СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ УЛЬТРАДИСПЕРСНОГО ПОРОШКА НИТРИДА ГАЛЛИЯ Российский патент 2008 года по МПК C01G15/00 C01B21/06 

Изобретение относится к технологии получения технической керамики, широкозонных полупроводниковых материалов, в частности нитрида галлия с шириной запрещенной зоны 3,4 эВ. Нитрид галлия может быть использован в качестве компонента керамики и металлокерамики для изготовления полупроводниковых, термостойких и теплопроводных элементов конструкций, а также в окислительных средах вместо нитрида алюминия и в сочетании с ним.

Известен способ получения кристалла галлийсодержащего нитрида, включающий азотирование порошка металла при высоком давлении азота (1000-10000 бар) в автоклавных реакторах путем частичного или полного растворения галлийсодержащего исходного материала и последующей кристаллизацией нитрида при повышенном давлении (см. заявку 2004100115 МПК⁷ С30В 9/00, дата публикации 10.04.2005, бюл. №10).

Недостатком данного способа является использование высоких давлений азота, аммиака или их смесей; аппаратов высокого давления - автоклавов; применение щелочных металлов; сложность технологических стадий получения нитрида галлия - растворение галлийсодержащего реагента в смеси со щелочным металлом в азотсодержащем газе, растворенном в другом газе; последующая кристаллизация галлийсодержащего нитрида; необходимость его периодического извлечения из реактора, связанная с загрязнением окружающей среды токсичными продуктами. Кроме того, получение кристаллов галлийсодержащего нитрида требует значительных энергозатрат, связанных с поддержанием высоких температур и давлений при синтезе, высокой стоимости реагентов - предшественников синтеза: азидов галлия, имидов галлия, амидо-имидов галлия.

Наиболее близким является выбранный за прототип способ получения простых веществ: Si, В, Ga, As, их соединений: оксидов, карбидов, нитридов, силицидов, теллуридов, станнидов, плюмбидов, германидов, арсенидов, боридов, галлидов, висмутидов и композиционных керамических материалов из них (см. заявку РФ №95105967, дата публикации 1996.03.20). В прототипе ультрадисперсный порошок нитрида галлия может быть синтезирован с помощью термического разложения и восстановления в газовой фазе химических соединений или при непосредственном взаимодействии веществ при плазмохимическом синтезе. При этом из высокочистых кремнефтористых солей или оксидов галлия синтезируют его фторид и затем проводят магнийтермию, продукты которой обрабатывают фтористым водородом с последующим их азотированием азотом или аммиаком и доочисткой индукционной плазмой.

К недостаткам этого способа относится многостадийность, эндотермичность используемых реакций и необходимость использования особочистых реагентов (содержание основного вещества 99,999%).

Основной технической задачей данного изобретения является существенное упрощение технических приемов синтеза по сравнению с прототипом, использованием воздуха в качестве азотсодержащего реагента и тепла экзотермичной реакции горения («химической печки») для высокотемпературной реакции галлийсодержащего реагента и азота.

Поставленная техническая задача достигается тем, что галлийсодержащий реагент механически смешивается с высокоэкзотермичным металлом - алюминием - при массовом соотношении реагентов «металл/галлийсодержащий реагент», равном от 0,1 до 4, затем инициируется горение свободнонасыпанной смеси порошков. Смесь сгорает в самоподдерживающемся режиме в воздухе с образованием целевого продукта - ультрадисперсного порошка нитрида галлия. Затем проводится его выделение путем химической обработки в растворах серной или соляной кислот. Полученный ультрадисперсный порошок нитрида галлия промывается холодной дистиллированной водой. Содержание нитрида галлия определяется по данным рентгенофазового и химического анализа. Дисперсность порошка определяется методом лазерной дифракции.

Пример 1. Металлический галлий в жидком состоянии наносят на поверхность частиц карбоната магния марки ХЧ и смешивают с порошком алюминия марки ПАП-2 в соотношении Al:(Ga+MgO), равном от 0,1 до 4 мас. частей (таблица). Затем смесь поджигают в воздухе при атмосферном давлении. Продукты горения обрабатывают 0,1 н. раствором соляной кислоты, растворяющей побочные продукты - нитрид алюминия, металлический алюминий и оксид магния. Осадок - порошок нитрида галлия - промывают водой, сушат в воздухе при температуре 200°С в течение 1 часа и проводят анализ. Содержание связанного азота в полученном нитриде галлия составляет 14,2-15,8%, содержание нитрида галлия в пересчете на связанный азот - 85,0-93,5 мас.%. Площадь удельной поверхности порошка нитрида галлия составляет 18,2-20,4 м²/г, среднеповерхностный диаметр частиц - 0,12-0,10 мкм.

Таблица
Содержание GaN в продуктах горения после обработки раствором 0,1 Н HCl в зависимости от соотношения Al:(Ga+MgO) в исходных смесях №Соотношение Al:(Ga+MgO), мас. частиРежим горенияСодержание GaN в продуктах горения после обработки раствором 0,1 н. HCl, мас.%1.0.05Не инициируется-2.0.10Самоподдерживающийся, устойчивый85.03.0.5088.54.1.0092.05.2.0093.56.3.0090.57.4.0089.08.5.00Не инициируется-

Пример 2. Все, как в примере 1, но в исходной смеси в качестве галлийсодержащего реагента используют порошкообразный оксид галлия марки ХЧ, соотношение Al:Ga₂О₃ равно 1:5 мас. частей, обработку проводят 2 н. раствором серной кислоты. Продукт представляет собой серый порошок нитрида галлия с содержанием нитрида галлия в пересчете на связанный азот - 95,5 мас.%.

Предложенный способ получения ультрадисперсного порошка нитрида галлия характеризуется простотой технологического оформления, не требует энергетических затрат, так как протекает в самоподдерживающемся режиме и в качестве исходных реагентов применяются доступные и недорогие вещества, к которым не предъявляются требования особой чистоты.

Изобретение относится к получению порошка нитрида галлия, который может быть использован в качестве компонента керамики при изготовлении полупроводниковых элементов конструкций. Способ получения ультрадисперсного порошка нитрида галлия включает сжигание смеси порошкообразного галлийсодержащего соединения с высокоэкзотермичным порошкообразным металлом в газовой среде. В качестве галлийсодержащего соединения используют жидкий металлический галлий или оксид галлия, в качестве высокоэкзотермичного металла используют алюминий, в качестве газовой среды для сжигания используют воздух. Полученный ультрадисперсный порошок нитрида галлия для полного удаления примесей подвергают химической обработке в растворах соляной или серной кислот с последующей промывкой дистиллированной водой. Изобретение позволяет упростить технологию синтеза порошка нитрида галлия и использовать воздух в качестве азотсодержащего реагента. 1 табл.

Способ получения ультрадисперсного порошка нитрида галлия путем сжигания смеси порошкообразного галлийсодержащего соединения с высокоэкзотермичным порошкообразным металлом в газовой среде, отличающийся тем, что в качестве галлийсодержащего соединения используют жидкий металлический галлий или оксид галлия, в качестве высокоэкзотермичного металла используют алюминий, в качестве газовой среды для сжигания используют воздух; полученный ультрадисперсный порошок нитрида галлия для полного удаления примесей подвергают химической обработке в растворах соляной или серной кислоты с последующей промывкой дистиллированной водой.