Способ изготовления мишеней, преимущественно керамических, для получения напыляемых пленок Советский патент 1992 года по МПК B22F3/12 C23C14/34 

Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к способам изготовления мишеней.

Целью изобретения является обеспечение люминесценции напыляемых пленок путем введения в распыляемую мишень люминесцентной добавки (примесь марганца). Достижение поставленной цепи обеспечивается введением в состав мишени марганца, который обладает свойством люминесцентности, посредством смешиояния порошков AI и AIN в смачивающей и легко испаряющейся жидкости, содержащей хлорид марганца, сушку, прессование и спекание при 680±20° С. причем соотношение порошков AI и AIN должно быть в пределах 5-70% Л1 и 95-30% AIN.

П р и м е р. Б дистиллированной воде растворяют хлорид марганца необходимой концентрации. Для лучшего смачивания нерастворимых частиц псрошков алюминия и нитрида алюминия в раствор добавляют

спирт. В полученный раствор засыпают порошки нитрида алюминия и алюминия. Образованную суспензию перемешивают. В результате жидкость смачивает, обволакивает поверхность частиц алюминия и нитрида алюминия, а растворенный хлорид марганца равномерно распределяется по обьему порошка. После смешивания суспензию просушивают с целью удаления воды и спирта. Поскольку хлорид марганца при растворении диссоциирует на ионы Mn + и СГ. то в процессе сушки свободный хлор испаряется. Полученная таким образом шихта содержит свободный алюминий, нитрид алюминия и марганец.

Холодное прессование мишеней для последующего спекания проводят при давлении 300-400 кг/см2.

Спекание заготовки мишени осуществляют в свободном состоянии при 680±20° С в атмосфере зрюна.

(Л

с

VI

о

I

В процессе спекания происходит расплавление алюминия и смачивание поверхности частиц нитрида алюминия и марганца. Свободный алюминий выступа- ет г качестве сяйзующего.

Полученные предлагаемым способом мишени позволяют получать пленки нитрида алюминия, легированные марганцем, которые обладают люминесценцией в кроеной области спектра.

Формула изобретения

Способ-изготовления мишеней, преимущественно керамических для получения

напыляемых пленок, включающий смешивание порошков, их прессование и спекание, отличаю 1ЦИЙСЯ тем, что, с целью обеспечения люминесцентности напыляемых пленок, смешиванию подвергают порошки алюминия и нитрида алюминия при содержании 5-70% алюминия, остальное - нитрид алюминия, причем смешивание проводят в смачивающей порошки и легко испаряющейск жидкости, содержащей хлорид марганца, затем проводят сушку, а спекание осуществляют при 660-700° С в защитной атмосфере.

Изобретение относится к порошковой металлургии. Целью изобретения является обеспечение люминесцентности распыляемых пленок. Предлагаемый способ заключается в том, что порошки алюминия и нитрида алюминия смешивают (5-70% алюминия, остальное нитрид алюминия) в смачивающей порошки и легко испаряющейся жидкости, содержащей хлорид марганца, затем проводят сушку, прессование шихты и спекание при 660-700° С в защитной атмосфере.