содержит оксид кальция при следующем соотношении компонентов, мас.%:

карбид молибдена10-30молибден10-30оксид кальция1,8-2,2нитрид алюминияостальное

Этот высокотеплопроводный поглощающий СВЧ-энергию материал в качестве добавки для спекания содержит кальций углекислый при следующем соотношении компонентов, мас.%:

карбид молибдена10-30молибден10-30кальций углекислый3,4-3,6нитрид алюминияостальное

Положительным эффектом данной композиции является значительное повышение ее поглощающей способности, повышение равномерности распределения поглощающих свойств по всему объему материала, а также увеличение его механической прочности.

Предложенная композиция после спекания представляет собой объемную диэлектрическую матрицу из нитрида алюминия, в которой равномерно распределена поглощающая фаза, состоящая из молибдена и карбида молибдена. Молибден является проводящим материалом, а карбид молибдена - полупроводниковым и поэтому поглощающая способность материала обусловлена как эффектами рассеяния на частицах металла, окруженных диэлектрической матрицей, так и эффектами, характерными для полупроводниковых материалов. Физическое состояние материала композиции после спекания обеспечивает повышение его поглощающих свойств и равномерное распределение этих свойств по всему объему этого материала. Механическая прочность предложенного материала повышается за счет введения в композицию карбида молибдена, который имеет близкую структуру к молибдену. Молибден является d-элементом, который образуют карбиды, относящиеся к фазам внедрения, и заполняет объемную диэлектрическую матрицу. Это повышает равномерность распределения компонентов в композиции, а соответственно и механическую прочность всего высокотеплопроводного поглощающего СВЧ-энергию материала. Добавка для спекания обеспечивает хорошее спекание композиции. В качестве добавки для спекания может быть применен оксид кальция либо кальций углекислый.

Кальций углекислый берут в больших количествах от массы композиции, чем оксид кальция, поскольку в дальнейшем при обжиге композиции происходит распад этого вещества на две составляющие, одной из которых является оксид кальция. При этом масса оксида кальция после обжига и распада кальция углекислого составляет 1,8-2,2 мас.%, такое же количество оксида кальция вводят в композицию по 2 пункту формулы изобретения. Второй компонент, образующийся в процессе отжига из кальция углекислого - углекислый газ, восстанавливается до оксида углерода (двухвалентного-II):

Далее идет реакция нитрида алюминия с оксидом углерода, в результате которой возникает оксикарбид алюминия, который образует твердый раствор замещения с нитридом алюминия:

2AlN+CO=Al₂OC+N₂

После этого спекание материала идет более интенсивно и плотность поглощающего СВЧ-энергию материала при этом увеличивается. Таким образом, применение карбоната кальция в композиции улучшает процесс спекания и служит для получения материала с большей механической прочностью.

Приготовление композиции для получения высокотеплопроводного поглощающего СВЧ-энергию материала осуществляют следующим образом:

Пример 1

Берут порошкообразные молибден (х/ч ТУ 48-19-69-80) в количестве 20 г и карбид молибдена (ТУ 6-06-03-363-74) в количестве 20 граммов, размалывают их дополнительно на мельнице. Далее в эту смесь добавляют порошкообразный нитрид алюминия (ТУ 6-09-110-75) в количестве 58 граммов и оксид кальция (ГОСТ 8677-76) в количестве 2 г. После чего продолжают помол до получения необходимой величины удельной поверхности смеси. Затем соединяют эту смесь с технологической связкой. Полученную композицию помещают в форму, в которой проводят формование изделий методом полусухого прессования. После чего выжигают технологическую связку и осуществляют высокотемпературное спекание изделий при температуре 1730°С в среде формиргаза. Для определения поглощающих свойств изделий замеряли следующие их параметры: диэлектрическую проницаемость на частоте 10 ГГц при температуре 20°С и тангенс угла диэлектрических потерь на частоте 10 ГГц при температуре 20°. Для определения свойств теплопроводности композиции осуществляли измерения коэффициента теплопроводности изделий. Для проверки механической прочности изделий осуществляли измерение предела их механической прочности при статическом изгибе. Данные всех измерений размещены в таблице, из которой видно, что эти материалы имеют оптимальные значения диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь и хорошую механическую прочность.

Пример 2

Приготовление композиции осуществляют в соответствии с примером 1, при этом компоненты композиции берут в следующих соотношениях: карбид молибдена - 25 г, молибден - 25 г, оксид кальция - 2,1 г, нитрид алюминия - 47,9 г. Спекание изделий осуществляют при температуре 1740°С в среде формиргаза. Данные измерений свойств материала представлены в таблице, из которой видно, что эти материалы имеют оптимальные значения диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь и хорошую механическую прочность.

Пример 3

Приготовление композиции осуществляют в соответствии с примером 1, при этом компоненты берут по нижнему пределу заявленных в формуле изобретения по пункту 2 соотношений в следующих пропорциях: карбид молибдена - 10 г, молибден - 10 г, оксид кальция - 1,8 г, нитрид алюминия - 78,2 г. Спекание изделий осуществляют при температуре 1760°С в среде формиргаза. Данные измерений свойств материала представлены в таблице, из которой видно, что эти материалы имеют хорошие значения диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь и механическую прочность ниже, чем у материалов по примерам 1, 2.

Пример 4

Приготовление композиции осуществляют в соответствии с примером 1, при этом компоненты берут в следующих соотношениях: карбид молибдена - 15 г, молибден - 15 г, оксид кальция - 1,9 г, нитрид алюминия - 68,1 г. Спекание изделий осуществляют при температуре 1740°С в среде формиргаза. Данные измерений свойств материала представлены в таблице, из которой видно, что эти материалы обладают лучшими значениями диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь и механической прочности, чем по примеру 3.

Пример 5

Приготовление композиции осуществляют в соответствии с примером 1, при этом компоненты берут по верхнему пределу заявленных в пункте 2 формулы изобретения соотношений в следующих пропорциях: карбид молибдена - 30 г, молибден - 30 г, оксид кальция - 2,2 г, нитрид алюминия - 37,8 г. Спекание изделий осуществляют при температуре 1740°С в среде формиргаза. Данные измерений свойств материала представлены в таблице, из которой видно, что эти материалы обладают худшими значениями диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, чем у примеров 1 и 2, но более высокой механической прочностью.

Пример 6

Берут порошкообразные молибден (х/ч ТУ 48-19-69-80) в количестве 25 г и карбид молибдена (ТУ 6-09-03-363-74) в количестве 25 г, размалывают их дополнительно на мельнице. Далее в эту смесь добавляют порошкообразный нитрид алюминия (ТУ 6-09-110-75) в количестве 46.6 г и кальций углекислый (ГОСТ 4530-76) в количестве 3.4 г после чего продолжают помол до получения необходимой величины удельной поверхности смеси. Затем соединяют эту смесь с технологической связкой. Полученную композицию помещают в форму, в которой проводят формование изделий методом полусухого прессования. После чего выжигают технологическую связку и осуществляют высокотемпературное спекание изделий при температуре 1730°С в среде формиргаза. Данные всех измерений размещены в таблице, из которой видно, что эти материалы имеют оптимальные значения диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь и хорошую механическую прочность.

Таблица№№ примераКомпонентыСодержание, масс.%Условия спеканияКоэф. теплопроводности, Вт/м·кСвойства материалаДиэлектр. проницаемость на частоте 10¹⁰ Гц при 20°СТангенс угла диэлектрических потерь на частоте 10¹⁰ Гц при 20°СПредел механической прочности при статическом изгибе, кгс/мм²1Карбид молибдена20Т=1730°С среда - формиргаз120602,225Молибден20Оксид кальция2,0Нитрид алюминия582Карбид молибдена25Т=1740°С среда - формиргаз115622,125Молибден25Оксид кальция2,1Нитрид алюминия47,93Карбид молибдена10Т=1760°С среда - формиргаз88521,921Молибден10Оксид кальция1,8Нитрид алюминия78,24Карбид молибдена15Т=1740°С среда - формиргаз98582,123Молибден15Оксид кальция1,9Нитрид алюминия68,15Карбид молибдена30Т=1740°С среда - формиргаз100562,027Молибден30Оксид кальция2,2Нитрид алюминия37,86Карбид молибдена25Т=1730°С среда - формиргаз115612,229Молибден25Кальций углекислый3,4Нитрид алюминия46,6

Таким образом, предложена композиция высокотеплопроводного поглощающего СВЧ-энергию материала, которая имеет высокую поглощающую способность, равномерность распределения поглощающих свойств по всему объему материала, а также высокую механическую прочность.

Источники информации

1. Авторское свидетельство СССР №1159282 МКИ С 04 С 35/58 «Состав шихты для изготовления керамического материала» авторы Бухарин Е.Н., Власов А.С., Алексеев А.А.

2. Прототип: патент РФ №1776078, пр. 08.01.91, МПК С 22 С 29/16, С 22 С 29/00, «Высокотемпературный поглощающий СВЧ-энергию материал», авторы Мушкаренко Ю.Н., Пархоменко С.И., Иноземцева А.В.

Изобретение относится к области металлургии, а именно к высокотеплопроводным материалам, поглощающим СВЧ-энергию, и может быть использовано в электронике. Предложен высокотеплопроводный поглощающий СВЧ-энергию материал. Материал содержит нитрид алюминия, молибден и добавку для спекания, при этом он дополнительно содержит карбид молибдена, а в качестве добавки для спекания содержит оксид кальция или кальций углекислый при следующем соотношении компонентов, мас.%: карбид молибдена 10-30; молибден 10-30; оксид кальция 1,8-2,2 или кальций углекислый 3,4-3,6; нитрид алюминия - остальное. Технический результат - увеличение поглощающей способности материала, повышение равномерности распределения поглощающих свойств по всему объему материала, а также увеличение механической прочности. 1 табл.

Высокотеплопроводный поглощающий СВЧ-энергию материал, содержащий нитрид алюминия, молибден и добавку для спекания, отличающийся тем, что он дополнительно содержит карбид молибдена, а в качестве добавки для спекания содержит оксид кальция или кальций углекислый, при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Карбид молибдена10-30Молибден10-30Оксид кальция1,8-2,2или кальций углекислый3,4-3,6Нитрид алюминияОстальное