Способ очистки четырехиодистого кремния Советский патент 1959 года по МПК C01B33/08 

Известные способы очистки четырехиодистого кремния, например ректификация, сублимация и зонная очистка в вертикальном аппарате, не позволяют получать продукт достаточной степени чистоты.

При нрименении зонной очистки в вертикальном аппарате имеет место явление ликвации, что делает невозможным удаление из четырехиодистого кремния ряда примесей, например йодистой сурьмы и др.

С целью устранения вредного влияния ликвации, предлагается способ очистки четырехиодистого кремния от йодистой сурьмы и других примесей путем зонной плавки, заключающийся в том, что плавку ведут в трубчатом аппарате, рабочая часть которого загрузочньгм патрубком разделена на две ветви, одна из которых расположена горизонтально, а другая наклонена к ней под углом 10°.

Способ осуществляют следующим образом (см. чертеж). Четырехиодистый кремний из ампулы / через загрузочный патрубок 2 загружают в рабочую трубу аппарата (установки), имеющую две ветви: горизонтальную 3 и наклонную 4, причем наклонная ветвь составляет с осью горизонтальной ветви угол в 10°.

Рабочая труба заполняется четырехиодистым кремнием так, чтобы уровень его был несколько выще середины горизонтальной ветви 3.

В начале наклонной ветви 4 «генератором пустот 5 создается п стота, с помощью которой расплавленная зона перемещается вдоль наклонной ветви и доходит до патрубка 2, при этом из ампулы / подается порция четырехиодистого кремния, равная количеству слитого материала при образовании пустоты.

Печь 6 наклонной ветви отводится в первоначальное положение и процесс повторяется снова. Расплавленная печью 6 наклонной ветви зона подхватывается печью 7 горизонтальной ветви и перемещается в конец горизонтальной ветви, таким образом осуществляется перенос примесей к ампуле 8 с отходами. После того, как в наклонной ветви совершится некоторое число проходов (в зависимости от исходного

сырья), начнется отбор чистого продукта в ампулы 9. Процесс проводится в атмосфере инертного газа, напускаемого через краны 10 при атмосферном давлении.

Описываемый способ очистки четырехиодистого кремния обеспечивает более полное удаление примесей из продукта.

Предмет изобретения

Способ очистки четырехиодистого кремния от йодистой сурьмы и других примесей путем зонной плавки, отличающийся тем, что, с целью устранения вредного влияния ликвации, плавку ведут в трубчатом аппарате, рабочая часть которого загрузочным патрубком разделена на две ветви, одна из которых горизонтальная, а другая наклонена . к ней под углом в 10°.

К фордакуумному

Ч V

I насосу