Устройство для контроля толщины стравливаемого слоя Советский патент 1987 года по МПК G01B13/20 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины стравли ваемого слоя деталей при размерном химическом травлении.

Цель изобретения - повьппение точности и надежности контроля путем бесконтактного измерения толщины.

На фиг, 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1; на фиг. 3 - устройство в момент подачи звукового сигнала, общий вид.

Устройство содер7кит скобу 1 с при жимами 2, газособирающий сосуд 3, эксцентрично закрепленный на скобе 1 с помощью вала 4, микpoмetpичecкий винт 5, установленный, в скобе 1, газораспределитель, подвижный элемент которого выполнен в виде пластины 6, скрепленной с газособирающим сосудом 3 и образующей щель 7 с боковыми стенками сосуда для входа газа в сосуд 3 и выхода из него, и датчик снятого слоя, выполненный в виде генератора 8 звуковых колебаний, сообщенного с раструбом 9.

Микрометрический винт 5 расположе над газособирающим сосудом 3 и в исходном состоянии упирается в верхнюю часть пластины 6.

Раструб 9 размещен в исходном состоянии над газособирающим сосудом 3 и закреплен с помощью кройштейна О на скобе 1.

Скоба оснащена ограничителем 11 поворота сосуда 3 на валу 4 и шкалой 12 положения микрометрического винта 5.

Все элементы устройства выполнены из нержавекядей стали.

Устройство работает следующим образом.

Сосуд 3 в исходном состоянии (благодаря эксцентричному закреплению ) стремится опуститься до упора пластины 6 в винт 5. При помощи крепежной скобы 1 устройство закрепляют на вертикально расположенную деталь 13 таким образом, чтобы щель 7 расположилась над ее торцовой поверхностью, а верхний край пластины 6 бьш в контакте с микрометрическим винтом 5.

Затем, вращая микрометрический винт 5 по шкале 12, устанавливают необходимую величину снимаемого слоя детали. При вращении микрометрическо

0

5

5

го винта находящаяся с ним в контакте пластина 6 поворачивается совместно с газособираюпщм сосудом 3 на валу 4,а щель 7 перемещается вдоль торца детали 13 на величину снимаемого слоя.

После этого деталь 13 с устройством для контроля толщины опускают вертикально в травильный раствор.

В процессе травления поток вьще- ляющегося газа устремляется вверх вдоль обрабатываемой поверхности детали 13 и пластины 6, сначала минуя щель 7. По мере стравливания материала детали 13 ее. толщина уменьшается и в момент достижения заданной глубины травления щель 7 оказывается на пути движения газа, в результате чего газ быстро заполняет сосуд 3, вытесняя из него раствор. Сосуд 3 и пластина 6 поворачиваются на валу 4 против часовой стрелки до упора пластины 6 в ограничитель 11 поворота. В этом положении внешняя поверхность пластины 6 и обрабатьгеаемая поверхность детали образуют угол с зазором в вершине, величина которого определяется ограничителем 11, расположенным на скобе 1.

Газовый поток направляется пластиной через зазор к раструбу 9, из ко- торего он поступает в генератор 8 звуковых колебаний. Звуковой сигнал оповещает о достижении заданной вели- 5 чины стравливания. Процесс травления после этого прекращают.

0

Формула изобретения

Устройство для контроля толщины стравливаемого слоя детали, содержащее скобу с прижимами, предназначенными для крепления ее к детали, газособирающий сосуд, закрепленный на скобе с помощью вала, и установленные на скобе микрометрический винт и атчик снятого слоя, отличающееся тем, что, с целые повьщ1е- ния точности и надежности контроля, оно снабжено газораспределителем, подвижный элемент которого выполнен в виде пластины, скрепленной с газособирающим сосудом и образующей щель с боковыми стенками сосуда, а датчик снятого слоя выполнен в виде генератора звуковых колебаний, располагаемого над газособирающим сосудом.

дид А

тг.1

/J

Фиг.З

Редактор А.Ревин Заказ 3269/34

Составитель В.Гордеев Техред В.Кадар

Корректор

Тираж 676Подписное

ВНИЖИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Корректор Т,Колб

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины стравш - ваемого слоя детали. Цель изобретения - повьшение точности контроля и надежности работы путем бесконтактного измерения толщины. Устройство с помощью скобы t устанавливают на контролируемую деталь 13, которую помещают вертикально в травильный раствор. Пластина 6 газораспредели- тепя при стравливании заданного слоя направляет выделяюощйся при травлении газ через щель 7 в сосуд 3 и вытесняет из последнего раствор, что приводит к повороту пластины против часовой стрелки и подаче газа к генератору 8 звуковых колебаний, который оповещает об окончании процесса травления. 3 ил. (Л