Способ восстановления вольфрамовых или молибденовых термокомпенсаторов Советский патент 1992 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, а именно к способам очистки поверхности металлических деталей от нанесенных на них тонких слоев другого металла, и может быть использовано при восстановлении тёрмоком- пенсаторов из забракованных выпрямительных элементов для их повторного использования.

Цель изобретения - повышение выхода годных.

На фиг. 1 показан отбракованный выпрямительный элемент, подлежащий обработке с целью восстановления термокомпенсатора; на фиг.2 - схема объемной виброобработки выпрямительных элементов.

Выпрямительный элемент (фиг. 1) состоит из термркомпенсатора 1, слоя 2 силумина или другого материала, крепящего пластину, например никеля. Для восстановления термокомпенсатора из отбракованного элемента после распайки пластины 3 кремния требуется удалить покрытие 4 и слой 2.

Восстановление термокомпенсатора производится в устройстве (фиг.2), содержащем виброустановку 5, рабочая емкость которой (контейнер) заполнена гранулами абразивного наполнителя 6, обрабатываемыми деталями 7 и интенсифицирующим раствором 8.

Способ осуществляется следующим образом.

N5 О 00

В устройстве (фиг.2) проводят удаление металлических покрытий в среде движущегося раствора химического травителя с абразивом. Объем абразива выбирают равным 2,75...4,35 об.ч., а объем термоком- пенсаторов - 0,5...1,0 об.ч. от объема раствора химического травителя.

Пример. Восстанавливают термоком- пенсаторы024 мм из сплава ТСМ-3, на контактной цилиндрической поверхности которых нанесен слой никеля толщиной 0,01 мм, а на плоскости - слой силумина, имеющий неравномерную толщину 0,1-0,2 мм.

После операции распайки, при которой удаляют пластину 3 кремния, термокомпенсаторы с покрытиями подвергают объемной виброобработке в виброустановке с контейнером тороидальной формы емкостью 60 л. В качестве, гранул абразивного наполнителя используют гранулированный крупнозер- нистый наполнитель в виде треугольных призме высотой ребра 10 мм. В контейнер заливают 10-15 л водного раствора, содержащего химические добавки, интенсифицирующие процесс обработки, например 30%-ный раствор щавелевой кислоты или азотной, который принимается за одну объемную часть. В контейнер помещают обрабатываемые детали (термокомпенсаторы) и абразивный наполнитель, объем которых от объема раствора химического травителя составляет, об.ч.:

Обрабатываемые детали0,5..,1,0

Абразивный наполнитель 2,75...4,35. Незагружаемый объем контейнера составляет 10 л.

Восстановление термокомпенсаторов выполняют следующим образом.

В контейнер загружают компоненты в указанном соотношении. При этом партия одновременно обрабатываемых термокомпенсаторов составляет 2500 шт, Длительность обработки составляет 240 мин при частоте колебаний контейнера 48 Гц и амплитуде колебаний 1,2 мм.

По окончании обработки термокомпенсаторы промывают в контейнере, выгружают из виброустановки (просеиванием для отделения от наполнителя) и передают для контроля и повторного использования. Обработанные термокомпенсаторы имеют светло-серебристый цвет, на котором хорошо видны дефекты поверхности.

Способ восстановления термокомпенсаторов позволяет увеличить выход годных термокомпенсаторов на 70-73%, создать экологически чистые условия труда, что значительно улучшает условия труда работников, занимающихся восстановлением термокомпенсаторов.

Формула изобретения

Способ восстановления вольфрамовых или молибденовых термокомпенсаторов, включающий удаление с использованных термокомпенсаторов металлических покрытий химическим травлением, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных, удаление металлических покрытий осуществляют в среде движущегося раствора химического травителя с абразивом, причем объем абразива выбирают равным 2,75-4,35 об.ч., а объем термокомпенсаторов - 0,5-1,0 об.ч. от объема раствора химического травителя.

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, в частности к способам очистки поверхности металлических деталей от нанесенных на них тонких слоев другого метала, и может быть использовано при восстановлении термокомпенсаторов из забракованных выпрямительных элементов для их повторного использования. Целью изобретения является повышение выхода годных. В специальном торроидальном контейнере проводят удаление металлических покрытий (никель, силумин) в среде движущегося раствора химического травителя с абразивом. Объем абразива выбирают от 2,75 до 4,35, а объем термокомпенсаторов - от 0,5 до 1 соответственно от объема раствора химического травителя.-2 ил. СО С

Фиг. 2