Устройство для закрепления полупроводниковых пластин на планшайбе центрифуги Советский патент 1984 года по МПК H01L21/00 H05K3/10 

1

Изобретение относится к оборудован1по полупроводниковой промьппленности и может быть использояано для закрепления полупроводниковых пластин и других изделий на планшайбе центрифуги при проведении контроля качества поверхности пластин методом сканирования световым лучом либо для других технологических операций, связанных с вращением пластины.

Известно устройство для крепления полупроводниковых пластин, содержащее держатели в виде упругих пластин Til .

Однако необходимость отжатия пластин при их снятии с устройства создает неудобства при его обслуживании и снижает производительность

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство для закрепления полупроводниковых пластин на планшайбе центрифуги, содержащее держатели полупроводниковых пластин, установленные на ползунах, размещенных с возможностью перемещения в плоскости планшайбы посредством ходовых винтов |2j .

Недостаток данного устройства заключается в ненадежном креплении пластин при вращении планшайбы,

Цель -- првьшение надежности в работе.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для закрепления полупроводниковых пластин на планшайбе центрифуги, содержащем держатели полупроводниковых пластин установленные на ползунах, размещенных с возможностью перемещения в плоскости планшайбы посредством ходовых винтов, держатели выполнены в виде Г-образных двуплечих рычагов, шарнирно закрепленных на ползунах, примем центры массы ры296722

чагов смещены относительно точки их крепления на ползунах.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг.25 разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 держатель, рабочее положение.

Устройство содержит держатели 1, установленные на ползунах 2 и размещенные в пазах 3 планшайбы 4, ус10 тановленной на валу 5 центрифуги. Ползуны 2 имеют возможность перемещения в плоскости планшайбы 4 по. средством ходовых винтов 6, установленных в ползунах 2 и закреплен- 15 ных своими концами на планшайбе 4. Держатели 1 выполнены в виде двуплечих рычагов Г-образной формы, закрепленных шарнирно на ползунах 2 посредством осей 7, причем центр 0 массы каждого из рычагов смещен относительно точки крепл.ения таким образом, что в исходном состоянии рычаг находится в откинутом положении под действием своего веса. 5

Устройство работает следующим образом

Вращением ходовых винтов 6 устанавливают ползуны 2 с держателями 1 Q в положение, соответствующее конфигурации и размерам обрабатываемой полупроводниковой пластины. Затем загружают пластину в устройство и включают привод центрифуги. При вращении планшайбы 4 держатели 1 поворачиваются на осях 7 под действием центробежных сил и зажимают пластину. После окончания обработки и остановки планшайбы 4 держа тели 1 под действием силы своего веса поворачиваются в исходное положение, освобождая обработанную пластину.

Устройство обеспечивает надежное - крепление полупроводниковых пластин и автоматическое освобождение их после окончания цикла обработки.

УСТРОЙСТВО ,Щ1Я ЗАКРЕПЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН НА ПЛАНШАЙБЕ ЦЕНТРИФУПИ, содержащее дер- , , установленные на ползунах, размещенных с возможностью перемещения в плоскости планшайбы посредством ходовых винтов, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности в работе, держатели выполнены в виде Г-образных двуплечих рычагов, шарнирно закрепленных на ползунах, причем центры массы рачагов смещены относительно точки их крепления на ползунах 1C со Од го Фиг,1

Фиг,2

Фиг.З

Центр пассы