Способ контроля контактирования интегральных схем Советский патент 1991 года по МПК G01R31/28 

fc

Изобретение повышает достоверность контроля контактирования ИС на этапе заключительных операций при загрузке схем в контактные устройства плат электротер- мотренировки. Цель изобретения - повышение достоверности контроля. Сигнал генератора 4 импульсов подводится на вход микросхемы 2, установленной в блоке 1 контактирования и подключенной от источника 3 питания. Блоком 5 измерений контролируется разница между напряжением входного и выходного сигналов, по которой определяется величина контактного сопротивления, сравнивается с эталонной. 2 з.п.ф-лы, 2 ил.

О

ел ю ю

ю

N

Изобретение относится к контрольно- измерительной технике и может быть использовано в автоматизированных устройствах контроля интегральных схем (ИС), в частности, на этапе заключительных операций.

Цель изобретения - повышение достоверности контроля.

Контроль контактирования ИС по отклонению переходного сопротивления от за- данной величины основан на том, что при соблюдении заданной величины переходного сопротивления схема либо перестанет функционировать, либо уровни ее выходных сигналов не соответствуют заданным.

При подаче на вход ИС минимального порогового напряжения питания создаются условия, при которых всякое уменьшение этого напряжения приводит к тому, что переходы активных элементов, которые вхо- дят в состав ИС, не могут открыться и функционирование схемы прекращается. Входные воздействия не могут вызывать выходных сигналов, по отсутствию которых и судят о переходном сопротивлении в зоне контактирования.

При компарировании уровней питающего напряжения и выходных сигналов обеспечивается слежение за перепадом этих уровней. При этом задают допустимый перепад как функцию от заданных величин сопротивления в зоне контактирования. При любом повышении заданной (допустимой) величины переходного сопротивления снижается и перепад уровней, по которому судят о качестве контакта.

Таким образом, способ позволяет фиксировать не только два варианта есть контакт ; нет контакта, но и промежуточные значения переходного сопротивления, что позволяет выявлять схемы и с неполностью нарушенными контактами.

На фиг. 1 и 2 приведены схемы распределения напряжений при изменении переходных сопротивлений.

Контроль контактирования ИС (фиг. 1) производится в точках 1, 2, 3 и 4, где измеряются переходные сопротивления Ri, Ra, Рзи R4. При переходных сопротивлениях Ri, Ra, Ra и R, равных нулю, 1)Вых кУПит, где k 1 - коэффициент; УВых - выходное напряжение; УПИТ напряжение питания, т.е. контактирование удовлетворительное. При RI, R2. Ra и R4, больших нуля, 1)Вых k U8x - (т); Увых кУпит, где Упот-напряжение потерь на заданной частоте f, что свидетельствует о некачественном контактировании. Схема для осуществления способа контроля контактирования ИС(фиг. 1) содержит контактные блоки 1.1-1-пс ЙС2, источник 3

питания, генератор 4 импульсов и блок 5 контроля,

На ИС 2 подают питание с источника 3 питания, на вход подают воздействия с генератора 4 импульсов. С помощью блока 5 контроля контролируют отклонение опорного (на входе) и исследуемого (на выходе) сигналов. Разность уровней между ними задавали как функцию переходного сопротивления, В случае, если разность выше заданной величины переходного сопротивления, качество контактирования неудовлетворительное и дальнейший маршрут схемы определяется технологической картой. В случае, если разность равна или ниже заданной, условия контактирования удовлетворительные. Заданная величина переходного сопротивления выбирается в зависимости от требований,предъявляемых к схеме.

При включении генератора и подаче питающих напряжений на выходе испытуемой ИС появляется выходное напряжение, уровни О и 1 которого определяются переходными сопротивлениями RI - R4. При RI - R4, равных нулю, Увых , где , при этом нормированные величины УВых О и 1 задаются в блоке измерений. При RI - R4, больших нуля, логические уровни изменяются, что фиксируется блоком измерений.

Допустим, что переходное сопротивле- ние R4 (фиг. 1) стало больше нормы, ток через R4 создает дополнительное напряжение Ун4, при этом в фазе измерения напряжения Увых О к испытуемой ИС добавится напряжение UR4, что будет классифицироваться блоком измерения о некачественном контактировании. Величина предельно допустимого переходного сопротивления заранее вводится оператором в блок измерения, с которым сравнивается фактическое измерение.

Блок измерения может фиксировать переходные сопротивления и ниже минимального значения (5-10 Ом). Величины UR4 и Увых О определяются напряжением Упит, которое подается в блок измерений для автоматизации процесса проверки контактирования.

Возможна также реализация способа, при которой на генераторе импульсов устанавливается минимальное входное напряжение Увх, которое при ожидаемых значениях переходных сопротивлений обеспечивает функционирование испытуемой ИС. Блок измерения контролирует этот сигнал. При наличии переходного сопротивления (допустим RI (фиг. 1) по величине больше ожидаемого) появляется дополнительное напряжение URI, снижающее пороговое входное напряжение непосредственно на выводе ИС, которое уже не позволяет воздействовать на испытуемую ИС по первому входу- функционирование ИС прекращается, что фиксируется блоком 5 контроля. Предлагаемый способ позволяет зафиксировать переходное сопротивление величиной 15-100 Ом, чем и обеспечивается повышение достоверности контроля контактирования ИС, так как становится возможным оценивать качество контактирования при различных заданных величинах переходного сопротивления.

Формула изобретения 1. Способ контроля контактирования интегральных схем, заключающийся в том, что на контролируемые микросхемы подают напряжение питания и импульсное воздействие, измеряют информативный параметр, отличающийся тем, что, с целью повышения достоверности контроля, перед началом контроля на достоверной выборке устанавливают зависимость между величи0

5

0

5

ной информативного параметра и контактным сопротивлением микросхем, в процессе испытаний определяют по измеренному значению информативного параметра величину контактного сопротивления, сравнивают его с эталонной величиной и по результату сравнения судят о качестве контактирования микросхем, причем в качестве информативного параметра выбирают разность между входным и выходным напряжениями микросхемы.

3.Способ по п. 1,отличающийся тем, что в качестве информативного параметра принимают разность между напряжением питания и напряжением выходного сигнала интегральной микросхемы.