Способ контроля отклонения формы полупроводниковых пластин Советский патент 1988 года по МПК G01B7/28 

со со

4 О ГО

со

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам Измерения геометрических параметров, И может быть использовано для контро- Пя отклонения от плоскостности полупроводниковых пластин.

Цель изобретения - повышение точности контроля за счет обеспечения ди (амического перераспределения напря- ений в устойчивую форму.

На чертеже представлена схема уст- ойства, реализующего предлагаемый способ.

: Устройство для осуществления спо- соба содержит базовый стол 1 с системой 2 вакуумирования и плоской рабочей поверхностью 3. Базовый стол 1 прикреплён к линейному позиционеру 4. Оппозитно базовому столу 1 установлен (шок 5 измерительных преобразователей (), наконечники которых установлены в плоскости, эквидистантной рабочей по- иерхности 3 базового стола 1. Выходы измерительных преобразователей 6 сое- |(инены с входом электронного блЬка 7 (| бработки. По периметру базового сто- jjia 1 установлено подвижное ступенча- |рое кольцо 8.

Способ осуществляется следующим |эбразом.

; Полупроводниковую пластину 9 уста- авливают на базовый стол 1 измерительного устройства и включают вакуу- мирование рабочей поверхности 3 базо- JBoro стола 1 , Время нарастания вакуумирования не превьшает 0,1 с. Под действием атмосферного давления полупроводниковая пластина импульсно вы- |равнивается на рабочей поверхности 3 базового стола 1. После вьщержки в нагруженном состоянии (не менее 1 с) вакуумирование импульсно снимают,для гарантии релаксации в свободноравно

весное состояние перемещения кольца 8 вверх бегущим отрывом (от периферии к центру) отделяют полупроводниковую пластину 9 от поверхности базового стола 1. Без изменения позиционного положения полупроводниковой пластины перемещением кольца 8 вниз ее вновь устанавливают на поверхность базового стола 1 и измеряют отклонение формы.

Измерение выполняют перемещением позиционера 4 до касания наконечниками всех преобразователей 6 поверхности пластины 9. Измерительный трак электронного блока 7 вьщеляет сигналы максимального и минимального расстояния (. и Ьд,и„ ) от поверхности базового стола до соответствующих точек измерения поверхности полупроводниковой пластины 9. Разность этих значений и составляет отклонение формы.

Формула изобретения

Способ контроля отклонения формы полупроводниковых пластин, заключающийся в том, что устанавливают пластину на базовую поверхность, измеряют максимальное и минимальное расстояния от базовой поверхности до соответствующих точек измеряемой поверхности пластины и по разности этих значений определяют отклонения формы, отличающийся тем, что, с целью повьппения точности контроля, перед измерением пластину импульсно нагружают равномерной нагрузкой путем прижатия ее к базовой поверхности, вьщерживают при этой нагрузке и снимают нагрузку путем последовательного отрыва пластины от базовой поверхности, начиная от ее периферии по направлению к центру.

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности контроля за счет обеспечения динамического перераспределения напряжений в устойчивую форму. Способ осуществляют в следующей последовательности. Контролируемую полупроводниковую пластину 9 размещают на поверхности 3 базового стола 1, динамически погружают равномерной погрузкой (вакуумированием) путем прижатия ее к поверхности стола, выдерживают под погрузкой, снимают погрузку путем последовательного отрыва пластины 9 от периферии к центру, затем без изменения позиционного положения устанавливают пластину 9 на поверхности 3 базового стола и проводят измерения, для чего наконечники всех преобразо- вателер 6 перемещением позиционера 4 вводят до контакта с поверхностью пластины 9. Электронный блок 9 выделяет сигналы максимального и минимального расстояний от поверхности 3 базового стола 1 до соответствующих точек измеряемой поверхности. Разность этих расстояний и составляет отклонение формы. 1 ил. с сл