Способ получения возгонкой в вакууме высокоомных тонкослойных сопротивлений Советский патент 1958 года по МПК H01C17/08 

Один из известных способов получения ВЫСОКООМНЫХ тонкослойных сопротивлений заключается в нанесении токопроводящего слоя на достаточно развитую шероховатую поверхность, которую обычно нолучают путем травления поверхности керамического основания.

Известно также образование шероховатой поверхности пленки и последующего ее прокаливания, обеспечивающего получение окисленного металлического слоя с высокоразвитой поверхностью.

Особенность предлагаемого способа получения ВЫСОКООМНЫХ тонкослойных сопротивлений заключается в совмещении операций образования указанного окисленного металлического слоя и нанесения токопроводящей пленки, что упрощает технологию изготовления и повыщает качество изделия.

Для осуществления предлагаемого способа в качестве материала сопротивления используют жаростойкий металл или сплав, допускающий прокаливание при температуре 700-800° (например платину или ее сплавы, нихром и ряд других снлавов) с добавкой значительно более легко испаряющегося металла (например алюминия, цинка, кадмия).

Совмещенный метод получения развитого рельефа поверхности основания (предварительным испарением легко испаряющегося металла и окислением его конденсированной пленки) и нанесения испарением проводящего высокоомного слоя может быть выполнен двумя формально различными приемами: испарением механической смеси порощков, например алюминия и высокоомного металла или сплава, проводящую пленку которых желают получить, или испарением порощка предварительно приготовлен ного сплава алюминия и того ж высокоомного металла или сплава, проводящую пленку которого хотят получнть.

Как в том, так и в другом спучаях, общее испарение ведут комбинированным способом. Сначала жаростойкий металл с дсбгвкой более легко испаряющегося мегялла нагревают до температуры, обеспечивающей возгонку только легко испаряющейся добавки, а затем-до

более высокой температуры, при которой происходит испарение оставшейся части сплава. Затем, напйсепный на основание комбинированный слой прокаливают при температуре около 100°, при которйй металл промежуточного слоя (например алюминий) окисляется, а сопротивление проводяидего слоя повышается.

Для комбинированного испарения рассматриваемых смесей пригодны далеко не все возможные пропорции между алюминием и высокоомныл металлом или сплавом. Избыточное количество легкоплавкого металла (алюминия, цинка или др.) приводит к столь мощному развитию рельефа поверхности, что на находяпцемся над ним проводящел слое могут образовываться треихины и разрывы. Электрическое сопротизление приобретает большое отрицательное значение, электрическая прочность пленки уменьшается (под электрической нагрузкой возникают большие необратимые изменения величины сопротивления). Хорошие результаты, с надежной воспроизводимостью электрических характеристик слоя, могут быть получены при количестве алюмиия в испаряемом сплаве (или механической смеси) не более 20% в том случае когда

удельный вес остальной части (высокоомного металла или сплава) составляет приблизительно 5 г/см. Для всех других возможных вариантов это соотношение должно быть подобрано опытным путем, в зависимости от удельного веса того или иного высокоомного металла или сплава.

Предмет изобретения

Способ получения возгонкой в вакууме тонкостенных сопротивлений, содержаших промежуточную дюжду токопроводяш;им слоем и изолируюшим основанием окисленную металлическую пленку с высокоразвитой поверхностью, отличающийся тем, что, с целью упрошения тех Юлогии и повышения качества изделий, жаростойкий металл или сплав с добавкой значительно более легко испаряющегося металла (например алюминия, цинка, кадмия) нагревают сперва до температуры, обеспечивающей возгонку только легкоиспаряюшийся добавки, а затем - до более высокой температуры, после чего нанесеный на основание комбинированный слой прокаливают при повышенной температуре для окисления металла промежуточной пленки.