Ячейка металлизации Советский патент 1989 года по МПК C25D17/10 C25D19/00 

5 6 7 10 8 J6

Изобретение относится к оборудованию для нанесения гальванических покрытий и может быть использовано в составе технологической линии изготов ления плат тонкопленочных микросборок в условиях многономенклатурного производства.

Цель изобретения - расширение технологических возможностей путем уве- личения номенклатуры обрабатываемых заготовок.

На фиг. 1 п(эедставлена ячейка металлизации, общий вил разрез; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1.

Ячейка содержит вакуумный столик 1 на котором установлена с возможностью возвратно-поступательного вертикального перемещения ванна 2, сопряженная в верхнем положении с контурным уплотнением 3 неподвижной крышки k, на которой шарнирно на оси 5 установлен коллектор 6, содержащий перфорированный анод 7 с токоподводом 8, многофакельную плоскую форсунку 9 и под- водящий штуцер 10. Коллектор 6 снабжен уплотнением 11. Токоподвод к вакуумному столику 1 вьтолнен в виде . двуплечего рычага 12, установленного на оси 13, закрепленной на вилке 14, сопряженной с направляющим пазом 15 с возможностью прямолинейного перемещения и вращения вокруг оси вилки И. На вилке 1 установлена зажимная гайка 1б, Одно плечо рычага 12 изогнуто перпендикулярно плоскости вакуумного столика 1 и заострено, а второе сопряжено с упором 17 ванны 2 и заканчивается противовесом 18.

Ячейка работает следующим образом,

В исходном положении ванна 2 опущена, и заостренный конец рычага 12 приподнят над уровнем вакуумного столика 1 под действием противовеса 18. После фиксации заготовки на вакуумном

столике 1 ванну 2 перемещают вертикально вверх, при этом упор 17 ванны 2 взаимодействует с плечом рычага 12, заостренный конец которого при этом опускается в точку технологического поля заготовки. После обработки механизмы ячейки возвращают В исходное положение. Переналадку положения то- коподвода осуществляют перемещением в направляющем пазу 15 и поворотом вилки 1 с последующей фиксацией гайкой 1б. Для осуществления визуальной переналадки коллектор 6 поворачивают вокруг оси 5, открывая зону наладки.

I .:

Конструктивные особенности предлаг гаемой ячейки обеспечивают удобство при наладке и эксплуатации.

Формула изобретения

Ячейка металлизации, содержащая вакуумный столик, установленную на нем с вoзмoжнpctью вертикального перемещения ванну, неподвижную крышку, коллектор, перфорированный анод, плоскую многофакельную форсунку и токо- подвсды, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем увеличения номенклатуры обрабатываемых заготовок, она снабжена упором, смонтированным на ванне, в крышке выполнен направляющий паз, один из токо- подводов выполнен в виде двуплечего рычага, шарнирно установленного в направляющем пазу с возможностью взаимодействия с упором, при этом одно плечо рачага выполнено с противовесом, конец второго плеча выполнен заостренным и установлен перпендикулярно плоскости вакуумного столика, а Коллектор установлен шарнирно на неподвижной крышке.

Baff

Изобретение относится к оборудованию для нанесения гальванических покрытий и может быть использовано в составе технологической линии изготовления плат тонкопленочных микросборок. Цель изобретения - расширение технологических возможностей путем увеличения номенклатуры обрабатываемых заготовок. В исходном положении ванна 2 опущена и заостренный конец двуплечего рычага 12 приподнят над уровнем вакуумного столика 1 под действием противовеса 18. После фикасации заготовки на вакуумном столике 1 ванну 2 перемещают вертикально вверх, при этом упор 17 ванны 2 взаимодействует с плечом двуплечего рычага 12, заостренный конец которого при этом опускается на заготовку. После обработки механизмы ячейки возвращают в исходное положение. Конструктивные особенности устройства обеспечивают удобство при наладке и эксплуатации. 2 ил.

Редактор Н.Яцола

Составитель В.Трегубое

Техред А.Кравчук Корректор;А.Обручар

Заказ 7009/28

Тираж 605

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное