Устройство для перемещения и контактирования интегральных схем в климатической камере Советский патент 1985 года по МПК H01L21/66 

Изобретение относится к технологическому оборудованию микроэлектронной техники, предназначенному для проведения климатических испытаний интегральных схем, в том числе и бескорпусных, заключенных в тары-спутники, и может быть использовано при производстве и входном контроле интегральных схем. Цель изобретения - повышение надежности в работе и упрощение конструкции устройства. На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 - схема устройства для перемещения и контактирования интегральных схем, разрез, на фиг. 3 разрез А-А на фиг. 2; на фиг. 4 - элементы тары-спутника интегральной схемы. Устройство содержит(фиг. 1) климатическую камеру 1 с устройством 2 для перемещения и контактирования интегральных схем, установленную на основании 3, внутри которого расположен однооборотный редуктор 4 с электродвигателем 5 и отсчетным механизмом 6, соединенный с устройством 2 посредством карданного вала 7, а так же блок 8 измерения и блок 9 управления, соединенные между собой, с термокамерой 1, устройством 2, однооборотным редуктором 4 и отсчетным механизмом 6 посредством электрических кабелей 10-13 соответственно. Устройство 2 (фиг. 2) содержит основание 14, внутри которого размещен транспортирующий ротор 15 с установленными в направляющие 16 гнезд бескорпусными интегральными схемами 17, заключенными в тарах-спутниках 18, механизм 19 контактирования с контактными колодками 20, кулачковый вал 21 с группой кулачков 22, взаимодействующих посредством подпружиненных толкателей 23 с тарами-спутниками 18, и кулачками 24, взаимодействующими посредством подпружиненных толкателей 25 с механизмом 19 перемещения контактных колодок 20, установленных на ползунах, связанных между собой и с толкателями 25 посредством шарнирно соединенных между собой рычагов 26. На транспортирующем роторе 15 жестко закреплено зубчатое колесо 27, которое находится в зацеплении с щестерней 28, на валу 29 которой жестко установлен мальтийский механизм 30. Поводок 31 последнего жестко у ;тановлено на кулачковом валу 21, который своим нижним концом выведен на габариты климатической камеры 1 и посредством карданного вала 7 соединен с однооборотным редуктором 4 (фиг. 1). Транспортирующий ротор 15 установлен на кулачковом валу 21 с возможностью вращения. Кулачки 22 с толкателями 23 образуют механизм подачи интегральных схем, а мальтийский механизм 30 с поводком 31 образуют механизм поворота и фиксации транспортирующего ротора 15. Тара-спутник 18 содержит плату 32 с пазом 33 с установленной на ней бескорпусной интегральной схемой 17 и крыщку 34, боковые поверхности 35 которой предназначены для установки в направляющие 16 гнезда транспортирующего ротора 15Паз 33 используется для размещения тангенциальной круглой рессоры 36, служащей для возврата тары-спутника 18 в исходное положение по окончании цикла измерения. Устройство работает следующим образом. Бескорпусные интегральные- микросхемы 17 (фиг. 2), заключенные в тары-спутники 18, устанавливают поочередно в направляющие 16 гнезд транспортирующего ротора 15. В начальном положении (фиг. 3) под действием кулачков 22 через подпружиненные толкатели 23 тары-спутники 18 радиально выдвинуты на позицию контактирования, контактные колодки сведены до момента соприкосновения их контактов с платами 32 (фиг. 4) тар-спутников 18. Происходит одновременное измерение и снятие параметров микросхем 17, находящихся в одном вертикальном ряду. При этом работает блок 8 измерения. По окончании всех измерений и регистрации результатов измерений блоком 8 измерения блок 9 управления выдает сигнал на смену позиций. При этом электродвигатель 5 приводит во вращение однооборотный редуктор 4 и отсчетный механизм 6. Однооборотный редуктор 4 через карданный вал 7 приводит во вращение кулачковый вал 21. В начале поворота кулачкового вала 21 кулачки 24 через подпружиненные толкатели 25 взаимодействуют с рычагами 26, которые отводят контактные колодки 19 от плат 32 тар-спутников 18. Затем при дальнейщем повороте кулачкового вала 21 кулачки 22 отходят от подпружиненных толкателей 23, и под действием рессоры 36 тары-спутники 18 возвращаются в исходное положение. При дальнейшем повороте ведомого вала 21 поводок 31 входит в паз мальтийского механизма 30, приводя во вращение шестерню 28 и зубчатое колесо 27, осуществляя при этом поворот транспортирующего ротора 15 на необходимый угол. После выхода поводка 31 (фиг. 2) из паза мальтийского механизма 30 поворот шестерни 28 прекращается и она стопорится от произвольного поворота радиусной поверхностью мальтийского механизма 30. При дальнейшем повороте ведомого вала 21 кулачки 22, нажимая на подпружиненные

толкатели 23, заставляют перемещаться тары-спутники 18 в зону контактирования. Перед завершением одного оборота кулачки

24отходят от подпружиненных толкателей

25и контактные колодки 20 смыкаются с платами 32 (фиг. 4) тар-спутников 18.

По завершению одного оборота ведомого вала 21 отсчетный механизм 6 выдает сигнал блоку 9 управления о завершении смены и кода позиции, а блок 9 управления

выдает команду на начало измерений. В дальнейшем цикл повторяется. После полного оборота транспортирующего ротора 15 отсчетный механизм 6 дает команду об окончании процесса измерения блоком 8 измерения и блоком 9 управления, и отключает их. Производиться разгрузка транспортирующего ротора 15 и установка новых партий микросхем 17 в тарах-спутниках 18 для проведения климатических испытаний.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ И КОНТАКТИРОВАНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ В КЛИМАТИЧЕСКОЙ КАМЕРЕ, содержащее размещенные на основании и связанные с приводным механизмом транспортирующий ротор с гнездами для размещения интегральных схем, механизм поворота и фиксации транспортирующего ротора, механизм подачи интегральных схем на позицию контактирования и контактные колодки с механизмом их перемещения, отличающееся тем, что, с целью повыщения надежности в работе и упрощения конструкции, приводной меVJtEt M - -iKSA ханизм выполнен в виде однооборотного редуктора, механизм подачи интегральных схем и механизм перемещения контактных колодок выполнены в виде кулачкового вала, закрепленного внутри транспортирующего ротора, и подпружиненных толкателей, установленных. на основании с возможностью взаимодействия с кулачками, контактные колодки закреплены на установленных в основании ползунах, связанных между собой и с толкателями механизма перемещения контактных колодок шарнирно соединенными между собой рычагами, а механизм поворота и фиксации транспортирующего ротора выполнен в виде мальтийского механизма, поводок которого i закреплен на кулачковом валу, причем вал мальтийского механизма кинематически СО связан с транспортирующим ротором зубчатой передачей, а транспортирующий ротор, установлен на кулачковом валу с возможностью вращения. о Ci СО со