Проходная муфельная печь Советский патент 1991 года по МПК F27B9/00 

Изобретение относится к проходным печам муфельного типа для термообработки изделий электронной техники, в частности металлостеклянных корпусов интегральных схем.

Цель изобретения - повышение качества обработки путем увеличения точности поддержания температуры в печи за счет снижения влияния изменения параметров среды и изделий в печи на характеристику вентилятора.

На фиг. 1 изображена проходная муфельная печь, общий вид, продольный разрез; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг, 3 - разрез Б-Б на фиг. 1.

Проходная муфельная печь имеет начальный участок, зону С выжига связки и

зону D - спекания изделий, в которой размещен нагреватель. Печь содержит также металлический муфель 1, футеровку 2, нагреватели 3, теплообменник4, конвейерную ленту 5, температурный датчик 6, установленный в зоне выжига связки Вытяжной патрубок 7, размещенный на муфте 1 со стороны загрузки печи, содер -кит окно 8 для подсоса воздуха.

Вентилятор 9 подсоединен к вытяжному патрубку 7, в котором установлен шибер 10 с окном 11, предназначенным для удаления продуктов выжига связки из рабочего канала. Окна 8 и 11 в шибере 10, в патрубке 7 и сечение канала, соединяющего вытяжной патрубок с печью, по форме и размерам соответствуют друг другу, а рнсстояние от

о

00

ю

VI 4

ci нь ji /b8; c до rupurt разно расстоянию e, осями окна в пог.л;оса воздуха и осью камглз, соединяющего патрубок 1 с печью.

ПЕЧЬ ооноржмг реверсивный электро- /и пЈмель 12, размешенный на кронштейне io. пч уоед шзн. ом к вы яжному плтрубку с-ч-. } ряверс / вкоггэтектродвтателя 12 M - L,-i;e «.нчзои с пин-Х) 15 посредством му 1, 16 с рукоп канч 17.

1 с 8, жестко соединенная с шибе- (ч П, 0,э УИНiом 15 винтовую пару. 1 ,i, ч-г и , )y5i . i 7 установлена кзме- I . л ч и р-ч,р чч.я 11 шибер. 10. Нэ .х е: ic;:x пмр/Зкз 7 с внутренней i i.) у.,.г ч, - ы упорь: /.С для ограни- с ij ,( чпЈо,.-1 v...jb л деформаций шибера О .о прим гь ояь зн из антиадгезионного i г-. idT3, 4;jnpt f.iv4 фторопласта.

па i а 18 установлен кронштейн 21, а .г корпусе ночи (не показан) - перенастра- пу овыо конечные выключа1ели 22. ал пс1;1, о |крьп с обеих сторон но со O o.xim/1 гагр, 5ки на своде муфеля 1 уста- 1Э, ;ов1-1й барьер 23, частично пере- К, ощии рабочее гфостоанство по пысоге для ограничения забора воздуха в к |-г i печи со стороны загпуэки, выполнен- 1 . : о inn pe,i.,r, r.z стенкой па t рубка 7. В менкг г -i 7 г|родолжением которой rri jGHL- Ьефье;,1 и в стенке ка- i ,,i i9 tit i г iibi шелэвйдные отверстия и поччзаны) л Ч Пс мэщсния шибера 10. llei-ii содержи - также привод конвейерной , регулятор температуры с задатчи- чъ i, -p,Diicnoo HI-IS поддоны с изделиями (не показаны).

f(4b pao iveioi следующим образом.

/(зделия R транспортных поддонах в за- е устанавливаются на конвейернуо тенту Ь v перемещаются в канал печи, образованный мзтрлл /ческим муфелем 1. В зоне С изделия нагреваются до температуры вы- xiift; связки за счет теплопроводности му- фе/ Я и тепла горячего воздуха, посыпающего из зоны спекания изделий.

Удаление продуктов выжига связки осу- и есгнляется сен (иля юром 9, подсоединен- чмм к вытяжному патрубку 7. Сигнал от leMneoaivDHoro датчика 6 подается на регу- мягоо темпера|уры (не токячан), В зависи- Р1ости от положения зада гчика температуры регулятор Формирует сигнал, управляющий реверсивным электродвигателем 12

Перемещение шибера Юосуществляет- г.г, от реверсивного электродвигателя 12 че- перодаточный механизм, состоящий из мусЬть 15, жестко связывающей вал 14 элек- 1 рсдпигателя с. винтом 5, и гайки 18, жестко сс1 зг нной с ммбеоом. Передаточный механизм npeofJOcJoyei вращательное движение

ьало реверсивного элекгродвигателч в возвратно-поступательное перемещение шибера.

Стабильность температурного режима

печи может быть нарушена неравномерной загрузкой изделий, неравномерной влажностью материала засыпки, перепадами атмосферного давления, сквозняками в помещении и т. д. При возрастании темпе0 ратуры в зоне С выше значения, установленною задатчипом регулятора температуры, реверсивный электродвигатель перемеща- ет шкбер влево, увеличивая проходное сече- нпе окна 11 шибера, одновременно

5 уменьшая проходное сечение окна 8 в вытяжном патрубче

При этом происходит увеличение расхода удаляемого из каналл печи газа при неизменной его скорости и уменьшение расхода

0 воздуха через очно вытяжного патрубка

При уменьшении температуры в зоне С ниже значения, установленного задатчиком регулятора, реверсивный электродвигатель перемещает шибер вправо, уменьшая про5 ходное сечение окна шибера и увеличивая проходное сечение окна в вытяжном патрубке. При этом происходит уменьшение расхода газа, удаляемого из рабочего пространства, при неизменной его скорости и

0 увеличение расхода воздуха через окно в патрубке.

Форма и размеры окон шибера и вытяжного патрубка одинаковы а суммарная пло5 щадь проходного сечения окон шибера и патрубка постоянна при любом промежуточном положении шибера и равна полной площади проходного сечения одного окна, поэтому вентилятор удаляет из вытяжного

Q патрубка постоянное количество газа, скорость которого постоянна независимо от Положения шибера

Вопросы истечения газов в предлагаемой печи рассмотрены без.учета разницы в

5 плотности воздуха и продуктов выжига связки, вязкости воздуха и газа, удаляемого из рабочего пространства, наличия неодинаковых динамических сопротивлений потоку воздуха на входе в патрубок и потоку отво0 димого из рабочего пространства газа. Эти факторы оказываю1 влияние на процесс равномерности автоматическом вытяжки, в частности на скорость истечения, но во время работы печи это влияние носит постоян5 ный характер, поэтому они не вносят заметных отклонений в точность поддержания температуоы в рабочем пространстве.

При необходимости оператор может установить шибер в любое положение spv4- ную вращением муфты рукоятками 17, что удобно ЦПР настройки выгяжки при переходе на другой технологический режим работы печи. В крайних положениях шибера окно в вытяжном патрубке или окно в заслонке полностью перекрыто. Путевые конечные выключатели 22 определяют граничные по- ложения шибера, который для уменьшения налипания продуктов удаления связки выполнен из антиадгезионного материала - листового фторопласта. После выжига связки изделия поступают в зону спекания, за- тем охлаждаются в теплообменнике. Поддержание температурного режима в зоне спекания изделий осуществляется известным способом.

Таким образом, печь позволяет вести удаление продуктов выжига связки из канала очень плавно, с постоянной скоростью, что повышает точность поддержания температуры в зоне выжига связки и улучшает качество изделий.-

Формула изобретения 1. Проходная муфельная печь, преимущественно для спекания корпусов интегральных схем, содержащая футерованный корпус с входным участком и участком на-

грева, нагреватель, транспортер для попе- мещенич изделий внутри печи, систему контроля и peiулирорания температуры и систему отсоса газа, состоящую из вентилятора и соединенного с ним вытяжного патрубка, на котором установлен шибер с приводом его перемещения, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества обработки путем увеличения точности поддержания температуры в печи за счет стабильности характеристик вентилятора, в вытяжном патрубке выполнено окно для подсоса воздуха, размешенное под шибером, d в шибере - окно длч удаления газа из печи, при этом окна в шибере и патрубке и сечение канала, соединяющего вытяжной патрубок с печью, по форме и размерам равны между собой, з расстояние от окна шибера до его торца равно расстоянию между осями симметрии окна подсоса воздуха в вытяжном патрубке и осью канала, соединяющего этот патрубок с печью.

2. Печь по п. 1,отличающаяся тем, что шибер выполнен из антиадгезионного материала, например фторопласта

Изобретение относится к проходным печам муфельного типа для термообработки изделий электронной промышленности, в частности метэллостеклянных корпусов интегральных схем. Цель изобретения - повышение качества обработки путем увеличения точности поддержания температуры в печи за счет снижения влияния изменения параметров среды и изделий в печи на характеристику вентилятора Печь содержит корпус с входным участком и участком размещения нагревателя, нагреватель, транспортер перемещения изделий внутри печи, систему контроля и peiynnpo- вания температуры и систему отсоса газа Система отсоса газа состоит из вытяжного патрубка, соединенного вытяжным каналом с печью и с вентилятором На патрубке установлен шибер с приводом его перемещения. В шибере выполнено окно для удаления газа из печи, а в вытяжном патрубке - окно для подсоса воздуха, размещенное под шибером. Окна в шибере и патрубке и сечение вытяжного канала соответствует друг другу по форме и размерам, а длина шибера от окна до торца равна расстоянию между центрами окна подсоса воздуха и сечения вытяжного канала Шибер выполнен из антиадгезионного материала например фторопласта 1 з. п. ф-лы 3 ил 00 С

Фиг.1

20

I и

Х2/

Фиг.г

Фиг.З