Устройство для двусторонней доводки деталей Советский патент 1983 года по МПК B24B37/04 

Изобретение относится к станкостроению и может быть использовано при полировании, шлифовании и доводке плоских деталей, в частности в приборостроении для высокоэффективной размерной обработки пластин из полупроводниковых материа.i-ii и кристаллов. , Известно устройство для двусторонней доводки, содержащее верхний и нижний притиры, , между которьши расположена кассета с деталями, закрепленная на валу привода посредством упругого элемента 1 Однако данный станок не позволяет упра влять СИЛОВОЙ разгрузкой кассеты с деталями. Цель изобретения - повышение качества обработки плоских деталей за счет управления силовой разгрузкой кассеты. Поставленная цель достигается тем, что устройство для двусторонней доводки деталей, содержащее основание с соосно смон тированными на нем притирами, между которыми расположена кассета, связанная с приводом, снабжено инерционным кольцо.м, расположенным концеНтрично нижнему притиру связанным с ним и основанием с помощью упругих элементов, при этом кольцо и нижний притир установлены на основаНИИ свободно на направляющих качения. На чертеже схематично представлено устройство в разрезе содержит верхний 1 вращающийся и 2 Нижний притиры, между которыми размещены обрабатываемые детали 3, помещенные в многопозиционную кассету 4. Кассета с деталями приводится во вращение с помощью эксцентрика 5. Верхний притир связан с двигателем 6 через редуктор 7. Нижний притяр 2 может вращаться на подшипнике 8 вокруг своей оси. По периферии нижнего притира на одинаковых расстояниях закреплены упругие элементы 9, связывающие его с инерционным кольцом 10, которое тоже может вращаться вокруг своей оси на подщипниках 11, но удерживается от вращения пружинами 12, закрепленными на основании. При перемещении деталей 3 по поверхности верхнего и нижнего притиров, происходит съем материала с обеих поверхностей деталей. Устройство работает следующим образом. В момент Начального пуска устройства и в процессе его работы происходит периодическое качание нижнего притира 2 и внещнего кольца 10 за счет непрерывного изменения условия контакта деталей с притирами. Качания носят характер периодичесских колебаний около положения равновесия вокруг оси нижнего притира и внешнего кольца. Колебания нижнего притира описываются дефференциальным уравнением четвертого порядка с нелинейной возмущающей силой: j). + j.f,.г +Г +т Ur . с,2 1т;Г ,i..f/;;4( Ci,i)-f С,г где-f,- угол поворота притира от положения равновесия; j -момент инерции внещнего кольца; - коэффициент упругости упругого элемента 9; Ci -коэффициент упругости пружин (всех) 12; /г -момент инерции нижнего притира; ffj) -функция возмущающей внешней силы, роль которой играет момент от сил трения условия контакта деталей с поверхности нижнего и верхнего притиров. Таким образом, подбирая массу инерционного кольца, а также коэффициенты упругости пружин и упругого элемента, можно достичь управления силовой разгрузкой кассеты, изменять величины съема материала с противоположных сторон обрабатываемых деталей, повысить качество обработки плоских деталей. И, как следствие, предлагаемое устройство может применяться для тонких хрупких пластин из полупроводниковых материалов и кристаллов.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕЙ ДОВОДКИ ДЕТАЛЕЙ, содержащее основание с соосно смонтированными на нем притирами, между которыми расположена кассета, связанная с приводом, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки за счет управления силовой разгрузкой кассеты, оно снабжено инерционным кольцом, расположенным концентрично нижнему притиру и связанным с ним и основанием с помощью упругих элементов, при этом кольцо и нижний притир установлены на основании свободно на направляющих качения. (Л ел ю ел ОО