Способ изготовления неорганических хлорсодержащих перовскитных тонких пленок Российский патент 2020 года по МПК C01G21/16 C01D17/00 C30B29/12 

Описание патента на изобретение RU2719167C1

Изобретение относится к области синтеза неорганических материалов, в частности, получению перовскитных тонких пленок, которые могут применяться в качестве активного слоя для светодиодов и солнечных элементов.

Известен способ анионного обмена в газовой среде с целью получения нановискеров с отличным от исходного видом галогена (Не X. et al. Multicolor perovskite nanowire lasers through kinetically controlled solution growth followed by gas-phase halide exchange // Journal of Materials Chemistry C. - 2017. - T. 5. - №. 48. - C. 12707-12713.). В данной работе нановискеры состава CH3NH3PbCl3, нанесенные на стеклянную подложку, подвергают воздействию паров HI (60°С, 12 ч) или HBr (60°C, 6 ч), что приводит к трансформации нановискеров исходного состава в нановискеры состава CH3NH3PbI3 или CH3NH3PbBr3 соответственно. Для этого подложки с нанесенными нановискерами помещают в один мерный стакан, а необходимую кислоту (30 мкл) капают в другой мерный стакан. Оба стакана помещают в резервуар, заполненный безводным CaCl2, и закрывают герметизирующей пленкой. При проверке обратного преобразования нановискеров состава CH3NH3PbBr3 в CH3NH3PbCl3 в парах HCl при 60°С в течение 12 часов предложенный способ не работает (цвет и морфология нановискеров осталась неизменной). Основными недостатками данного способа является длительность процесса, составляющая 6 и 12 часов, а также необратимость процесса.

Известен способ получения неорганических тонких пленок методом анионного обмена (Заявка на патент CN №107564978 В, МПК Y02E 10/50, Y02P 70/521 опубликовано 12.02.2019). В работе представлен метод анионного обмена для пленок состава CsPbI3 с целью получения пленок состава CsPbBr3, который происходит путем химического осаждения из паровой фазы Br2. Для этого полученные образцы пленок состава CsPbI3 помещают в кварцевую трубку, которая расположена в трубчатой печи. После прокачки кварцевой трубки инертным газом, трубчатую печь нагревают до 150°С. Затем 200 мл паров Br2 извлекают с помощью шприца из конической колбы, заполненного бромной водой (концентрация Br2 -3%), и впрыскивают в горячую трубку. Реакция анионного обмена происходит в течение 30 мин при 150°С. Признаком полного проведения реакции являлся желтый цвет пленок CsPbBr3, характерные пики на спектрах рентгеноструктурного анализа (XRD) и спектрах поглощения. Недостатками данного метода являются: длительное время проведения реакции (30 мин), сложность конструкции и необходимость осуществления реакции в инертной атмосфере.

Известен способ изготовления неорганических хлорсодержащих перовскитных тонких пленок путем анионного обмена в паровой фазе (Palazon F. et al. X-ray lithography on perovskite nanocrystals films: from patterning with anion-exchange reactions to enhanced stability in air and water // ACS nano. - 2016. - T. 10. - №. 1. - C. 1224-1230) выбранный в качестве способа-прототипа, в котором пленки неорганического перовскита типа CsPbX3, нанесенные на кремниевую подложку, держат над открытой виалой, содержащей HCl (57%) или HBr (48%) в течение 30 с. Недостатком такого способа является осуществление способа в открытом пространстве и отсутствие защиты от токсичных кислот.

Решается задача возможности осуществления способа химического анионного обмена для перовскитных пленок состава CsPbBr3 в CsPbBrxCl3-x (0≤х≤3) с сохранением высококачественной морфологии и повышения безопасности проведения этого способа.

Поставленная задача решается достижением технического результата, заключающегося в создании замкнутой среды, что делает процесс проведения процедуры безопасным.

Данный технический результат достигается тем, что в способе изготовления неорганических хлорсодержащих перовскитных тонких пленок путем анионного обмена в паровой фазе, заключающийся в помещении предварительно полученного образца перовскитной тонкой пленки состава CsPbBr3, нанесенной на подложку, в среду паров соляной кислоты новым является то, что предварительно полученный образец перовскитной тонкой пленки, нанесенный на подложку, помещают рядом со второй чистой подложкой в сосуд с плоским дном, все это нагревают до 120°С в течение не менее 3 мин, затем на чистую подложку наносят соляную кислоту HCl, и обе подожки накрывают нагретой до 120°С крышкой, поперечный размер которой меньше поперечного размера первого сосуда с плоским дном, при этом количество нанесенной кислоты и размер крышки подбирают в примерном объемном соотношении 1:2500, а время протекания реакции анионного обмена выбирают в зависимости от требуемого соотношения брома и хлора в изготовляемой пленке с учетом того, что время полного замещения галогенов Br на Cl не превышает 3 мин., после чего полученный образец нагревают поднимая температуру от 120°С до 200°С в течение 2 мин. Время протекания реакции анионного обмена для требуемого соотношения брома и хлора в изготовляемой пленке выбирают с учетом соответствия зависимости, аппроксимированной по следующим точкам 3 с - CsPbBr2.61Cl0.39, 8 с - CsPbBr2.102Cl0.898, 13 с - CsPbBr1.501Cl1.499, 25 с - CsPbBr0.966Cl2.034, и 180 с - CsPbBr0.04Cl2.96.

Для осуществления предложенного способа первоначально необходимо получить тонкие пленки CsPbBr3. Для этого бромид цезия CsBr и бромид свинца (II) PbBr2 смешивают в примерном соотношении 1:1,6 в безводном диметилсульфоксиде (ДМСО) в примерном соотношении 1:6. Полученный раствор фильтруют, наносят на предварительно очищенную подложку и центрифугируют в течение 5 мин при 2500 об/мин. Полученный образец постепенно нагревают от 50°С до 150°С для полного испарения ДМСО.

Для проведения метода анионного обмена первую подложку с нанесенной на нее пленкой CsPbBr3, а также вторую чистую подложку помещают на дно сосуда с плоским дном и располагают недалеко друг от друга, и нагревают до 120°С в течение 3 мин. Затем на разогретую вторую чистую подложку наносят соляную кислоту и накрывают вместе с первой подложкой разогретой до 120°С крышкой при этом количество нанесенной кислоты и размер крышки подбирают в примерном объемном соотношении 1:2500. Для достижения нужного соотношения галогенов необходимо, чтобы подложки находились под бюксом в течение определенного фиксированного времени. Результат анионного обмена наблюдают с помощью флуоресцентной микроскопии.

Свойства синтезированных перовскитных тонких пленок показаны на фигуре, где:

на фиг. (а) приведены спектры фотолюминесценции (ФЛ) и поглощения образцов состава CsPbB3 (1), CsPbBr2.61Cl0.39 (2), CsPbBr2.102Cl0.898 (3), CsPbBr1.501Cl1.499 (4), CsPbBr0.966Cl2.034 (5), CsPbBr0.04Cl2.96 (6) с разным соотношением галогенов, полученные при комнатной температуре, (б) приведена зависимость гипсохромного сдвига спектра ФЛ от продолжительности обработки пленки CsPbBr3 парами HCl при 120°С. Кривая представляет собой биэкспоненциальную аппроксимацию экспериментальных данных (кружки).

Пример конкретной реализации способа.

Для повышения гидрофильности подложек, например, стеклянных, их помещали на 20 минут в горячий (110°С) раствор пираньи, который представлял собой смесь серной кислоты (H2SO4, 6 мл) и перекиси водорода (Н2О2, 2 мл). Затем подложки промывали в деионизированной воде, продували воздушным пистолетом и помещали в озонатор на 5 минут. Раствор перовскита CsPbBr3 получали в перчаточном боксе в атмосфере азота. Для получения раствора перовскита 0,110 г бромида свинца (II) (PbBr2, 99,999%, Alfa Aesar) и 0,07 г бромида цезия (CsBr, 99,999%, Sigma-Aldrich) растворяли в 1 мл диметилсульфоксида (ДМСО, безводный, 99,8%, Alfa Aesar). После полного растворения CsBr и бромида свинца PbBr2 в ДМСО раствор фильтровали с использованием фильтра (0,45 мкм) с мембраной из ПТФЭ. Полученный раствор перовскита (30 мкл) наносили на стеклянные подложки методом центрифугирования при скорости вращения 2500 об/мин в течение 5 минут. Полученные образцы помещали на нагретую до 50°С плитку и затем температуру постепенно поднимали до 150°C с целью испарения ДМСО. Сам процесс химического анионного обмена происходил в воздушной атмосфере. Для этого основание стеклянной чашки Петри (100×20 мм), полученный образец тонкой пленки состава CsPbBr3, нанесенной на первую стеклянную подложку и вторую чистую стеклянную подложку, помещенные в чашку Петри, нагревали в течение 3 мин при 120°С. Затем на вторую стеклянную подложку наносили с помощью дозатора 10 мкл соляной кислоты (HCl, 40%, Vekton) и обе подложки накрывали нагретым до 120°С бюксом (40×25 мм, 25 мл). Процесс анионного обмена происходил в течение фиксированного времени в зависимости от необходимого соотношения галогенов Br и Cl (3 с -CsPbBr2.61Cl0.39, 8 с - CsPbBr2.102Cl0.898, 13 с - CsPbBr1.501Cl1.499, 25 с - CsPbBr0.966Cl2.034, и 180 с - CsPbBr0.04Cl2.96). По завершению процесса, первую подложку с перовскитной пленкой нового состава помещали на плитку и отжигали в течение 2 мин, поднимая температуру от 120 до 200°С. В результате была получена тонкая пленка состава CsPbBr3, нанесенная на стеклянную подложку, с характерным пиком ФЛ - 521 нм (поглощения 515 нм). Пленка состава CsPbBr2.61Cl0.39 характеризовалась пиком ФЛ - 505 нм и поглощения - 499,4 нм. При выдерживании первоначального образца перовскитной пленки в течение 8 секунд был получен образец тонкой пленки состава CsPbBr2.102Cl0.898 пик ФЛ которой - 485 нм (поглощения 480 нм). Также был получен образец пленки состава CsPbBr1.501Cl1.499 с пиком ФЛ - 465 нм (поглощения 460,7 нм), CsPbBr0.966Cl2.034 с пиком ФЛ - 445 нм (поглощения 441,5 нм и образец состава CsPbBr0.04Cl2.96 для получения которого требуется 180 с, пик ФЛ которого составляет 411 нм (поглощения 408 нм).

Преимуществами данного способа являются: использование малой концентрации кислоты, необходимой для реакции, и обеспечение замкнутой среды, что делает данный способ безопасным, возможность получения любых соотношений галогенов за короткий период времени, получение перовскитных пленок с высококачественной морфологией.

Похожие патенты RU2719167C1

название год авторы номер документа
Способ изготовления неорганических перовскитных нановискеров типа CsPbBr 2018
  • Пушкарев Анатолий Петрович
  • Маркина Дарья Игоревна
  • Королёв Вячеслав Игоревич
  • Макаров Сергей Владимирович
RU2705082C1
Способ изготовления высококристаллических неорганических перовскитных тонких пленок CsPbBr3 2022
  • Пушкарев Анатолий Петрович
  • Аношкин Сергей Станиславович
  • Макаров Сергей Владимирович
  • Татаринов Дмитрий Андреевич
RU2802302C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЕНСОРА ХЛОРОВОДОРОДА В ВОЗДУХЕ 2022
  • Пушкарев Анатолий Петрович
  • Маркина Дарья Игоревна
  • Аношкин Сергей Станиславович
  • Сапожникова Елизавета Викторовна
  • Макаров Сергей Владимирович
RU2803866C1
Способ получения электролюминесцирующих смешанных свинцово-галоидных перовскитных материалов с высокой фазовой стабильностью 2019
  • Пушкарев Анатолий Петрович
  • Аношкин Сергей Станиславович
  • Ляшенко Татьяна Геннадьевна
  • Макаров Сергей Владимирович
RU2733933C1
Способ химического осаждения перовскитов из газовой фазы для производства фотовольтаических устройств, светодиодов и фотодетекторов 2019
  • Иштеев Артур Рустэмович
  • Лучников Лев Олегович
  • Муратов Дмитрий Сергеевич
  • Саранин Данила Сергеевич
  • Диденко Сергей Иванович
  • Кузнецов Денис Валерьевич
  • Альдо Ди Карло
RU2737774C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НОСИТЕЛЯ ДЛЯ ЗАПИСИ ЦВЕТНОГО ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО МИКРОИЗОБРАЖЕНИЯ 2023
  • Пушкарев Анатолий Петрович
  • Аношкин Сергей Станиславович
  • Сапожникова Елизавета Викторовна
  • Татаринов Дмитрий Андреевич
RU2814791C1
Фотовольтаическое устройство на основе стабилизированных полупроводниковых пленок йодоплюмбата цезия 2022
  • Фролова Любовь Анатольевна
  • Устинова Марина Игоревна
  • Трошин Павел Анатольевич
  • Алдошин Сергей Михайлович
RU2826020C2
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛЕНКИ НА ОСНОВЕ ОРГАНО-НЕОРГАНИЧЕСКИХ КОМПЛЕКСНЫХ ГАЛОГЕНИДОВ С ПЕРОВСКИТОПОДОБНОЙ СТРУКТУРОЙ 2019
  • Фатеев Сергей Анатольевич
  • Тарасов Алексей Борисович
  • Белич Николай Андреевич
  • Гришко Алексей Юрьевич
  • Шленская Наталья Николаевна
  • Гудилин Евгений Алексеевич
  • Петров Андрей Андреевич
RU2712151C1
ФОТОЛЮМИНЕСЦИРУЮЩИЙ НЕТКАНЫЙ МАТЕРИАЛ И ФОРМОВОЧНЫЙ РАСТВОР ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ 2021
  • Ленгерт Екатерина Владимировна
  • Павлов Антон Михайлович
  • Сердобинцев Алексей Александрович
  • Мухин Иван Сергеевич
  • Митин Дмитрий Михайлович
  • Неплох Владимир Владимирович
  • Баева Мария Григорьевна
  • Федоров Владимир Викторович
  • Маркина Дарья Игоревна
  • Макаров Сергей Владимирович
  • Пушкарев Анатолий Петрович
RU2773522C1
Фотовольтаическое устройство с перовскитным фотоактивным слоем и неорганическим пассивирующим покрытием на основе галогенидов металлов и способ изготовления этого устройства 2021
  • Никитенко Сергей Леонидович
  • Фролова Любовь Анатольевна
  • Алдошин Сергей Михайлович
  • Трошин Павел Анатольевич
  • Устинова Марина Игоревна
RU2788942C2

Иллюстрации к изобретению RU 2 719 167 C1

Реферат патента 2020 года Способ изготовления неорганических хлорсодержащих перовскитных тонких пленок

Изобретение относится к области синтеза неорганических материалов, в частности к получению перовскитных тонких пленок, которые могут применяться в качестве активного слоя для светодиодов и солнечных элементов. Способ изготовления неорганических хлорсодержащих перовскитных тонких пленок методом химического анионного обмена в паровой фазе заключается в том, что предварительно полученный образец перовскитной тонкой пленки состава CsPbBr3, нанесенной на подложку, помещают рядом со второй чистой подложкой в сосуд с плоским дном, нагревают до 120°С в течение не менее 3 мин. Затем на чистую подложку наносят соляную кислоту (HCl, 40%) и обе подожки накрывают нагретой до 120°С крышкой, поперечный размер которой меньше поперечного размера сосуда с плоским дном, при этом количество нанесенной кислоты и размер крышки подбирается в примерном объемном соотношении 1:2500, а время протекании реакции анионного обмена выбирают в зависимости от требуемого соотношения брома и хлора в изготовляемой пленке состава CsPbBr3-xClx (0≤x≤3) с учетом того, что время полного замещения галогенов Br на Cl не превышает 3 мин, после чего полученный образец нагревают, поднимая температуру от 120°С до 200°С в течение 2 мин. Технический результат состоит в возможности проведения процедуры в замкнутой среде, которая делает процесс безопасным, в получении любых соотношений галогенов за короткий период времени и сохранении высококачественной морфологии перовскитных пленок. 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 пр.

Формула изобретения RU 2 719 167 C1

1. Способ изготовления неорганических хлорсодержащих перовскитных тонких пленок путем анионного обмена в паровой фазе, заключающийся в помещении предварительно полученного образца перовскитной тонкой пленки состава CsPbBr3, нанесенной на подложку, в среду паров соляной кислоты, отличающийся тем, что предварительно полученный образец перовскитной тонкой пленки, нанесенный на подложку, помещают рядом со второй чистой подложкой в сосуд с плоским дном, нагревают до 120°С в течение не менее 3 мин, затем на чистую подложку наносят соляную кислоту HCl и обе подожки накрывают нагретой до 120°С крышкой, поперечный размер которой меньше поперечного размера сосуда с плоским дном, при этом количество нанесенной кислоты и размер крышки подбирается в примерном объемном соотношении 1:2500, а время протекания реакции анионного обмена выбирают в зависимости от требуемого соотношения брома Br и хлора Cl в изготовляемой пленке с учетом того, что время полного замещения галогенов Br на Cl не превышает 3 мин, после чего полученный образец нагревают, поднимая температуру от 120 до 200°С в течение 2 мин.

2. Способ изготовления неорганических хлорсодержащих перовскитных тонких пленок по п. 1, отличающийся тем, что время протекания реакции анионного обмена для требуемого соотношения брома и хлора в изготовляемой пленке выбирают с учетом соответствия зависимости, аппроксимированной по следующим точкам: 3 с - CsPbBr2.61Cl0.39, 8 с - CsPbBr2.102Cl0.898, 13 с - CsPbBr1.501Cl1.499, 25 с - CsPbBr0.966Cl2.034, и 180 с - CsPbBr0.04Cl2.96.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2020 года RU2719167C1

PALAZON FRANCISCO et al
X-ray Lithography on Perovskite Nanocrystals Films: From Patterning with Anion-Exchange Reactions to Enhanced Stability in Air and Water, "ACS Nano", 2016, 10, 1, 1224-1230
CN 107564978 В, 12.02.2019
KR 101712037 B1, 03.03.2017
QUINTEN A
AKKERMAN et al.Tuning the Optical Properties of Cesium Lead Halide Perovskite

RU 2 719 167 C1

Авторы

Пушкарев Анатолий Петрович

Ляшенко Татьяна Геннадьевна

Аношкин Сергей Станиславович

Макаров Сергей Владимирович

Даты

2020-04-17Публикация

2019-09-27Подача