(Л
С
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Способ формирования углеродных пленок плазменным осаждением атомов углерода в метане | 2022 |
|
RU2794042C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕКОЛ С ПОКРЫТИЯМИ НА ОСНОВЕ ДИОКСИДА ТИТАНА | 2010 |
|
RU2434819C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОКАТАЛИТИЧЕСКИ АКТИВНОГО ПОКРЫТИЯ | 2010 |
|
RU2447190C2 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОКИСНЫХ ПЛЕНОК | 1991 |
|
RU2110604C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ ZNCU IN VI | 2003 |
|
RU2236065C1 |
| Оптическое покрытие на основе ITO пленок с осажденными углеродными нанотрубками | 2022 |
|
RU2801791C1 |
| СТРУКТУРА МЕТАЛЛ-ДИЭЛЕКТРИК-ПОЛУПРОВОДНИК НА ОСНОВЕ СОЕДИНЕНИЙ AB И СПОСОБ ЕЕ ФОРМИРОВАНИЯ | 2010 |
|
RU2420828C1 |
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ YBaCuO-Х ПЛЕНОК С ВЫСОКОЙ ТОКОНЕСУЩЕЙ СПОСОБНОСТЬЮ НА ЗОЛОТОМ БУФЕРНОМ ПОДСЛОЕ | 2013 |
|
RU2538931C2 |
| СПОСОБ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОВ | 2001 |
|
RU2200771C2 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ДИОКСИДА ОЛОВА | 2010 |
|
RU2446233C1 |
Изобретение относится к оптическому приборостроению и позволяет повысить стойкость к лазерному излучение непоглощающих оксидно-пленочных элементов. Устойчивый к. воздействию лазерного излучения неабсорвирукнций оксидно-пленочный элемент состоит из подложки с нанесенным на нее слоем окисла металла, причем количество атомов кислорода, связанных в слое, на 2-8% больше, чем количество атомов кислорода, которое необходимо i для сохранения стехиометрического соотношения кислород - металл оксидного соединения металла наивысшей валентности.
р
00
Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к устойчивым к лазерному излучению непоглощакщим оксидно-пленочным эпементам, например, зеркал, фильтров и делителей излучения
Известны неабсорбирующие оксидно- плеяо чные элементы, устойчивые к воэдействию лазерного излучения, содержащие дополнитедьный слой оптической толщиной с низким показателем прелс 4ления, улучшающий стойкость к воздействию лазерного излучения Ш.Н Lowdermilk ei al. Thin Solid Films, 73, 19«0, c. 155),
Эта конструкция свйзана со зкачи- тельньми затратами при изготовлении и контроле и обладает незначительной э44 ективндстью.
Известен также устой 1ивый к зоз действию лазерного иэлучеш я яеаб- сорбирующий оксйдно-п1 «еночнйЕй опти- ческий элемент, состоедий по крайней мере из одного окисла металла, нанесённого на подлошсу (S«Ha Apfel В Thin Solid Films, 73, 1580, с. t67)
Недостатками йзввстйой конструкции являются ййзкие эксплуа-Гациокные качества, а также низкая стойкость к воэдействш) лазерного излучения.
Цель изобретения - повышение стой Кости к воздействию лазерного иэлу- ения.
Указанная цель достигается тем, что количество атомов кислорода .(Связанных в слое, на 2-8% больше, чем
количество атомов кислорода, которое необходимо для сохранения стехиомет- рического соотношения кислород - ме- талл оксидного соединения металла наивысшей валентности.
Устойчивый к воздействию лазерного изпучеяия неабсорбирующий оксидно- пленочный оптический элемент состоит
из одного слоя TajOyCSb Oj SiOa нанесенного на подложку из Стекла, Количество атомов кислорода, связанных в слое, на 2% больше, чем это требуется по стехиометрическому соотношению кислород - тантал (ниобий, кремний). Количество атомов кислорода, связанных в слое , на 8Z больше, ZrOj, - На 5% больше, чем это требуется по стехида етрическому со отношению,
Формула изобретения
Устойчивый к воздействию лазерао- го излучения неабсорбирующий оксидно- пленочный элемент, состоящий пи крайней мере из одного слоя окисла металла, нанесенного на подложку, о т л н- чающийся тем, что, с цезхью повьшения стойкости к воздействио лазерного излучения, количество ато- мое кислорода, связанных s слое, на 2-8% больше, чем количество атомов кислорода, которое необходимо для сохранения стехиометрического соотношения кислород - металл оксидного соединения металла наивысшей валентности .. ,
