Устройство для обработки плоских поверхностей Советский патент 1989 года по МПК B24B37/04 

Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано для химико-механического финишного полирования плоских поверхностей деталей, в частности полупроводниковых пластин.

Целью изобретения является повышение точности обработки за счет устранения тепловых деформаций полировальника.

На фиг. I представлено устройство, общий вид; на фиг. 2 - карусель устройства, разрез.

Устройство (фиг. 1) состоит из станины I. места 2, четырех шпинделей 3 с прижим- йыми головками 4, карусели 5, приводимой во вращение от привода 6 через клино- ременную передачу 7 и редуктор 8.

Конструктивно карусель (рис. 2) состоит ил четырех соосных дисков. Между верхним диском 9, выполненным в виде плиты, и ребристым диском 10 образуется рубашка охлаждения. Симметрично им расположены нижний диск 11, также выполненный в виде плиты, и ребристый диск 12, между которыми образуется компенсационная камера.

Устройство работает следующим обра30 М.

В начальный момент полирования охлаждающая жидкость, проходя через рубашку охлаждения, охлаждает плиту 9 и диск 10, вследствие деформации их окраинные части стремятся подняться вверх. Охлаждающая жидкость также воздействует на плиту 11 и диск 12, которые деф ормируются, при этом их периферийные части стремятся опуститься вниз, т.е. периферийные части плит 9 и 11 стремятся разойтись в разные стороны. Этому препятствуют болты 13, которые воспринимают нагрузку.

По мере увеличения выделения тепла охлаждающая жидкость нагревается, и деформация начинает приобретать противоположный характер, т.е. периферийные части плиты 9 и диска 10 стремятся опуститься вниз, а периферийные части плиты 11 и диска 12 подняться вверх, т.е. края дисков сжимаются, а центральные части стремятся удалиться друг от друга. Этому, противодействуют болты 14. Количество и сечение болтов рассчитываются из условия, исключающего возможность деформации плит от изгиба.

Плоскостность верхнего полировальника в этом случае остается неизменной, что способствует повышению точности обработки

пластин.

0

5

Формула изобретения

Устройство для обработки плоских поверхностей, содержащее карусель с притиром, шпиндели с прижимными головками, отличающееся тем, что, с целью повышения точности обработки крупногабаритных пластин интегральных схем за счет устранения влияния те.мпературных деформаций, карусель выполнена в виде верхней и нижней плит с концентрично расположенными ребрами, смонтированных ребрами навстречу одна другой и несущих ребристые диски, Q жестко установленные на свободных поверхностях плит с образованием с верхней плитой рубашки охлаждения, а с нижней - компенсационной камеры, при этом рубашка охлаждения и компенсационная камера соединены каналом, выполненным в плитах.

Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано для химико-механического финишного полирования плоских поверхностей, в частности полупроводниковых пластин. Целью изобретения является повышение точности обработки пластин свободным абразивом за счет устранения тепловых деформаций полировальника. Устройство содержит карусель и шпиндели с прижимными головками. Карусель выполнена в виде симметрично расположенных соосных ребристых плит и дисков, образующих две соединенные между собой каналом полости охлаждения. В зависимости от температуры среды в полостях между плитой 9 и диском 10, а также плитой 11 и диском 12 диски 10 и 12 стремятся выгнуть или наоборот сомкнуть свои концы. Вследствие того что они жестко связаны посредством плит 11 и 9, а также болтов 13 и 14 друг с другом, происходит взаимокомпенсация усилий температурных деформаций между верхними и нижними парами дисков, что позволяет оставаться неизменной плоскости полировальника. 2 ил.

-- - 3