Центрифуга для сушки полупроводниковых пластин Советский патент 1984 года по МПК B04B5/00 

00

о сг Изобретение относится к оборудованию для удаления влаги с деталей ,в .поле действия центробежных сил, например, полупроводниковых пластин Известна центрифуга для сушки .деталей радиоэлектронного производства, .содержащая корпус с крышкой, ротор с гнездами для кассет l ,Недостатком этой центрифуги явЛя ется то, что загрузка и выгрузка кассет производится вручную. Наиболее близкой по технической суаиости и достигаемому эффекту к изобретению является центрифуга для сушки полупроводниковых пластин, со держащая ротор с держателями для кассет с пластингцли, механизм поворота, состоящий из шарнирно закрепленных на роторе поворотных .рычагов привод И задатчик позиционного оста нова ротора 2 . . Недостатком этой центрифуги явля ется низкая производительность, обу ловленная тем, что пластины, загруженные в кассету, располагаются в равноудаленных друг от друга плоскостях, параллельных оси ротора, и положение их во время.сушки не изме няется, поэтому длительность центри фугирования зависит от времени сушки наиболее удаленной от центра кассеты пластины.. Цель изобретения - сокращение вре мени сушки и повышение производитель .ноСти центрифуги . ... . . . Цель достигается тем,что в центри фуге для С5шки .полупроводниковых . пластин, содержащей.ротор.с держателями для кассет с пластинами, механизм поворрта держателей, состоящий . из шарнирно закрепленных на роторе поворотных рычагов, привод и задатчик позиционного останова ротора, на рычагах механизма поворота держателей смонтированы подшипники, в которых размещены оси, а держатели - кассет закреплены на последних и связаны карданными соединениями со штангами, установленными в отверстиях шарниров, укрепленных На роторе. и имеющими винтовой паз для взаимодействия с пальцем, запрессованным в шарнир, при этом центрифуга снабжена тягами, шарнирно соединенными с поворотными рычагами и с рычажно-ползунным механизмом, кинематически связанным с кулачком. . На фиг. 1 схематично изображена предлагаемая центрифуга, общий внд продольный разрез j слева от оси сим метрии в положении загрузка-выгруэка, справа - во время центрифугировання)f на фиг. 2 - сечение А-А на , фиг. 1; на фиг. 3 - вид Б на фиг, 1; на фиг... 4 - вид В на фиг. 1 на фиг. 5 -сечение Гг-Г на фиг. 4. Центрифуга состоит из корпуса 1, ротора 2 с задатчиком 3 позиционного останова, двигателя 4 и ременной передачи 5. Ротор снабжен шарнирами 6-8, направляющей 9 для ползунов, 10. К шарнирам 7 и ползунам 10 подвешены рычешсно-ползунный механизм, состоящий из толкателя 11, рычагов 12 и 13, коромысел 14 и тяг 15, соединенных с поворотньФШ рычагами 16. На рычагах 16 смонтированы подшипники 17., в которых установлены оси держателей 18 кассет, связанные посредством карданных соединений 19 с продольными штангами 20, установленными в отверстиях шарниров 8 и имеющими винтовой паз 21. Угол поворота винтового паза 21 равен 90, а. его длина равна длине дуги угла в 90, описываемой осью подшипников 17 при переводе рычага 16 из вертикального в горизонтальное положение, и наоборот. Штанги 20 скользят в отверстиях шарниров 8, в которые запрессованы пальцы 22. Для удержания поворотных рычагов 16 с держателями 18 в положении загрузки-выгрузт ки служит пружина 23, .которая, от- . жимая книзу толкатель 11, через подшипник 24 давит на второй толкатель 25, обеспечивая кинематическое замыкание его ролика с профилем кулачка 26. Для стока рабочей жидкости из центрифуги служит сливной патрубок 27. Сверху центрифуга закрыта крышкой 28. Держатели 18 имеют специальные пазы 29 для фиксации кассет 30 с пластинами 31. Центрифуга работает следующим образом. При открытой крышке 28 кассеты 30 с помощью автооператоров загружают в держатели 18,обеспечивая их фиксацию с помощью пазов 29. После загрузки крышт ка автоматически закрывается и включается привод кулачка 26 или пневмоцилиндра (не показан) Вращаясь кулачок 26приподнимает Толкатели 11 и 25 вверх. При своем подъеме толкатели посредством рычагов 12 вращают коромысла 14 вокруг шарниров 7 таким образом, что их противоположные концы опускаются, увлек.ая за собой ползуны 10, а следовательно, и поворотные рычаги 16. Вращаясь вокруг шарниров 0, рычаги 16 давят на штанги 20, заставляя их скользить относительно шарниров 8 и их пальцев 22. Воздействуя на одну из сторон винтового паза 21,палец 22 при скольжении штанг, разворачивает их, а следовательно/и связанные с ними с помощью карданного соединения 19 держатели 18 кассет в ту или другую сторону. После того, как 1«чаги 16 при своем повороте вниз достигают угла более 45°, включается привод ротора 2, начинается разгон центрифуги и сушка пластин. Когда же рычаги 16 достигают вертикального (отвесного) положения, привод кулачка 26 или включается, или же ролик толкателя 25 переводится на профиль минимальиого удаления кулачка. Полный разворот держателей 18 на угол 90° происходит во время разворота рычагов 16 также на 90°. В это момент заканчивается и разворот дер жателей J. 8 с кассетами 30. При этом пластины 31 становятся перпендикулярно оси вала ротора, а их боковые смоченные поверхности совпадают с плоскостями действия векторов центробежных сил масс капель жидкости. По окончании процесса сушки вклврчаетсл привод ротора 2 и начинается подъем рычагов 16 с держателями 18 в положение выгрузки-загрузки. Достигнув определенной величины уменьшения частоты вргицения ротора включается следящая система задатчика 3 позиционного останова, обеспечивающая фиксированную:остановку. ротора 2 в положении,.при.котором продольные оси держателей 18 кас.сет 30 параллельны.продольной оси технологической лйник« После остановки. всех механизмов центрифуги открывается.крышка 26, производится выгрузка-загрузка кассет и затем цикл возобновляется. Во время загрузки-выгрузки привод поворота кулачка 26 или включен, или же ролик толкателя 25 выведен на профиль максимального удаления кулачка. Использование изобретения позволит интенсифицировать процесс сушки пластин, увеличив тем самым производительность центрифуги.

ЦЕНТРИФУГА ДЛЯ СУШКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, содержащая ротор с держателями для кассет с пластинами, механизм поворота держателей, состоящий из шарнирно закрепленных на роторе поворотных рычагов, привод и задатчик позиционного останова ротора, отличающаяся тем, что, с целью сокращения времени сушки и повыиения производительности, на рычагах механизма поворота держателей смонтированы подшипники, в которых размещены оси, а держатели кассет закреплены на последних и связаны карданными соединениями со штангами, установленными в отверстиях шарниров, укрепленных на роторе, и имеющими винтовой паз для взаимодействия с пальцем, запрессованным в шарнир, при зтом центрифуга снабжена тягами, шарнирно соединенными с поворотными рычагами и с рьМажноползунным механизмом, кинематически связанным с кулачком. СО

%

fa гэ

Фиг.З

ФигЛ

Г- Гпо6ерн1/то 30

Фиг. 5